דער אַרטיקל קאָווערס האַרץ פאָרשטעלונג ינדיקאַטאָרס פֿאַר PTFE הויך-טעמפּעראַטור טאַשמע געניצט אין וואַקוום קאָוטינג, וואַקוום היץ באַהאַנדלונג און ענלעך ינווייראַנמאַנץ. שליסל באדערפענישן זענען זייער אַנדערש פון אַטמאַספעריק נוצן: אַוטגאַססינג איז מערסט קריטיש (TML≤1%, CVCM≤0.1%; אַעראָספּאַסע / אָפּטיש גראַדעס דאַרפן TML≤0.5%, CVCM≤0.01%); טעמפּעראַטור קעגנשטעל מוזן זיין וועראַפייד פֿאַר ביידע פּטפע סאַבסטרייט (260 ° C) און קלעפּיק שיכטע; ספּעציעל פּיוראַפייד נידעריק-אַוטגאַססינג סיליקאָנע פּסאַ איז פארלאנגט צו פאַרמייַדן סילאָקסאַנע קאַנטאַמאַניישאַן; הויך-טעמפּעראַטור האלטן מאַכט פּריווענץ קריכן און ברעג ליפטינג; ריינקייַט פאדערט קיין פיברע שעדינג און נידעריק ייאַניק צופרידן; אַנטי-סטאַטיק טייפּ (ייבערפלאַך רעסיסטיוויטי 10⁶-10⁹ Ω/סק) פּריווענץ ESD שעדיקן; פּלאַזמע קעגנשטעל מוזן זיין עוואַלואַטעד פֿאַר ספּאַטערינג / PECVD פּראַסעסאַז; טערמאַל שרינגקידזש אונטער 2% ינשורז מאַסקינג פּינטלעכקייַט.

דער אַרטיקל קאַמפּערז צימער-טעמפּעראַטור און הויך-טעמפּעראַטור מאַטשוריישאַן פון סיליקאָנע דרוק-שפּירעוודיק קלעפּיק פֿאַר PTFE טייפּ. מאַטשוריישאַן מיט הויך טעמפּעראַטור (120-180 ° C) קריייץ געדיכט קראָססלינקעד נעטוואָרקס מיט שטאַרק קאָוכיסיוו שטאַרקייַט, פּרעווענטינג קלעפּיק רעזאַדו נאָך פּילינג. עס פארמען כעמישער אַנגקערינג קייטן מיט PTFE סאַבסטרייץ דורך קאָו-קיורינג אָנפאַנגער, ילימאַנייטינג דעלאַמינאַטיאָן ריסקס. הויך-טעמפּעראַטור מאַטשוריישאַן אויך רימוווז נידעריק-מאָלעקולאַר וואַלאַטאַלז איידער עקספּרעס, פּרעווענטינג באַבלינג און סיליקאָנע ייל קאַנטאַמאַניישאַן בעשאַס ערשטער באַהיצונג.

דער פירער קאָווערס PTFE הויך-טעמפּעראַטור טאַשמע סעלעקציע פֿאַר ינדזשעקשאַן מאָלדינג דעמאָולדינג און אַנטי-שטעקן אַפּלאַקיישאַנז. טעמפּעראַטור-באזירט סעלעקציע: ≤260 °C פֿאַר אַלגעמיין פּלאַסטיקס (נאָרמאַל סיליקאָנע פּסאַ טאַשמע, 0.13-0.18מם); 260-300 °C פֿאַר הויך-טעמפּעראַטור ינזשעניעריע פּלאַסטיקס ווי פּיסי, פּאַ66, פּאָם (הויך-טעמפּעראַטור סיליקאָנע קלעפּיק, 0.18-0.25מם); 300-400 ° C פֿאַר PEEK, LCP, PPS לעבן הייס ראַנערז (קלעפּיק טייפּ פיילז; נוצן קלעפּיק-פֿרייַ פּטפע שטאָף אָדער פּפאַ פילם). מאַטעריאַל-באזירט סעלעקציע: קלעפּיק מאַטעריאַלס דאַרפֿן הויך-מעלדונג ריין פּטפע סערפאַסיז; גלאז / מינעראַל אָנגעפילט מאַטעריאַלס דאַרפן שווער-פליכט 0.25 מם + טראָגן-קעגנשטעליק טייפּ; קעראָוסיוו אַדאַטיווז דאַרפן קעמאַקלי קעגנשטעליק קלעפּיק און געדיכט סאַבסטרייט; סטאַטיק-שפּירעוודיק אַפּלאַקיישאַנז דאַרפֿן אַנטי-סטאַטיק שוואַרץ פּטפע טאַשמע.

פּטפע-קאָוטאַד פייבערגלאַס שטאָף איז וויידלי געניצט אין גומע פּראַסעסינג פֿאַר זייַן היץ קעגנשטעל, ניט-שטעקן פאַרמאָג און נידעריק רייַבונג. שליסל אַפּלאַקיישאַנז אַרייַננעמען: מעלדונג ליינערז פֿאַר טעלער / וואַקוום ווולקאַניזיישאַן און רייַף מאָלדינג; ניט-שטעקן קאַנווייער בעלץ פֿאַר עפענען מיללס, קאַלענדערז און קאָאָלינג שורות; ינטערלעאַוו שטאָף פֿאַר האַלב-פאַרטיק גומע סטאָרידזש; ספּעשאַלייזד האַנדלינג פון סיליקאָנע און פלואָראָבער; און ויוון טאַץ פֿאַר פּאָסטן-קיורינג. בענעפיץ אַרייַננעמען ילימאַנייטינג פורעם אַדכיזשאַן, רידוסינג די נוצן פון מעלדונג אַגענט, פּרעווענטינג וואַל ראַפּינג און ינשורינג גלאַט דעמאָולדינג.

PTFE טייפּ פֿאַר כעמישער רער / שיף אַנטי-קעראָוזשאַן, ניט-שטעקן און סילינג שוץ ריקווייערז וואָס ריכטן סאַבסטרייט, קלעפּיק סיסטעם און כעמיש מידיאַ. סיליקאָנע פּסאַ איז רעקאַמענדיד פֿאַר 200-260 ° C מיט אַסאַדז / אַלקאַליס; אַקריליק פּסאַ ריזיסץ אָרגאַניק סאָלוואַנץ אָבער לימאַץ טעמפּעראַטור צו ≤150 °C. פֿאַר HF, בוילינג> 80% אַלקאַלי, אָדער קלאָרין טריפלאָרידע, נוצן PTFE-בלויז ונטערשלאַק (קיין אָרגאַניק קלעפּיק). קריטיש: קלעפּיק איז די וויקאַסט לינק, נישט די PTFE זיך.

PTFE טייפּ האלטן מאַכט איז ימפּרוווד דורך קאָוטינג און קיורינג פּראָצעס אַפּטאַמאַזיישאַן. קאָוטינג: אָנפאַנגער שיכטע (0.5-2μם סילאַנע אָנפאַנגער פּריווענץ קלעפּיק פּילינג), קלעפּיק גרעב 30-60μם (אָפּטימאַל פֿאַר האלטן מאַכט), וואַקוום דעפאָאַמינג און 5-10μם פילטריישאַן. קיורינג: סטעפּוויסע באַהיצונג (80-100 °C סאַלוואַנט באַזייַטיקונג → 120-140 °C פורעמונג → 150-220 °C טיף קראָססלינקינג), פּאָסט-קיורינג (40-60 ° C פֿאַר 24-48 ה צו אָפּרוען דרוק), און נידעריק-שפּאַנונג קאַנווייאַנס צו פאַרמייַדן ינערלעך דרוק פון די סאַבסטרייט שרינגקידזש. דער אָנפאַנגער איז יקערדיק פֿאַר PTFE ס נידעריק ייבערפלאַך ענערגיע.

PTFE הויך-טעמפּעראַטור טאַשמע סערוועס ווי אַ קריטיש מאַטעריאַל אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג, נישט אַ גענעראַל-ציל קאָנסומאַבלע. שליסל אַפּלאַקיישאַנז: ווייפער-מדרגה שוץ (פּלאַזמאַ עטשינג מאַסקינג, CMP באַקסייד שוץ, CVD / PVD מאַסקינג), פּאַקקאַגינג פּראַסעסאַז (דראָט באַנדינג פיקסיישאַן, סאַדערינג מאַסקע פֿאַר פּקבס), און ויסריכט וישאַלט (אַנטי-סטאַטיק וואַל ראַפּינג, קלינראָאָם מאַרקינג). הינטער-ריין רעקווירעמענץ: נידעריק האַלאָגענס (פּרעווענץ קעראָוזשאַן פון בונד בלאָק), נידעריק סילאָקסאַנעס (<500 פּפּם, פּריווענץ ינסאַלייטינג פּאַרטאַקאַל פאָרמירונג), נידעריק מעטאַל ייאַנז (<1 פּיפּיעם יעדער), יסאָ קלאַס 4 קלינראָאָם סלאַטינג / פּאַקקאַגינג, 10⁶-10⁹ Ω ייבערפלאַך רעסיסטיוויטי און נידעריק TVOC ימישאַנז.

מעדיציניש-מיינונג PTFE הויך-טעמפּעראַטור טאַשמע קאַמביינז ביאָקאָמפּאַטאַבאַל PTFE סאַבסטרייט מיט פּלאַטינום-געהיילט סיליקאָנע קלעפּיק. שליסל פֿעיִקייטן: ISO 10993 געהאָרכיק (קיין סיטאָטאָקסיסיטי, סענסיטיזיישאַן אָדער יריטיישאַן), וויטסטאַנד ריפּיטיד סטעראַליזיישאַן (פּאַרע / עאָ / גאַמאַ), היץ קעגנשטעל פון 260 ° C. קריטיש פּריקאָשאַנז: טאָן ניט יקסיד 260 ° C (טאַקסיק פיומז העכער 300 ° C), גאַמאַ יריידייישאַן קען פאַרשאַפן עמבריטטלעמענט, וואַלאַדייט סטעראַליזיישאַן מעטהאָדס און בעטן פול העסקעם דאַקיומענטיישאַן (ISO 10993 ריפּאָרץ, MSDS, יידזשינג דאַטן). ניט פֿאַר דירעקט בלוט אָדער ימפּלאַנטיישאַן נוצן סייַדן ספּאַסיפיקלי וואַלאַדייטאַד.

PTFE טייפּ ריוזאַביליטי דעפּענדס אויף פיר סיבות: קלעפּיק פאָרמיוליישאַן (הויך קראָססלינק געדיכטקייַט, נידעריק סיליקאָנע מיגראַטיאָן, מיקראָפאַסע סטרוקטור פֿאַר ריפּאַזישאַן טאַק), סאַבסטרייט אַנגקערינג (סערפאַסע אַקטאַוויישאַן + אָנפאַנגער צו פאַרמייַדן פול קלעפּיק אַריבערפירן), באַקסייד קאָוטינג (מעלדונג שיכטע צו באַשיצן קלעפּיק בעשאַס אַנוויינדינג), און ריכטיק באַהאַנדלונג פון די ייבערפלאַך פון די טעמפעראטור (איבער-טעמפּעראַטור). וואַסער-וואַשאַבלע מאַדאַפייד אַדכיסיווז קענען צוריקקריגן> 90% טאַק נאָך רייניקונג.

PTFE טייפּ מיט ברייט טעמפּעראַטור קייט ריקווייערז אַ סיליקאָנע פּסאַ וואָס האלט אַדכיזשאַן פון -70 ° C צו 260 ° C. שליסל פּלאַן עלעמענטן: אָנפאַנגער-אַנגקערד יבערגאַנג שיכטע (פּרעווענץ דעלאַמינאַטיאָן), ים-אינזל מיקראָסטרוקטורע (MQ סמאָלע אינזלען + פּאָליסילאָקסאַנע קעסיידערדיק פאַסע), גראַדיענט קראָססלינקינג (הויך-געדיכטקייַט ינער שיכטע פֿאַר קריכן קעגנשטעל, נידעריק-געדיכטקייַט ויסווייניקסט שיכטע פֿאַר נידעריק-טעמפּ טאַק), און היץ-סטייבאַלייזד פילערז (סעריום אַקסייד פֿאַר אַקסאַדיישאַן קעגנשטעל). פעניל-מאַדיפיעד סילאָקסאַנע סעגמאַנץ פאַרשטיקן נידעריק-טעמפּעראַטור קריסטאַלליזאַטיאָן, געבן בייגיקייַט אונטער -100 °C.