PTFE өндөр температурт соронзон хальс нь ерөнхий хэрэглээний материал биш харин хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд чухал материал болдог. Гол хэрэглээ: вафель түвшний хамгаалалт (плазмын сийлбэр хийх маск, ар талын CMP хамгаалалт, CVD/PVD маск), баглаа боодлын процесс (утас холбох бэхэлгээ, ПХБ-ийн гагнуурын маск), тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээ (эсрэг статик өнхрөх боолт, цэвэр өрөөний тэмдэглэгээ). Хэт цэвэр шаардлага: бага галоген (холбогч дэвсгэр зэврэлтээс сэргийлдэг), бага силоксан (<500 ppm, тусгаарлагч тоосонцор үүсэхээс сэргийлдэг), бага металл ион (<1 ppm тус бүр), ISO 4-р ангиллын цэвэр өрөөний зүсэлт/савлах, 10⁶-10⁹ Ω гадаргуугийн эсэргүүцэл, бага TVOC ялгаруулалт.

Түүхий эдийн цэвэр байдал нь PTFE өндөр температурт даавууны чанарын үндсэн суурь юм. Бохирдол (үлдэгдэл үүсгэгч, гадаргуугийн идэвхит бодис, металл ион, бохирдсон хэмжээс) нь дулааны дутуу задрал (бөмбөлөг, 260°С-ээс дээш температурт цэврүүтэх), жигд бус наалддаггүй гадаргуу (наалдсан бэхэлгээний цэгүүд), цахилгаан тусгаарлагчийг бууруулж (диэлектрик алдагдал, эвдрэлийн хүчдэл бага), концентраци болон механик бат бөх чанарыг бууруулдаг. Өндөр цэвэршилттэй түүхий эд нь FDA-д нийцсэн, удаан эдэлгээтэй, өндөр хүчин чадалтай PTFE даавууг баталгаажуулдаг.

PTFE-ээр бүрсэн шилэн даавууг шингэлэх нь 370-400 ° C-д нарийн барих хугацаа шаарддаг. Тасралтгүй зуух: 30-90-ээс (нимгэн) 3-5+ мин (зузаан). Багцын зуух: 5-15 мин. Дутуу шингэлэх нь тунгалаг, барзгар бүрээсийг хальслахад хүргэдэг; Хэт их шингэлэх нь шарлаж, хэврэг болж, фторын хортой хий ялгаруулдаг. Процессыг оновчтой болгох: зуухны температур хэмжигчийг ашиглах, харааны үзлэг хийх (хагас тунгалаг, уян хатан), соронзон хальс татах туршилтыг хийх. Бүрэн зузаантай температурын жигд байдлыг үргэлж хангана.

Эмнэлгийн чанартай PTFE өндөр температурт соронзон хальс нь био нийцтэй PTFE субстратыг цагаан алтаар хатаасан силикон цавуутай хослуулсан. Гол онцлогууд: ISO 10993 стандартад нийцсэн (цитотоксик чанар, мэдрэмтгий байдал, цочрол байхгүй), дахин дахин ариутгах (уур/EO/гамма), 260°C халуунд тэсвэртэй. Урьдчилан сэргийлэх чухал арга хэмжээ: 260 ° C-аас хэтрэхгүй (300 ° C-аас дээш хортой утаа), гамма цацраг нь хэврэгжилт үүсгэж, ариутгах аргыг баталгаажуулж, бүрэн дагаж мөрдөх баримт бичгийг (ISO 10993 тайлан, MSDS, хөгшрөлтийн өгөгдөл) шаардаж болно. Тусгайлан баталгаажуулаагүй бол шууд цус эсвэл суулгацын зориулалтаар ашиглахгүй.

PTFE өндөр температурт даавуу нь аюулгүй байдал, удаан эдэлгээтэй байхын тулд болгоомжтой харьцах шаардлагатай. Урьдчилан сэргийлэх гол арга хэмжээ: 260°С-аас хэтрүүлэхгүй (320°С-аас дээш температурт хорт утаа ялгаруулдаг), хурц атираа үүсэхээс зайлсхийх (бүрхүүл хагарах, шилэн даавууг ил гаргах), зүлгүүрээр цэвэрлэхгүй байх (ган ноос нь наалддаггүй гадаргууг гэмтээдэг), дулааны тэлэлтийн зайг нөөцлөх (урагдалтаас сэргийлнэ), цэврүүтэх, хальслах үед солих. Хэт ягаан туяанаас хол, өнхрүүлэн хадгална. Харьцахдаа дулаан тусгаарлагч бээлий өмс.

PTFE өндөр температурт даавуу нь дулааны тэлэлтийн коэффициент (CTE) нь 30-60 ppm/°C (нугас/нэхмэл) бөгөөд дан шилэн материалаас өндөр боловч цэвэр PTFE (100-200 ppm/°C) -ээс хамаагүй бага. PTFE нь 19 ° C ба 30 ° C-ийн фазын шилжилтийн үед огцом эзлэхүүний өөрчлөлт (1-2%) тохиолддог. Нугаралт, урагдах, цооролт үүсэхээс зайлсхийхийн тулд: чөлөөтэй тэлэх зориулалттай зайг төлөвлөх, фазын шилжилтийн температураар хурцадмал байдлаас зайлсхийх, туузан дамжуулагч дээр автомат чангалагч ашиглах, эвдрэлийн эсрэг давхцах загварыг хэрэглэнэ. Хүйтэн урсгалыг тогтмол шалгаж байх нь чухал юм.

PTFE туузыг дахин ашиглах чадвар нь дөрвөн хүчин зүйлээс шалтгаална: наалдамхай найрлага (хөндлөн холбоосын нягтрал бага, силикон шилжилт багатай, дахин байршуулах зориулалттай микрофазын бүтэц), субстратын бэхэлгээ (гадаргууг идэвхжүүлэх + наалдамхай бодисыг бүрэн шилжүүлэхээс урьдчилан сэргийлэх праймер), арын бүрээс (заавал наалдамхай бодисыг задлах үед суллах давхарга), гадаргуу дээр зөв харьцах, гадаргууг цэвэрлэх, цэвэрлэх. Усанд угааж болдог өөрчилсөн цавуу нь цэвэрлэсний дараа >90%-иас наалддаг.

PTFE өндөр температурт жигнэх дэвсгэр нь наалддаггүй чанар (тос, гурил шаардлагагүй, нарийн боовыг цэвэрхэн гаргадаг), температурын өргөн хүрээтэй (-70°C-аас 260°C хүртэл, зууханд хөлдөөгчид хэрэглэхэд аюулгүй), дахин ашиглах боломжтой (мянга мянган мөчлөг, цэвэрлэхэд хялбар), дулаан дамжуулалт ч (шатаахаас сэргийлдэг, тэнцвэртэй хүрэн). Хүнсний чанартай FDA-ийн шаардлагад нийцсэн, илгэн цаасыг давж, илүү сайн дулаан дамжуулалт, илүү нарийн гадаргуугийн бүтэцтэй силикон дэвсгэрийг давж гарна.

PTFE өндөр температурт даавуу нь оёдлын флизелин үйлдвэрлэлд зайлшгүй шаардлагатай. Үндсэн хэрэглээ: тасралтгүй хайлуулах машинд зориулсан гөлгөр төгсгөлгүй туузан дамжуулагч (халуун хайлмал наалдамхай наалдахгүй, үрчлээсгүй зөөвөрлөхөөс сэргийлдэг), хавтгай дулаан дарахад зориулсан наалддаггүй бүрээс ба зөөлөвч (наалдамхай бохирдлоос хавтанг хамгаалдаг), цэгэн зуурмаг / нунтаг бүрэх дамжуургын туузан дамжуургууд (наалдамхай төмрийн засвар үйлчилгээ) дээж шахах зориулалттай таг . Зузаан нь 0,13 мм (хөнгөн дэвсгэр) -ээс 0,55 мм (хүнд даацын туузан дамжуулагч) хооронд хэлбэлздэг.

Шилэн даавууны дулааны агшилт нь PTFE соронзон хальсны хэмжээсийн тогтворгүй байдлын үндсэн шалтгаан болдог. PTFE-ийн агшилтын температурт (360-400 ° C) нэхэх үлдэгдэл стресс ялгардаг. Хэрэв хязгаарлалтгүй бол даавуу багасдаг; хэрэв хязгаарлагдмал бол далд стресс нь түгжигдэж, дараа нь наалдамхай бодисыг хатууруулах (150-200 ° C) болон эцсийн хэрэглээний халаалтанд агшилт үүсгэдэг. Шийдэл: 400°С-т 0.5%-иас бага агшилттай, урьдчилан халаасан шилэн даавууг ашиглан бүрэхээс өмнө үлдэгдэл стрессийг арилгана.