Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд бохирдлыг нэг саяд хэсгээр, ширхэгийн хэмжээг микроноор хэмждэг. Ганц тэнэмэл ион, ул мөргүй дэгдэмхий органик нэгдэл эсвэл микроскопийн тоосонцор нь бүхэл бүтэн өрмөнцөрийн багцыг устгаж чадна - хэдэн зуун мянган долларын өртөгтэй.
PTFE өндөр температурт соронзон хальс нь халуунд тэсвэртэй, химийн идэвхгүй байдал, наалддаггүй гадаргуу, цахилгаан шинж чанараараа энэ орчинд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Гэхдээ зөвхөн ямар ч PTFE соронзон хальс хийхгүй. Хагас дамжуулагчийн төрлийн соронзон хальснууд нь үйлдвэрлэлийн ерөнхий соронзон хальснаас хамаагүй өндөр цэвэр байдлын стандартыг хангасан байх ёстой.
Aokai PTFE нь хагас дамжуулагчийн хэрэглээнд зориулж тусгайлан PTFE соронзон хальс үйлдвэрлэдэг. Энэхүү гарын авлага нь өрмөнцөрийн түвшний боловсруулалт, сав баглаа боодол, туршилт, тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээ зэрэг хэрэглээний үндсэн гурван талбар болон тус бүрт тавигдах цэвэр байдлын хатуу шаардлагуудыг багтаасан болно.
Хэрэглээний үндсэн хувилбарууд - Өндөр үнэ цэнэтэй бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг хамгаалах
1. Вафель түвшний процессын хамгаалалт
Өргөст хавтанг үйлдвэрлэх явцад соронзон хальс нь өндөр үнэ цэнэтэй төхөөрөмжүүдэд түр зуурын хамгаалалтын давхарга болдог.
Үйл явц |
Соронзон хальсны функц |
Чухал шаардлага |
Плазмын цэвэрлэгээ ба сийлбэр |
Боловсруулаагүй талбайг бүрхэж, вафель ирмэгийг ионы бөмбөгдөлтөөс хамгаална |
Хийг гадагшлуулахгүй, үлдэгдэл үлдээхгүй байх; плазмын орчинд тэсвэрлэх |
Нимгэн хальсан тунадас (CVD/PVD) |
Бүрэх шаардлагагүй бүс нутгийг блоклох |
Тунадасжилтын хийн нэвчилтээс урьдчилан сэргийлэхийн тулд үл үзэгдэх наалдамхай |
Химийн механик хавтгайжуулалт (CMP) |
Өргөст цаасны ар талыг зутан болон зүлгүүрийн хог хаягдлаас хамгаална |
Хүчтэй хүчил, шүлт, исэлдүүлэгч бодисыг эсэргүүцэх |
2. Савлах, турших үйл явц
Тугалган хүрээ / субстратын бэхэлгээ: Утас холбох, бэхэлгээ хийх, хуванцар битүүмжлэх үед халуунд тэсвэртэй байрлал - өндөр температурт эд ангиудыг тогтвортой байлгадаг.
Долгионы гагнуур болон дахин урсгалтай гагнуурын маск: Өндөр температурт гагнуурын явцад гагнуурын бохирдлоос ПХБ дээрх алтан хуруунууд болон холбоо барих цэгүүдийг хамгаална.
Өндөр температурт соронзон хальсны зөөгч хуудас: Уян хатан зөөвөрлөгч нь жижиг хэсгүүдийг тоосонцор, үлдэгдэл гаргахгүйгээр үйлдвэрлэлийн шугам дээр бэхлэх зориулалттай.
3. Тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээ болон туслах хэрэглээ
Антистатик булны боолт: Өндөр температурт тэсвэртэй, наалддаггүй, статик задрахгүй контакт гадаргуутай болгохын тулд булыг зөөвөрлөж, үрэлт болон статик ялгаралтаас шалтгаалсан хавтанцар гэмтэхээс сэргийлнэ.
Цэвэр өрөөний түр тэмдэглэгээ, засвар үйлчилгээ: Шошго, түр зуурын кабелийг бэхлэх, бохирдуулагч бодис оруулахгүйгээр бага зэргийн засвар хийхэд зориулагдсан.
Хэт өндөр цэвэр байдлын шаардлага - Хэлэлцэх боломжгүй стандартууд
Эдгээр нь хагас дамжуулагчийн PTFE туузыг ерөнхий зориулалтын соронзон хальснаас ялгах стандартууд юм. Дагаж мөрдөхгүй байх нь багцыг бүрэн устгахад хүргэж болзошгүй. Aokai PTFE нь манай хагас дамжуулагч чанартай соронзон хальсны хувьд эдгээр бүх параметрүүдийг баталгаажуулдаг.
1. Түүхий эдийн цэвэр байдал, хий ялгаруулах чадвар бага
Шаардлага |
Яагаад чухал вэ? |
Ердийн хязгаар |
Галогенийн нийт агууламж бага (галоген агуулаагүй нь дээр) |
Галогенууд нь чипс дээрх хөнгөн цагааны холболтын дэвсгэр болон зэсийн харилцан холболтыг зэврүүлдэг |
<900 ppm (галогенгүй: Cl/Br-д тус бүр <50 ppm) |
Силоксаны агууламжийг хатуу хянах |
Силоксанууд нь халуунд ууршдаг ба тусгаарлах хэсгүүдийг үүсгэдэг бөгөөд энэ нь холболтын эвдрэл, цахилгаан холбоо мууддаг. |
Ихэвчлэн <500 ppm буюу илрэхгүй |
TVOC ялгаруулалт маш бага |
Дэгдэмхий органик бодисууд оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг манандаж, вафель гадаргуу дээр өтгөрдөг |
<50 мкг/г (үйл явцаас хамаарч өөр өөр байдаг) |
Aokai PTFE тэмдэглэл: Манай хагас дамжуулагч зэрэглэлийн PTFE соронзон хальснууд нь ердийн боловсруулалтын температурт (260 ° C хүртэл) хий ялгаруулалтыг багасгахын тулд өндөр цэвэршилттэй PTFE болон силикон PSA агуулсан байдаг.
2. Тоосонцрын болон ионы бохирдлыг хянах
Зүсэх, савлах: бөглөсөн байх ёстой . ISO 4 (эсвэл түүнээс дээш) ангиллын цэвэрлэгээний өрөөнд Соронзон хальснаас тоосонцор урсахыг багасгахын тулд
Хэт бага металлын ионы агууламж: Натри (Na⁺) ба кали (K⁺) зэрэг шүлтлэг металлууд нь хагас дамжуулагчийн цахилгаан шинж чанарыг өөрчилдөг. Нэг металлын ионы түвшин ерөнхийдөө -ээр хязгаарлагддаг <1 ppm .
Үлдэгдэлгүй цавуу: Соронзон хальсны хальсны дараа гадаргуугийн бохирдол, гидрофобик идэвхгүй давхаргад гэмтэл учруулахгүй.
Гадаргуугийн эсэргүүцэл: 10⁶ – 10⁹ Ω
Тавигдах шаардлага: Тогтвортой статик задрах шинж чанар, орчны чийгшилээс үл хамааран жигд, тогтвортой байх
Яагаад: Нарийхан чипсийг устгадаг өндөр хүчдэлийн цахилгаан гүйдэл үүсэхээс сэргийлдэг.
4. Химийн болон хэмжээст тогтвортой байдал
Химийн эсэргүүцэл: Хагас дамжуулагч нойтон боловсруулалтанд түгээмэл байдаг хүчтэй хүчил (фторын хүчил, азотын хүчил), хүчтэй шүлт (хөгжүүлэгчийн уусмал), органик уусгагч (ацетон, изопропилийн спирт) -ийг тэсвэрлэдэг.
Хэмжээний тогтвортой байдал: Өндөр ба бага температурын ээлжинд хамгийн бага дулаан агшилтыг далдлах буруу тохируулга болон цавууны үлдэгдлийг арилгах. Нийт зузаан хүлцлийг ±5% буюу ±0.01 мм- ийн дотор хянадаг.
Дүгнэлт – Хагас дамжуулагч зэрэглэлийн PTFE соронзон хальс сонгох хяналтын хуудас
Шаардлага |
Тодорхойлолт |
Баталгаажуулах арга |
Цэвэр өрөөний үйлдвэрлэл |
Зүсэх/баглаа боодлын хувьд ISO ангилал 4 ба түүнээс дээш |
Бөөмийн тооллын гэрчилгээ |
Галоген агууламж |
<900 ppm (галогенгүй бол илүүд үздэг) |
Ионы хроматографи (IC) |
Силоксан агууламж |
<500 ppm (эсвэл илрүүлэх боломжгүй) |
GC-MS |
TVOC ялгаруулалт |
260°С-т <50 мкг/г |
Headspace GC-MS |
Металлын ионууд |
<1 ppm тус бүр (Na⁺, K⁺ гэх мэт) |
ICP-MS |
Гадаргуугийн эсэргүүцэл |
10⁶ – 10⁹ Ом |
ASTM D257 |
Наалдамхай үлдэгдэл |
Хальсны дараа байхгүй |
Харааны үзлэг, соронзон хальсны туршилт |
Химийн эсэргүүцэл |
HF, HNO₃, NaOH, IPA, ацетоныг дамжуулна |
Усанд орох туршилт |
Зузаан хүлцэл |
±5% буюу ±0.01 мм |
Микрометрийн хэмжилт |
Aokai PTFE нь манай хагас дамжуулагч зэрэглэлийн PTFE соронзон хальсны бүрэн баримт бичгийг хангадаг бөгөөд үүнд цэвэр өрөөний баталгаажуулалт, галогенийн ионы хроматографийн (IC) тайлан, металлын ионуудын ICP-MS, хийн гадагшлуулах GC-MS зэрэг багтана. Нарийвчилсан мэдээллийн хуудсыг авахын тулд процессын шаардлагуудыг бидэнтэй холбоо барина уу.
Дээрх техникийн агуулгыг Jiangsu Aokai New Materials Technology Co., Ltd.
Хэрэв танд PTFE өндөр температурт даавуу, PTFE өндөр температурт наалдамхай тууз, PTFE өндөр температурт торон тууз, үл үзэгдэх дулаан дарагч бүс, нэг талт PTFE даавуу, өндөр температурт тэсвэртэй туузан дамжуулагч, халуунд тэсвэртэй даавуу зэрэг манай бүтээгдэхүүний бүрэн багцын нарийвчилсан үзүүлэлтүүд, хэрэглээний хайрцаг, захиалгат шийдэл хэрэгтэй бол бидэнтэй доорх утсаар холбогдоно уу.
Бид мэргэжлийн ур чадвар, үнэнч шударга байдлыг эрхэмлэн, бүх түншүүддээ аж үйлдвэрийн цогц шийдэл, сэтгэлгээтэй харилцагчийн үйлчилгээг хүргэхийг эрмэлздэг!
