Вакуумдық жабынға, вакуумды термиялық өңдеуге және басқа вакуумдық орталарға PTFE жоғары температуралы таспаны қолданғанда ескерілетін негізгі өнімділік көрсеткіштері

Jiangsu Aokai New Materials, PTFE жоғары температуралы таспаның кәсіби өндірушісі, кәсіби нұсқаулармен бөліседі. Вакуумдық жабындарда, вакуумды термиялық өңдеуде және басқа вакуумдық орталарда пайдаланылған кезде, PTFE жоғары температуралы таспа атмосфералық қолданбалармен салыстырғанда айтарлықтай әртүрлі негізгі өнімділікке қойылатын талаптарға ие. Төмен газды шығару, төмен ұшпа шығарындылар және жоғары тазалық басты басымдықтар болып табылады. Бағаланатын негізгі көрсеткіштер төмендегідей тізілген:

1. Вакуумдық газды шығару қасиеті (ең маңызды көрсеткіш)

Бұл вакуумдық қолданбалар үшін шешуші өнімділік көрсеткіші. Төмен қысымда және жоғары температурада таспа вакуумдық дәрежесін төмендететін ұшпа газды шығарады. Конденсацияланған ұшпа заттар оптикалық құрамдас бөліктерді, шашыратқыш нысандарды және дайындамаларды ластайды, нәтижесінде тұманды жабындар, нашар пленка адгезиясы және тіпті өнімді толығымен қабылдамайды.

· Жалпы массалық жоғалту (TML): Жалпы талап TML ≤ 1,0%; аэроғарыш және оптикалық өнеркәсіп сияқты жоғары стандартты қолданбалар TML ≤ 0,5% талап етеді.

· Жиналған ұшпа конденсацияланатын материалдар (CVCM): қатаң бақыланады, әдетте CVCM ≤ 0,1%; өте қатаң сценарийлер үшін CVCM ≤ 0,01% қажет.

2. Температураға төзімділік дәрежесі

· Үздіксіз қызмет көрсету температурасы: PTFE таспасының PTFE қапталған шыны талшықты субстраты 260°C температурасында ұзақ мерзімді әсерге төтеп бере алады. Дегенмен, жабысқақ қабаттың температураға төзімділігін бір уақытта тексеру керек. Кәдімгі силиконды PSA 200°C шамасында үздіксіз ыстыққа төзімділікті қамтамасыз етеді, ал жоғары өнімді силикон желім 260°C дейін жетеді.

· Қысқа мерзімді ең жоғары температура: Өңдеу кезіндегі лездік ең жоғары температура таспаның қысқа мерзімді термиялық шегінен (әдетте ≤300°C) асатынын тексеріңіз. Артық температура вакуумдық камераның ішінде қатты ластануды тудыратын жабысқақ қабатты көміртектендіреді және ыдыратады. Ескертпе: Егер вакуумдық термиялық өңдеу температурасы 260°C-тан асып кетсе, PTFE таспасы енді қолданылмайды; орнына полиимидті (Каптон) таспа немесе алюминий фольга лентасы қабылданады.

3. Жабысқақ түрі және жоғары температураны ұстау күші

· Жабысқақ жүйені таңдау: қысымға сезімтал силикон желімі жоғары ыстыққа төзімділігіне байланысты вакуумды қолдану үшін негізгі таңдау болып табылады. Осыған қарамастан, қарапайым силикон желімдерінің құрамында жоғары температуралы вакуумда ұшатын және дайындамаларды, әсіресе оптикалық беттерді және электрлік байланыс аймақтарын ластайтын төмен молекулалы силоксандар көп болады. Сондықтан арнайы тазартылған газды аз шығаратын силиконды желім немесе силикон емес желім құрамдары қажет.

· Жоғары температураны ұстап тұру қуаты: аралас вакуумдық және жоғары температура жағдайында таспаның сусымалысы, жиегін көтеру немесе толық тазарту вакуумдық құбырларды тікелей жауып тастайды және жаңа ластану көздерін енгізеді. Жұмыс температурасында ығысуды ұстау ұзақтығы расталуы керек.

4. Тазалық және иондық ластану

· Таза бөлменің үйлесімділігі: таспада талшықтар төгілмеуі және кесу жиектерінде талшықтар болмауы керек. Таза бөлмелерде жасалған таспаларға артықшылық беріледі.

· Төмен иондық құрамы: жартылай өткізгіш және MEMS өнеркәсіптеріндегі вакуумдық процестер үшін таспаның құрамындағы галоген иондары (Cl) және металл иондары (Na, K) жоғары температурада, контурларды коррозияға ұшыратады немесе қоспа концентрациясын өзгертеді. Жеткізушілерден иондық экстракциялық заттардың сынақ есептерін сұраңыз.

· Силикон майының нөлдік миграциясы: Конденсацияланатын ұшпа заттардан басқа, желімдердің ішіндегі бос силикон майы беттерге өтіп, кейінгі байланыстыру және дәнекерлеу процестерінде сәтсіздікке әкелуі мүмкін. Маңызды қолданбалар үшін нөлдік силикон майының көшу дәрежесін көрсетіңіз.

5. Беттік антистатикалық өнімділік

PTFE табиғи түрде жоғары оқшаулағыш материал болып табылады. Статикалық заряд вакуумдық камералардың ішінде үйкеліс немесе пиллинг арқылы оның бетінде оңай жиналады. Электростатикалық разряд сезімтал электрондық компоненттерді зақымдауы немесе ластаушы бөлшектерді тартуы мүмкін.

· Көрсеткіш талаптары: Электростатикалық әсерге сезімтал аймақтарды экрандау және қорғау үшін бетінің кедергісі 10⁶ ~ 10⁹ Ω/кв аралығында болатын антистатикалық PTFE лентасы қажет және жоғары температура әсерінен кейін тұрақты антистатикалық өнімділік сақталуы керек.

6. Плазма және химиялық төзімділік

· Плазмаға төзімділік: шашырату және PECVD процестерінде плазмалық атмосфераға ұшыраған таспа сызылып, тұндырылған пленкаларды ластайтын және вакуумдық камераларды эрозияға ұшырататын фтордың бос радикалдарын шығарады. Қолдану мүмкіндігін алдын ала бағалаңыз немесе қажет болса, плазмаға төзімді полиимидті таспаға ауысыңыз.

· Химиялық төзімділік: вакуумды термиялық өңдеу кезінде қалдық май буы және тазартқыш еріткіштер болуы мүмкін; желім де, субстрат те ісіну мен химиялық реакцияларға қарсы тұруы керек.

7. Өлшем тұрақтылығы және термиялық шөгу жылдамдығы

Жоғары температурада шамадан тыс термиялық шөгу маскирленген жиектерді ашады немесе жабысқақ әжімдерді тудырады, маска дәлдігі мен сәйкестігін нашарлатады.

· Көрсеткіш талабы: Өндірушілер ұсынған термиялық шөгу деректерін қарап шығыңыз (260°C температурада 30 минуттан кейін сыналған). Премиум вакуумдық таспа 2% немесе одан да төмен шөгуге қол жеткізеді.

Таңдау бойынша ұсыныстардың қысқаша мазмұны

Вакуумдық орталар үшін PTFE жоғары температуралы таспаны сатып алғанда, тек ыстыққа төзімділік жеткіліксіз. Жабдықтаушылардан ASTM E595 газды шығару сынағы есептерін сұраңыз, вакуумдық қызмет көрсету шарттарын нақты көрсетіңіз және тазартылған силикон желімімен мамандандырылған газ шығаратын төмен таспаларды талап етіңіз. Маңызды өндірістік процестер үшін вакуумдық өлшегіштердегі ішінара қысымның ауытқуын өлшеу және дайын өнімнің ықтимал ластануын бағалау үшін шағын ауқымды купондық сынақтарды жүргізіңіз.

Жоғарыдағы техникалық мазмұнды қамтамасыз етеді Jiangsu Aokai New Materials Technology Co., Ltd.

PTFE жоғары температуралы шүберек, PTFE жоғары температуралы жабысқақ таспа, PTFE жоғары температуралы тор таспасы, жіксіз жылу пресс таспасы, бір жақты PTFE матасы, жоғары температураға төзімді матаны, жоғары температураға төзімді талшықты таспаны, соның ішінде толық өнім портфолиосының егжей-тегжейлі сипаттамаларын, қолдану сценарийлерін және теңшелген шешімдерін алғыңыз келсе, төмендегі ақпарат арқылы хабарласыңыз:

· Қызметтік сенім телефоны: Го мырза +86 18944819998

· Жедел желі қызметі: Лю + мырза86 13705266308

Біз әрқашан кәсіби және адалдыққа бағдарланған қызмет көрсету философиясын ұстанамыз, барлық серіктестер үшін бір терезе өнеркәсіптік шешімдерді және мұқият тұтынушыларға қызмет көрсетуді ұсынамыз!