මෙම ලිපිය රික්තක ආලේපනය, රික්ත තාප පිරියම් කිරීම සහ ඒ හා සමාන පරිසරයන්හි භාවිතා කරන PTFE අධි-උෂ්ණත්ව ටේප් සඳහා මූලික කාර්ය සාධන දර්ශක ආවරණය කරයි. ප්‍රධාන අවශ්‍යතා වායුගෝලීය භාවිතයට වඩා බොහෝ සෙයින් වෙනස් වේ: වායු පිටකිරීම ඉතාමත් තීරණාත්මක වේ (TML≤1%, CVCM≤0.1%; අභ්‍යවකාශ/ප්‍රකාශ ශ්‍රේණි සඳහා TML≤0.5%, CVCM≤0.01%); PTFE උපස්ථරය (260 ° C) සහ ඇලවුම් ස්ථරය සඳහා උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය තහවුරු කළ යුතුය; සිලෝක්සෙන් දූෂණය වීම වැළැක්වීම සඳහා විශේෂයෙන් පිරිසිදු කරන ලද අඩු වායු සිලිකොන් PSA අවශ්ය වේ; ඉහළ-උෂ්ණත්ව රඳවා ගැනීමේ බලය රිංගා සහ දාර එසවීම වළක්වයි; පිරිසිදුකමට තන්තු වැගිරීමක් සහ අඩු අයනික අන්තර්ගතයක් අවශ්‍ය නොවේ; ප්‍රති-ස්ථිතික ටේප් (මතුපිට ප්‍රතිරෝධය 10⁶-10⁹ Ω/sq) ESD හානි වළක්වයි; sputtering/PECVD ක්‍රියාවලීන් සඳහා ප්ලාස්මා ප්‍රතිරෝධය ඇගයීමට ලක් කළ යුතුය; 2% ට අඩු තාප හැකිලීම ආවරණ නිරවද්‍යතාවය සහතික කරයි.

මෙම ලිපිය PTFE ටේප් සඳහා සිලිකොන් පීඩන-සංවේදී මැලියම්වල කාමර-උෂ්ණත්වය සහ ඉහළ-උෂ්ණත්ව පරිණත වීම සංසන්දනය කරයි. ඉහළ-උෂ්ණත්ව පරිණත වීම (120-180 ° C) ශක්තිමත් ඒකාබද්ධ ශක්තියක් සහිත ඝන හරස් සම්බන්ධක ජාල නිර්මාණය කරයි, පීල් කිරීමෙන් පසු ඇලවුම් අවශේෂ වළක්වයි. එය ප්‍රයිමර් සම-සුවකිරීම හරහා PTFE උපස්ථර සමඟ රසායනික නැංගුරම් බන්ධන සාදයි, delamination අවදානම ඉවත් කරයි. ඉහළ-උෂ්ණත්ව පරිණත වීම බෙදා හැරීමට පෙර අඩු අණුක වාෂ්පශීලී ද්‍රව්‍ය ඉවත් කරයි, පළමු රත් කිරීමේදී බුබුලු සහ සිලිකොන් තෙල් දූෂණය වීම වළක්වයි.

මෙම මාර්ගෝපදේශය එන්නත් මෝල්ඩින් ඩිමෝල්ඩින් සහ ඇන්ටි-ස්ටික් යෙදුම් සඳහා PTFE අධි-උෂ්ණත්ව ටේප් තේරීම ආවරණය කරයි. උෂ්ණත්වය මත පදනම් වූ තේරීම: සාමාන්ය ප්ලාස්ටික් සඳහා ≤260 ° C (සම්මත සිලිකන් PSA ටේප්, 0.13-0.18mm); PC, PA66, POM වැනි අධි-උෂ්ණත්ව ඉංජිනේරු ප්ලාස්ටික් සඳහා 260-300 ° C (ඉහළ උෂ්ණත්වය සිලිකන් ඇලවුම්, 0.18-0.25mm); උණුසුම් ධාවකයන් අසල PEEK, LCP, PPS සඳහා 300-400 ° C (ඇලවුම් පටි අසමත් වේ; මැලියම් රහිත PTFE රෙදි හෝ PFA පටල භාවිතා කරන්න). ද්‍රව්‍ය මත පදනම් වූ තේරීම: ඇලෙන සුළු ද්‍රව්‍යවලට අධි-නිදහස් පිරිසිදු PTFE මතුපිට අවශ්‍ය වේ; වීදුරු/ඛනිජමය පිරවූ ද්‍රව්‍යවලට බර 0.25mm+ ඇඳුම්-ප්‍රතිරෝධක ටේප් අවශ්‍ය වේ; විඛාදන ආකලන රසායනිකව ප්රතිරෝධී ඇලවුම් සහ ඝන උපස්ථරයක් ඉල්ලුම; ස්ථිතික-සංවේදී යෙදුම් සඳහා ප්‍රති-ස්ථිතික කළු PTFE ටේප් අවශ්‍ය වේ.

PTFE-ආලේපිත ෆයිබර්ග්ලාස් රෙදි රබර් සැකසීමේදී එහි තාප ප්‍රතිරෝධය, නොඇලෙන ගුණය සහ අඩු ඝර්ෂණය සඳහා බහුලව භාවිතා වේ. ප්‍රධාන යෙදුම්වලට ඇතුළත් වන්නේ: තහඩු/රික්ත වල්කනීකරණය සහ ටයර් අච්චු කිරීම සඳහා ලයිනර් මුදා හැරීම; විවෘත මෝල්, කැලැන්ඩර් සහ සිසිලන රේඛා සඳහා නොඇලෙන වාහක පටි; අර්ධ නිමි රබර් ගබඩා කිරීම සඳහා interleave රෙදි; සිලිකන් සහ ෆ්ලෝරෝරබර් විශේෂිත හැසිරවීම; සහ පශ්චාත් සුව කිරීම සඳහා අවන් තැටි. ප්‍රතිලාභ අතර පුස් ඇලවීම ඉවත් කිරීම, මුදා හැරීමේ කාරක භාවිතය අඩු කිරීම, රෝලර් එතීම වැළැක්වීම සහ සුමට දිරාපත් වීම සහතික කිරීම ඇතුළත් වේ.

රසායනික පයිප්ප / යාත්‍රා ප්‍රති-විඛාදන, නොඇලෙන සහ මුද්‍රා තැබීමේ ආරක්ෂාව සඳහා PTFE ටේප් එකට ගැලපෙන උපස්ථරය, ඇලවුම් පද්ධතිය සහ රසායනික මාධ්‍ය අවශ්‍ය වේ. සිලිකන් PSA අම්ල / ක්ෂාර සමග 200-260 ° C සඳහා නිර්දේශ කරනු ලැබේ; ඇක්‍රිලික් PSA කාබනික ද්‍රාවක වලට ප්‍රතිරෝධී නමුත් උෂ්ණත්වය ≤150°C දක්වා සීමා කරයි. HF සඳහා, තාපාංක > 80% ක්ෂාර හෝ ක්ලෝරීන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ් සඳහා, PTFE-පමණක් ලයිනිං භාවිතා කරන්න (කාබනික මැලියම් නොමැත). විවේචනාත්මක: මැලියම් යනු දුර්වලම සම්බන්ධකය මිස PTFE නොවේ.

PTFE ටේප් රඳවා ගැනීමේ බලය ආලේපනය සහ සුව කිරීමේ ක්‍රියාවලි ප්‍රශස්තකරණය හරහා වැඩි දියුණු කර ඇත. ආෙල්පනය: ප්‍රාථමික ස්තරය (0.5-2μm සිලේන් ප්‍රයිමර් ඇලවුම් පීල් කිරීම වළක්වයි), ඇලවුම් ඝණකම 30-60μm (බලය රඳවා තබා ගැනීම සඳහා ප්‍රශස්ත), රික්ත විකෘති කිරීම සහ 5-10μm පෙරීම. සුව කිරීම: පියවරෙන් පියවර රත් කිරීම (80-100°C ද්‍රාවක ඉවත් කිරීම → 120-140°C හැඩගැස්වීම → 150-220°C ගැඹුරු හරස් සම්බන්ධ කිරීම), පසු-සුවකිරීම (ආතතිය ලිහිල් කිරීමට පැය 24-48 සඳහා 40-60°C) සහ උපස්ථරයෙන් අභ්‍යන්තර ආතතිය අඩුවීම වැළැක්වීම සඳහා අඩු ආතති ප්‍රවාහනය. PTFE හි අඩු මතුපිට ශක්තිය සඳහා ප්‍රාථමිකය අත්‍යවශ්‍ය වේ.

PTFE අධි-උෂ්ණත්ව ටේප් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ තීරණාත්මක ද්‍රව්‍යයක් ලෙස සේවය කරයි, සාමාන්‍ය පරිභෝජන ද්‍රව්‍යයක් නොවේ. ප්‍රධාන යෙදුම්: වේෆර් මට්ටමේ ආරක්ෂාව (ප්ලාස්මා කැටයම් ආවරණ, CMP පිටුපස ආරක්ෂාව, CVD/PVD ආවරණ), ඇසුරුම් ක්‍රියාවලි (කම්බි බන්ධන සවි කිරීම, PCB සඳහා පෑස්සුම් ආවරණ), සහ උපකරණ නඩත්තු කිරීම (ප්‍රති-ස්ථිතික රෝලර් එතීම, පිරිසිදු කාමර සලකුණු කිරීම). අතිශය පිරිසිදු අවශ්‍යතා: අඩු හැලජන් (බන්ධන පෑඩ් විඛාදනය වළක්වයි), අඩු සිලෝක්සේන් (<500 ppm, පරිවාරක අංශු සෑදීම වළක්වයි), අඩු ලෝහ අයන (<1 ppm බැගින්), ISO පන්තිය 4 පිරිසිදු කාමර කැපීම/ඇසුරුම් කිරීම, 10⁶-10⁹ OC සහ මතුපිට ප්‍රතිරෝධය අඩුයි.

වෛද්‍ය ශ්‍රේණියේ PTFE අධි-උෂ්ණත්ව ටේප් ප්ලැටිනම්-සුව කරන ලද සිලිකොන් මැලියම් සමඟ ජෛව අනුකූල PTFE උපස්ථරය ඒකාබද්ධ කරයි. ප්‍රධාන ලක්ෂණ: ISO 10993 අනුකූල (සයිටොටොක්සිසිටි, සංවේදීතාව හෝ කෝපයක් නැත), නැවත නැවත වන්ධ්‍යාකරණයට (වාෂ්ප/EO/ගැමා), 260°C තාප ප්‍රතිරෝධයට ඔරොත්තු දෙයි. තීරණාත්මක පූර්වාරක්ෂාවන්: 260°C නොඉක්මවිය යුතුය (විෂ දුම් 300°C ට වැඩි), ගැමා ප්‍රකිරණය මගින් කැළඹීම් ඇති විය හැක, වන්ධ්‍යාකරණ ක්‍රම වලංගු කරයි, සහ සම්පූර්ණ අනුකූලතා ලියකියවිලි ඉල්ලා සිටින්න (ISO 10993 වාර්තා, MSDS, වයස්ගත දත්ත). නිශ්චිතව වලංගු නම් මිස සෘජු රුධිරය හෝ තැන්පත් කිරීම සඳහා නොවේ.

PTFE ටේප් නැවත භාවිතා කිරීමේ හැකියාව සාධක හතරක් මත රඳා පවතී: මැලියම් සැකසීම (ඉහළ හරස් සම්බන්ධක ඝනත්වය, අඩු සිලිකොන් සංක්‍රමණය, නැවත ස්ථානගත කළ හැකි ක්‍රියාකාරීත්වය සඳහා මයික්‍රෝෆේස් ව්‍යුහය), උපස්ථර නැංගුරම් දැමීම (මතුපිට සක්‍රිය කිරීම + සම්පූර්ණ මැලියම් මාරු වීම වැළැක්වීම සඳහා ප්‍රාථමිකය), පිටුපස ආෙල්පනය (නිවැරදි ස්තරය ආරක්ෂා කිරීම සඳහා මැලියම්), තාක්ෂණය, අධික උෂ්ණත්වය වැළැක්වීම). ජලයෙන් සෝදාගත හැකි නවීකරණය කරන ලද මැලියම් පිරිසිදු කිරීමෙන් පසු 90% ට වඩා නැවත ලබා ගත හැක.

පුළුල් උෂ්ණත්ව පරාසයක PTFE ටේප් සඳහා -70°C සිට 260°C දක්වා ඇලීම පවත්වා ගෙන යන සිලිකොන් PSA අවශ්‍ය වේ. ප්‍රධාන සැලසුම් මූලද්‍රව්‍ය: ප්‍රාථමික-නැංගුරම් සංක්‍රාන්ති ස්තරය (ඩිලමිනේෂන් වළක්වයි), මුහුදු-දූපත් ක්ෂුද්‍ර ව්‍යුහය (MQ දුම්මල දූපත් + පොලිසිලොක්සේන් අඛණ්ඩ අදියර), ශ්‍රේණියේ හරස් සම්බන්ධ කිරීම (ක්‍රේප් ප්‍රතිරෝධය සඳහා ඉහළ-ඝනත්ව අභ්‍යන්තර තට්ටුව, අඩු-උෂ්ණත්ව ටැක් සඳහා අඩු-ඝනත්ව පිටත තට්ටුව), සහ ඔක්සිඩියම් ප්‍රතිරෝධය සඳහා තාප ස්ථායී ප්‍රතිරෝධය). ෆීනයිල්-විකරණය කරන ලද සිලෝක්සේන් කොටස් අඩු-උෂ්ණත්ව ස්ඵටිකීකරණය යටපත් කරයි, -100°C ට අඩු නම්‍යශීලිත්වය සක්‍රීය කරයි.