PTFE ከፍተኛ ሙቀት ያለው ቴፕ በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ እንደ ወሳኝ ቁሳቁስ ሆኖ ያገለግላል እንጂ አጠቃላይ ጥቅም ላይ የሚውል አይደለም። ቁልፍ አፕሊኬሽኖች፡ የዋፈር ደረጃ ጥበቃ (የፕላዝማ ኢቲንግ ማስኬድ፣ የCMP የኋላ መከላከያ፣ የሲቪዲ/PVD ጭንብል)፣ የማሸግ ሂደቶች (የሽቦ ትስስር መጠገኛ፣ ለ PCBs የሚሸጥ ጭንብል) እና የመሳሪያ ጥገና (ፀረ-ስታቲክ ሮለር መጠቅለያ፣ የጽዳት ክፍል ምልክት ማድረግ)። እጅግ በጣም ንፁህ መስፈርቶች፡ ዝቅተኛ halogens (የቦንድ ፓድ ዝገትን ይከላከላል)፣ ዝቅተኛ siloxanes (<500 ፒፒኤም፣ ኢንሱላር ቅንጣት እንዳይፈጠር ይከላከላል)፣ ዝቅተኛ የብረት ions (<1 ppm እያንዳንዱ)፣ ISO ክፍል 4 cleanroom slitting/ማሸጊያ፣ 10⁶-10⁹ Ω የወለል መቋቋም እና ዝቅተኛ የቲቪኦክ ልቀቶች።

የሕክምና ደረጃ PTFE ከፍተኛ ሙቀት ያለው ቴፕ ከባዮኬሚካላዊ የ PTFE ንኡስ ክፍል ከፕላቲነም ከተቀዳ የሲሊኮን ማጣበቂያ ጋር ያጣምራል። ቁልፍ ባህሪያት: ISO 10993 ታዛዥ (ሳይቶቶክሲክ, ስሜታዊነት ወይም ብስጭት የለም), ተደጋጋሚ ማምከን (የእንፋሎት / ኢኦ / ጋማ), 260 ° ሴ ሙቀትን መቋቋም. ወሳኝ ጥንቃቄዎች፡ ከ 260 ዲግሪ ሴንቲግሬድ (ከ300 ዲግሪ ሴንቲግሬድ በላይ የሆነ መርዛማ ጭስ)፣ ጋማ irradiation መበከልን ሊያስከትል፣ የማምከን ዘዴዎችን ማረጋገጥ እና ሙሉ ተገዢነት ያላቸውን ሰነዶች ሊጠይቅ ይችላል (ISO 10993 ሪፖርቶች፣ MSDS፣ የእርጅና መረጃ)። በተለይ ካልተረጋገጠ በቀር ለቀጥታ ደም ወይም ተከላ ጥቅም አይደለም።

የ PTFE ቴፕ ድጋሚ ጥቅም ላይ የሚውለው በአራት ነገሮች ላይ የተመሰረተ ነው፡- የሚለጠፍ ቀረጻ (ከፍተኛ የመስቀለኛ መንገድ መጠን፣ ዝቅተኛ የሲሊኮን ፍልሰት፣ የማይክሮፋዝ መዋቅር ለዳግም ቦታ መታጠፍ)፣ የከርሰ ምድር መልህቅ (የላይኛውን ማግበር + ሙሉ ተለጣፊ ማስተላለፍን ለመከላከል ፕሪመር)፣ ከኋላ ያለው ሽፋን (በሚፈታ ጊዜ ማጣበቂያውን ለመከላከል የሚለቀቅ ንብርብር) እና ትክክለኛ አያያዝ (ከመለጠፊያ በላይ የሚለጠፍ ቴክኒክ)። በውሃ የሚታጠቡ የተስተካከሉ ሙጫዎች ከጽዳት በኋላ>90% ታክን ማገገም ይችላሉ።

የፋይበርግላስ የጨርቅ ሙቀት መቀነስ የPTFE ቴፕ ልኬት አለመረጋጋት ዋና መንስኤ ነው። በ PTFE የሲንሲንግ ሙቀቶች (360-400 ° ሴ), የተረፈ የሽመና ጭንቀት ይለቀቃል. ያልተገደበ ከሆነ, ጨርቅ ይቀንሳል; ከተከለከለ፣ ድብቅ ጭንቀት ተቆልፏል፣ ይህም በማጣበቂያ ማከሚያ (150-200 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ) እና የመጨረሻ አጠቃቀም ማሞቂያ በኋላ መቀነስ ያስከትላል። መፍትሄ: ቅድመ-ሙቀት-የተዘጋጀ ፋይበርግላስን በ <0.5% መቀነስ በ 400 ° ሴ, ከመቀባቱ በፊት የሚቀረው ጭንቀትን ያስወግዳል.

ሰፊ የሙቀት መጠን ያለው የ PTFE ቴፕ ከ -70 ° ሴ እስከ 260 ° ሴ ድረስ መጣበቅን የሚይዝ የሲሊኮን PSA ይፈልጋል። ቁልፍ የንድፍ አካላት፡- ፕሪመር-የተሰካ የሽግግር ንብርብር (delaminationን ይከላከላል)፣ የባህር ደሴት ማይክሮስትራክቸር (MQ resin ደሴቶች + ፖሊሲሎክሳን ቀጣይነት ያለው ደረጃ)፣ የግራዲየንት ማቋረጫ (ከፍተኛ ጥግግት ያለው የውስጥ ሽፋን ለዝቅጠት መቋቋም፣ ለዝቅተኛ የሙቀት መጠን ዝቅተኛ ውፍረት ያለው የውጨኛው ሽፋን) እና የሙቀት-የተረጋጉ ሙላቶች (cerium oxide ለኦክሳይድ መቋቋም)። Phenyl-የተሻሻሉ siloxane ክፍሎች ዝቅተኛ-ሙቀት ክሪስታላይዜሽን ለማፈን, -100 ° ሴ በታች የመተጣጠፍ ያስችላል.

የ PTFE ከፍተኛ ሙቀት ያለው ቴፕ የተቆረጠው የመጨረሻው የፊት መዋቅር በቀጥታ በሚተገበርበት ጊዜ ተለጣፊ መፍሰስ እና የጠርዝ ማንሳት ላይ ተጽዕኖ ያሳድራል። ደካማ መሰንጠቅ (ደብዛዛ ቢላዎች፣ ተገቢ ያልሆነ አንግል) ሙጫ ክሮች ይፈጥራል፣ የጠርዝ ተለጣፊ ንብርብሩን ቀጭን ያደርገዋል፣ እና የፋይበርግላስ ቦርሳዎችን ያጋልጣል - ወደ መፍሰስ፣ ደካማ ትስስር እና በሙቀት ወይም በጭንቀት ውስጥ ማንሳትን ያስከትላል። ያልተስተካከሉ የጫፍ ፊቶች (ማዕበል፣ ጎልተው የሚወጡ) ያልተስተካከለ የግፊት ስርጭት፣ በማከማቻ ጊዜ ተለጣፊ መንዳትን ያስከትላል። በጣም ጥሩው የመጨረሻው ፊት ለስላሳ ፣ ለስላሳ እና ከጉዳት ነፃ ነው - ማጣበቂያውን የሚዘጋ እና ሙሉ የጠርዝ ትስስርን የሚያረጋግጥ እንደ ማኅተም ይሠራል።

በ PTFE ቴፕ ሽፋን ወቅት የሲሊኮን ግፊትን የሚነካ ማጣበቂያ የማሟሟት ተለዋዋጭ ፍጥነት ወሳኝ የሂደት መለኪያ ነው። በጣም ፈጣን → የገጽታ ቆዳ፣ ደካማ ደረጃ፣ ፒንሆልስ (የተያዘ ሟሟ)፣ እና እሳተ ገሞራዎች (ኮንደንስሽን ወይም በተበከለ)። በጣም ቀርፋፋ → ማሽቆልቆል፣ ጥቅጥቅ ያሉ ጠርዞች እና በዝቅተኛ ወለል-ኢነርጂ PTFE ላይ ጠል ማድረግ። ጥሩው ስልት፡ ደረጃውን ለማድረስ እና አረፋ ለማምለጥ ዘገምተኛ የመነሻ መለዋወጥ፣ ከዚያም ለመቅረጽ የተፋጠነ ማድረቅ። የተቀላቀሉ ፈሳሾችን (ቶሉኢን/ xylene + ፈጣን-ማድረቂያ) እና ቀስ በቀስ የምድጃ ሙቀት (ዝቅተኛ → መካከለኛ → ከፍተኛ) ይጠቀሙ።

PTFE ከፍተኛ ሙቀት ያለው ቴፕ በተደጋጋሚ ጥቅም ላይ ከዋለ በኋላ በንጣፍ ብክለት (አቧራ, የሲሊኮን ዘይት), የማጣበቂያ ቅንጅት ብልሽት (ቅሪ) ወይም ደካማ የንጥረ-ነገር ትስስር ምክንያት ማጣበቂያውን ያጣል. መፍትሄዎች፡- ባለከፍተኛ ክሮስሊንክ ሲሊኮን PSA (ዝቅተኛ ፍልሰት፣ ሚዛናዊ ታክ/መያዣ ሃይል)፣ በPTFE substrate ላይ የፕሪመር ህክምና፣ ጥቅጥቅ ያለ የፋይበርግላስ ድጋፍ እና ትክክለኛ አያያዝ (ንፁህ ንጣፎች፣ አሪፍ ልጣጭ፣ 180° አንግል)። የቁጥር ሙከራ መሻሻልን ያረጋግጣል።

PTFE ከፍተኛ ሙቀት ያለው ቴፕ በተገለጹ ሁኔታዎች (ከ10-25 ° ሴ፣ 40-70% RH፣ ከ UV/ከባድ ግፊት የራቀ) መደበኛ የመደርደሪያ ሕይወት ከ3-6 ወራት (ዋና ደረጃዎች እስከ 12 ወር) አለው። ቁልፍ የመበላሸት ገደቦች፡ የልጣጭ ጥንካሬ ከመጀመሪያው እሴት ከ70% በታች መውደቅ የለበትም። ከፍተኛ ሙቀት ካስወገዱ በኋላ ምንም ማጣበቂያ የለም; በተገመተው የሙቀት መጠን ካርቦንዳይዜሽን ወይም ስንጥቅ የለም። ፈጣን ፍተሻዎች፡- በእጅ የመፍታት ስሜት፣ 260°C የተረፈ ፈተና እና የላሜሽን መጨናነቅ ሙከራ።

የሚጠቀለል PTFE ቴፕ በረጅም ጊዜ ማከማቻ ጊዜ የመሃል ሽፋን (ማገድ) እና የማጣበቂያ ሽግግርን ሊያዳብር ይችላል። መንስኤዎች፡- የ PTFE ፊልም ላስቲክ ማህደረ ትውስታ እና የሲሊኮን PSA በግፊት / ሙቀት ውስጥ ይንሰራፋሉ። መከላከል፡- በማምረት ጊዜ የግራዲየንት ጠመዝማዛ ውጥረት (ውጫዊ ጥብቅ፣ ውስጣዊ ልቅ)፣ በተጨማሪም በማያጣብቅ ጎን ላይ የሚለቀቅ ሽፋን። ከ -15 ዲግሪ ሴንቲግሬድ እስከ 40 ዲግሪ ሴንቲግሬድ, 30-70% RH, በአግድም በመደርደሪያዎች ላይ ያከማቹ, ሮለቶችን በየሩብ ዓመቱ ያሽከርክሩ. ለወፍራም የማጣበቂያ ደረጃዎች, በንብርብሮች መካከል የመልቀቂያ ወረቀት ይጨምሩ.