Pita Suhu Tinggi PTFE dalam Pembuatan Semikonduktor – Senario Aplikasi Ultra Bersih
Pita suhu tinggi PTFE berfungsi sebagai bahan kritikal dalam pembuatan semikonduktor, bukan bahan guna guna umum. Aplikasi utama: perlindungan aras wafer (peleset etsa plasma, perlindungan bahagian belakang CMP, pelekat CVD/PVD), proses pembungkusan (penetapan ikatan wayar, topeng pematerian untuk PCB) dan penyelenggaraan peralatan (pembalut penggelek anti-statik, penandaan bilik bersih). Keperluan ultra-bersih: halogen rendah (menghalang kakisan pad ikatan), siloksan rendah (<500 ppm, menghalang pembentukan zarah penebat), ion logam rendah (<1 ppm setiap satu), celahan/pembungkusan bilik bersih ISO Kelas 4, kerintangan permukaan 10⁶-10⁹ Ω dan pelepasan TVOC yang rendah.
