PTFE өндөр температурт соронзон хальсны мэргэжлийн үйлдвэрлэгч Jiangsu Aokai New Materials нь мэргэжлийн удирдамжийг хуваалцдаг. Вакуум бүрэх, вакуум дулааны боловсруулалт болон бусад вакуум орчинд ашиглах үед PTFE өндөр температурт соронзон хальс нь агаар мандлын хэрэглээтэй харьцуулахад үндсэн гүйцэтгэлийн шаардлагаас эрс ялгаатай байдаг. Хийн ялгаралт бага, дэгдэмхий ялгаруулалт бага, цэвэр ариун байдал нь нэн тэргүүний зорилт юм. Үнэлгээ хийх гол үзүүлэлтүүдийг дараах байдлаар жагсаав.
1. Вакуум хий ялгаруулах шинж чанар (Хамгийн чухал үзүүлэлт)
Энэ нь вакуум хэрэглээний шийдвэрлэх гүйцэтгэлийн индекс юм. Бага даралт, өндөр температурт соронзон хальс нь дэгдэмхий хий ялгаруулж, вакуум градусыг доройтуулдаг. Өтгөрүүлсэн дэгдэмхий бодис нь оптик эд анги, шүрших объект, ажлын хэсгүүдийг бохирдуулдаг бөгөөд үүний үр дүнд манан бүрхэж, хальс муу наалддаг, тэр ч байтугай бүтээгдэхүүнээс бүрэн татгалздаг.
· Нийт массын алдагдал (TML): Ерөнхий шаардлага TML ≤ 1.0%; сансар огторгуй, оптикийн үйлдвэр зэрэг өндөр стандартын хэрэглээ нь TML ≤ 0.5% шаарддаг.
· Цуглуулсан дэгдэмхий өтгөрүүлэх материал (CVCM): хатуу хяналттай, ихэвчлэн CVCM ≤ 0.1%; Хэт хатуу хувилбаруудад CVCM ≤ 0.01% шаардлагатай.
2. Температурын эсэргүүцлийн зэрэг
· Тасралтгүй үйлчилгээний температур: PTFE соронзон хальсны PTFE бүрсэн шилэн субстрат нь 260 ° C-д удаан хугацаагаар өртөхийг тэсвэрлэдэг. Гэсэн хэдий ч наалдамхай давхаргын температурын эсэргүүцлийг нэгэн зэрэг шалгах шаардлагатай. Уламжлалт силикон PSA нь 200 ° C орчим халуунд тасралтгүй тэсвэртэй байдаг бол өндөр гүйцэтгэлтэй силикон цавуу нь 260 ° C хүрч чаддаг.
· Богино хугацааны оргил температур: Боловсруулалтын явцад агшин зуурын оргил температур нь соронзон хальсны богино хугацааны дулааны хязгаараас (ерөнхийдөө ≤300°C) хэтэрсэн эсэхийг шалгана. Илүүдэл температур нь наалдамхай давхаргыг нүүрсжүүлж, задалж, вакуум камер дотор хүчтэй бохирдол үүсгэдэг. Тайлбар: Хэрэв вакуум дулааны боловсруулалтын температур 260 ° C-аас хэтэрсэн бол PTFE туузыг хэрэглэх боломжгүй болно; полиимид (Каптон) тууз эсвэл хөнгөн цагаан тугалган туузыг оронд нь авна.
3. Цавууны төрөл ба өндөр температурт барих хүч
· Наалдамхай системийн сонголт: Даралтад мэдрэмтгий силикон цавуу нь халуунд тэсвэртэй тул вакуум хэрэглээний гол сонголт юм. Гэсэн хэдий ч энгийн силикон цавуунд бага молекултай силоксанууд их хэмжээгээр агуулагддаг бөгөөд тэдгээр нь өндөр температурт вакуум орчинд ууршдаг бөгөөд ажлын хэсгүүд, ялангуяа оптик гадаргуу болон цахилгаантай холбоо барих хэсгүүдийг бохирдуулдаг. Тиймээс тусгайлан цэвэршүүлсэн хий ялгаруулах чадвар багатай силикон цавуу эсвэл силикон бус цавууны найрлага шаардлагатай.
· Өндөр температурт барих хүч: Вакуум болон өндөр температурын хосолсон нөхцөлд мөлхөх, ирмэгийг өргөх эсвэл туузыг бүрэн хуулах нь вакуум дамжуулах хоолойг шууд хааж, шинэ бохирдлын эх үүсвэрийг бий болгоно. Ашиглалтын температур дахь зүслэгийг барих хугацааг баталгаажуулсан байх ёстой.
4. Цэвэрлэгээ ба Ионы бохирдол
· Цэвэр өрөөнд нийцтэй байх: Тууз нь зүсэх ирмэг дээр ширхэглэг, хөвөнгүй байх ёстой. Цэвэр өрөөнд үйлдвэрлэсэн туузыг илүүд үздэг.
· Бага ионы агууламж: Хагас дамжуулагч болон MEMS үйлдвэрлэлийн вакуум процессын хувьд соронзон хальсанд агуулагдах галоген ион (Cl) ба металлын ион (Na, K) нь өндөр температурт тунадасж, хэлхээг зэврүүлж, допингийн концентрацийг өөрчилдөг. Нийлүүлэгчээс ион олборлох бодисын туршилтын тайланг хүсэх.
· Силикон тосны шилжилтийг тэглэх: Конденсацлах дэгдэмхий бодисоос гадна цавуу доторх чөлөөт силикон тос нь гадаргуу дээгүүр нэвчиж, дараа нь холбох болон гагнуурын явцад гэмтэл учруулж болзошгүй. Чухал хэрэглээний хувьд силикон тосны шилжилтийн зэрэглэлийг заана уу.
PTFE нь угаасаа өндөр тусгаарлагч материал юм. Вакуум камер дотор үрэлт эсвэл хальслах замаар статик цэнэг нь түүний гадаргуу дээр амархан хуримтлагддаг. Цахилгаан статик ялгадас нь эмзэг электрон эд ангиудыг гэмтээж эсвэл тоосонцор бохирдуулагчийг өөртөө татаж болзошгүй.
· Үзүүлэлтийн шаардлага: Цахилгаан статик мэдрэмтгий бүсийг хамгаалах, хамгаалахын тулд гадаргуугийн эсэргүүцэл нь 10⁶ ~ 10⁹ Ом/кв-ын хооронд хэлбэлздэг статик эсрэг PTFE соронзон хальс шаардлагатай бөгөөд өндөр температурт өртсөний дараа статик эсрэг тогтвортой ажиллагааг хангасан байх ёстой.
6. Плазм ба химийн эсэргүүцэл
· Цусны сийвэнгийн эсэргүүцэл: Цус цацах болон PECVD процессын үед плазмын агаар мандалд өртсөн тууз сийлбэрлэж, хуримтлагдсан хальсыг бохирдуулж, вакуум камерыг элэгдэлд оруулдаг фторын чөлөөт радикалуудыг ялгаруулна. Хэрэглэх боломжтой эсэхийг урьдчилан үнэлэх, эсвэл шаардлагатай бол илүү плазмын тэсвэртэй полиимид тууз руу шилжих.
· Химийн эсэргүүцэл: Вакуум дулааны боловсруулалтын явцад газрын тосны үлдэгдэл уур, цэвэрлэх уусгагч байж болно; наалдамхай материал болон субстрат аль аль нь хавдар, химийн урвалыг эсэргүүцэх ёстой.
7. Хэмжээст тогтвортой байдал ба дулааны агшилтын хурд
Өндөр температурт хэт их дулаан агшилт нь далдлагдсан ирмэгийг ил гаргах эсвэл наалдамхай үрчлээсийг бий болгож, маск хийх нарийвчлал, тохирох байдлыг алдагдуулна.
· Үзүүлэлтийн шаардлага: Үйлдвэрлэгчдийн өгсөн дулааны агшилтын өгөгдлийг шалгана (260°С-т 30 минутын дараа туршина). Дээд зэрэглэлийн вакуум соронзон хальс нь 2% -иас доош буюу бүр бага агшилтыг бий болгодог.
Сонгон шалгаруулалтын зөвлөмжийн хураангуй
Вакуум орчинд PTFE өндөр температурт соронзон хальс худалдаж авахдаа зөвхөн халуунд тэсвэртэй байх нь хангалтгүй юм. Нийлүүлэгчдээс ASTM E595 хий ялгаруулах туршилтын тайланг гаргаж, вакуум үйлчилгээний нөхцөлийг тодорхой зааж өгөх, цэвэршүүлсэн силикон цавуу бүхий хий ялгаруулах тусгай соронзон хальс шаардах. Үйлдвэрлэлийн чухал үйл явцын хувьд вакуум хэмжигч дээрх хэсэгчилсэн даралтын хэлбэлзлийг хэмжих, бэлэн бүтээгдэхүүний болзошгүй бохирдлыг үнэлэхийн тулд жижиг хэмжээний купоны туршилтыг явуулна.
Дээрх техникийн агуулгыг Jiangsu Aokai New Materials Technology Co., Ltd.
Хэрэв та PTFE өндөр температурт даавуу, PTFE өндөр температурт наалдамхай тууз, PTFE өндөр температурт торон тууз, үл үзэгдэх дулаан дарагч бүс, нэг талт PTFE даавуу, өндөр температурт тэсвэртэй халуунд тэсвэртэй туузан дамжуулагч зэрэг манай бүтээгдэхүүний бүрэн багцын нарийвчилсан үзүүлэлтүүд, хэрэглээний хувилбарууд болон захиалгат шийдлүүдийг авахыг хүсвэл доорх хаягаар холбогдоно уу.
· Үйлчилгээний утас: Ноён Гуо +86 18944819998
· Үйлчилгээний утас: Ноён Лю +86 13705266308
Бид мэргэжлийн, үнэнч шударга үйлчилгээний гүн ухааныг үргэлж баримталж, бүх түншүүдэд үйлдвэрлэлийн нэг цэгийн шийдэл, сэтгэлгээтэй харилцагчийн үйлчилгээг сэтгэл зүрхээрээ үзүүлдэг!
