ይህ መጣጥፍ በቫኩም ሽፋን፣ በቫኩም ሙቀት ሕክምና እና ተመሳሳይ አካባቢዎች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውለውን የPTFE ከፍተኛ ሙቀት ቴፕ ዋና የአፈፃፀም አመልካቾችን ይሸፍናል። ቁልፍ መስፈርቶች ከከባቢ አየር አጠቃቀም በእጅጉ ይለያያሉ፡ ጋዝ ማውጣት በጣም ወሳኝ ነው (TML≤1%፣ CVCM≤0.1%፣ ኤሮስፔስ/የጨረር ውጤቶች TML≤0.5%፣ CVCM≤0.01%); የሙቀት መቋቋም ለሁለቱም የ PTFE substrate (260 ° C) እና የማጣበቂያ ንብርብር መረጋገጥ አለበት; የሲሊኮን ብክለትን ለመከላከል በልዩ ሁኔታ የተጣራ ዝቅተኛ-ጋዝ ሲሊኮን PSA ያስፈልጋል ። ከፍተኛ-ሙቀትን የሚይዝ ሃይል ሾጣጣ እና የጠርዝ ማንሳትን ይከላከላል; ንጽህና የፋይበር ማፍሰስ እና ዝቅተኛ የ ion ይዘት አይፈልግም; ፀረ-ስታቲክ ቴፕ (የገጽታ መከላከያ 10⁶-10⁹ Ω/ስኩዌር) የ ESD ጉዳትን ይከላከላል; የፕላዝማ መቋቋም ለ sputtering / PECVD ሂደቶች መገምገም አለበት; ከ 2% በታች ያለው የሙቀት መቀነስ የጭንብል ትክክለኛነትን ያረጋግጣል።

ይህ ጽሑፍ ለ PTFE ቴፕ የሲሊኮን ግፊት-ስሜታዊ ማጣበቂያ የክፍል-ሙቀትን እና ከፍተኛ-ሙቀትን ብስለት ያወዳድራል። ከፍተኛ ሙቀት ያለው ብስለት (120-180 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ) ጥቅጥቅ ያሉ የተሻገሩ አውታረ መረቦችን ይፈጥራል ጠንካራ የተቀናጀ ጥንካሬ , ከተላጠ በኋላ የሚጣበቁ ቀሪዎችን ይከላከላል. ከPTFE ንኡስ ንጣፎች ጋር የኬሚካል መቆንጠጫ ቦንዶችን በፕሪመር በጋራ ማከም ይፈጥራል፣ ይህም የመጥፋት አደጋዎችን ያስወግዳል። ከፍተኛ ሙቀት ያለው ብስለት ከመውለዱ በፊት ዝቅተኛ ሞለኪውላዊ ተለዋዋጭነትን ያስወግዳል, በመጀመሪያ ማሞቂያ ወቅት አረፋን እና የሲሊኮን ዘይት ብክለትን ይከላከላል.

ይህ መመሪያ PTFE ከፍተኛ ሙቀት ያለው ቴፕ ምርጫን በመርፌ መቅረጽ መፍረስ እና ፀረ-ስቲክ አፕሊኬሽኖችን ይሸፍናል። በሙቀት ላይ የተመሰረተ ምርጫ: ≤260 ° ሴ ለአጠቃላይ ፕላስቲኮች (መደበኛ የሲሊኮን PSA ቴፕ, 0.13-0.18mm); 260-300 ° ሴ ለከፍተኛ ሙቀት ምህንድስና ፕላስቲኮች እንደ ፒሲ, PA66, POM (ከፍተኛ ሙቀት ያለው የሲሊኮን ማጣበቂያ, 0.18-0.25 ሚሜ); 300-400°C ለPEEK፣ LCP፣ PPS በሞቃት ሯጮች አጠገብ (የሚለጠፍ ቴፕ አልተሳካም፤ ከማጣበቂያ-ነጻ PTFE ጨርቅ ወይም ፒኤፍኤ ፊልም ይጠቀሙ)። በቁሳቁስ ላይ የተመሰረተ ምርጫ: የታጠቁ ቁሳቁሶች ከፍተኛ የተለቀቁ ንጹህ የ PTFE ንጣፎች ያስፈልጋቸዋል; በመስታወት/በማዕድን የተሞሉ ቁሳቁሶች ከባድ 0.25mm+ የሚለበስ ቴፕ ያስፈልጋቸዋል። የሚበላሹ ተጨማሪዎች በኬሚካላዊ ተከላካይ ማጣበቂያ እና ጥቅጥቅ ያለ ንጣፍ ይፈልጋሉ; የማይንቀሳቀስ-sensitive መተግበሪያዎች ጸረ-የማይንቀሳቀስ ጥቁር PTFE ቴፕ ያስፈልጋቸዋል።

በPTFE የተሸፈነ የፋይበርግላስ ጨርቅ ለሙቀት መቋቋም፣ ላልተጣበቀ ንብረቱ እና ለዝቅተኛ ፍጥነቱ የጎማ ማቀነባበሪያ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል። ቁልፍ አፕሊኬሽኖች የሚያጠቃልሉት፡ ለጠፍጣፋ/vacuum vulcanization እና ለጎማ መቅረጽ የመልቀቂያ መስመሮች፤ ክፍት ወፍጮዎች ፣ የቀን መቁጠሪያዎች እና የማቀዝቀዣ መስመሮች የማይጣበቁ የእቃ ማጓጓዣ ቀበቶዎች; ከፊል የተጠናቀቀ የጎማ ማከማቻ ኢንተርሌቭ ጨርቅ; የሲሊኮን እና ፍሎሮሮበርበር ልዩ አያያዝ; እና ለድህረ ማከሚያ የሚሆን የምድጃ ማስቀመጫዎች. ጥቅሞቹ የሻጋታ መጣበቅን ማስወገድ፣ የመልቀቂያ ወኪል አጠቃቀምን መቀነስ፣ ሮለር መጠቅለልን መከላከል እና ለስላሳ መፍረስ ማረጋገጥን ያካትታሉ።

የ PTFE ቴፕ ለኬሚካላዊ ቧንቧ/ዕቃ ፀረ-ዝገት፣ የማይጣበቅ እና የማሸግ መከላከያ ተጓዳኝ ንጣፍ፣ ማጣበቂያ እና የኬሚካል ሚዲያ ይፈልጋል። የሲሊኮን PSA ለ 200-260 ° ሴ በአሲድ / አልካላይስ; acrylic PSA ኦርጋኒክ ፈሳሾችን ይቋቋማል ነገር ግን የሙቀት መጠኑን እስከ ≤150 ° ሴ ይገድባል። ለHF፣ መፍላት > 80% አልካሊ፣ ወይም ክሎሪን ትሪፍሎራይድ፣ PTFE-ብቻ ሽፋን ይጠቀሙ (ኦርጋኒክ ማጣበቂያ የለም)። ወሳኝ፡ ማጣበቂያው በጣም ደካማው ማገናኛ እንጂ ፒቲኤፍኢ ራሱ አይደለም።

የ PTFE ቴፕ መያዣ ኃይል በሽፋን እና በማከም ሂደት ማመቻቸት ይሻሻላል። ሽፋን፡ የፕሪመር ንብርብር (0.5-2μm silane primer ተለጣፊ ልጣጭን ይከላከላል)፣ የማጣበቂያ ውፍረት 30-60μm (ለኃይል ማቆየት ተስማሚ)፣ የቫኩም ማጽዳት እና 5-10μm ማጣሪያ። ማከም: በደረጃ ማሞቂያ (80-100 ° ሴ የሟሟ ማስወገጃ → 120-140 ° ሴ ቅርጽ → 150-220 ° ሴ ጥልቅ መስቀለኛ መንገድ), ድህረ-ማከም (40-60 ° ሴ ለ 24-48h ጭንቀትን ለማስታገስ), እና ዝቅተኛ-ውጥረት ማጓጓዣ ውስጣዊ ውጥረትን ከ substrate መቀነስ ለመከላከል. ፕሪመር ለ PTFE ዝቅተኛ የገጽታ ኃይል አስፈላጊ ነው።

PTFE ከፍተኛ ሙቀት ያለው ቴፕ በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ እንደ ወሳኝ ቁሳቁስ ሆኖ ያገለግላል እንጂ አጠቃላይ ጥቅም ላይ የሚውል አይደለም። ቁልፍ አፕሊኬሽኖች፡ የዋፈር ደረጃ ጥበቃ (የፕላዝማ ኢቲንግ ማስኬድ፣ የCMP የኋላ መከላከያ፣ የሲቪዲ/PVD ጭንብል)፣ የማሸግ ሂደቶች (የሽቦ ትስስር መጠገኛ፣ ለ PCBs የሚሸጥ ጭንብል) እና የመሳሪያ ጥገና (ፀረ-ስታቲክ ሮለር መጠቅለያ፣ የጽዳት ክፍል ምልክት ማድረግ)። እጅግ በጣም ንፁህ መስፈርቶች፡ ዝቅተኛ halogens (የቦንድ ፓድ ዝገትን ይከላከላል)፣ ዝቅተኛ siloxanes (<500 ፒፒኤም፣ ኢንሱላር ቅንጣት እንዳይፈጠር ይከላከላል)፣ ዝቅተኛ የብረት ions (<1 ppm እያንዳንዱ)፣ ISO ክፍል 4 cleanroom slitting/ማሸጊያ፣ 10⁶-10⁹ Ω የወለል መቋቋም እና ዝቅተኛ የቲቪኦክ ልቀቶች።

የሕክምና ደረጃ PTFE ከፍተኛ ሙቀት ያለው ቴፕ ከባዮኬሚካላዊ የ PTFE ንኡስ ክፍል ከፕላቲነም ከተቀዳ የሲሊኮን ማጣበቂያ ጋር ያጣምራል። ቁልፍ ባህሪያት: ISO 10993 ታዛዥ (ሳይቶቶክሲክ, ስሜታዊነት ወይም ብስጭት የለም), ተደጋጋሚ ማምከን (የእንፋሎት / ኢኦ / ጋማ), 260 ° ሴ ሙቀትን መቋቋም. ወሳኝ ጥንቃቄዎች፡ ከ 260 ዲግሪ ሴንቲግሬድ (ከ300 ዲግሪ ሴንቲግሬድ በላይ የሆነ መርዛማ ጭስ)፣ ጋማ irradiation መበከልን ሊያስከትል፣ የማምከን ዘዴዎችን ማረጋገጥ እና ሙሉ ተገዢነት ያላቸውን ሰነዶች ሊጠይቅ ይችላል (ISO 10993 ሪፖርቶች፣ MSDS፣ የእርጅና መረጃ)። የተለየ ካልተረጋገጠ በቀር ለቀጥታ ደም ወይም ተከላ ጥቅም አይደለም።

የ PTFE ቴፕ ድጋሚ ጥቅም ላይ የሚውለው በአራት ነገሮች ላይ የተመሰረተ ነው፡- የሚለጠፍ ቀረጻ (ከፍተኛ የመስቀለኛ መንገድ መጠን፣ ዝቅተኛ የሲሊኮን ፍልሰት፣ የማይክሮፋዝ መዋቅር ለዳግም ቦታ መታጠፍ)፣ የከርሰ ምድር መልህቅ (የላይኛውን ማግበር + ሙሉ ተለጣፊ ማስተላለፍን ለመከላከል ፕሪመር)፣ ከኋላ ያለው ሽፋን (በሚፈታ ጊዜ ማጣበቂያውን ለመከላከል የሚለቀቅ ንብርብር) እና ትክክለኛ አያያዝ (ከመለጠፊያ በላይ የሚለጠፍ ቴክኒክ)። በውሃ የሚታጠቡ የተስተካከሉ ሙጫዎች ከጽዳት በኋላ>90% ታክን ማገገም ይችላሉ።

ሰፊ የሙቀት መጠን ያለው የ PTFE ቴፕ ከ -70 ° ሴ እስከ 260 ° ሴ ድረስ መጣበቅን የሚይዝ የሲሊኮን PSA ይፈልጋል። ቁልፍ የንድፍ አካላት፡- ፕሪመር-የተሰካ የሽግግር ንብርብር (delaminationን ይከላከላል)፣ የባህር ደሴት ማይክሮስትራክቸር (MQ resin ደሴቶች + ፖሊሲሎክሳን ቀጣይነት ያለው ደረጃ)፣ የግራዲየንት ማቋረጫ (ከፍተኛ ጥግግት ያለው የውስጥ ሽፋን ለዝቅጠት መቋቋም፣ ለዝቅተኛ የሙቀት መጠን ዝቅተኛ ውፍረት ያለው የውጨኛው ሽፋን) እና የሙቀት-የተረጋጉ ሙላቶች (cerium oxide ለኦክሳይድ መቋቋም)። Phenyl-የተሻሻሉ siloxane ክፍሎች ዝቅተኛ-ሙቀት ክሪስታላይዜሽን ለማፈን, -100 ° ሴ በታች ተጣጣፊነት ያስችላል.