Энэ нийтлэлд вакуум бүрэх, вакуум дулааны боловсруулалт болон ижил төстэй орчинд ашигладаг PTFE өндөр температурт соронзон хальсны үндсэн гүйцэтгэлийн үзүүлэлтүүдийг багтаасан болно. Гол шаардлагууд нь агаар мандлын ашиглалтаас эрс ялгаатай: хийг гадагшлуулах нь хамгийн чухал (TML≤1%, CVCM≤0.1%; сансар/оптик зэрэглэлд TML≤0.5%, CVCM≤0.01%) шаардлагатай; температурын эсэргүүцлийг PTFE субстрат (260 ° C) болон наалдамхай давхаргын аль алинд нь баталгаажуулсан байх ёстой; силоксан бохирдлоос сэргийлэхийн тулд тусгайлан цэвэршүүлсэн бага ялгаруулдаг силикон PSA шаардлагатай; өндөр температурт барих хүч нь мөлхөж, ирмэгийг өргөхөөс сэргийлдэг; цэвэр байдал нь эслэг ялгарахгүй, ионы агууламж бага байхыг шаарддаг; эсрэг статик соронзон хальс (гадаргуугийн эсэргүүцэл 10⁶-10⁹ Ω / sq) нь ESD гэмтлээс сэргийлдэг; плазмын эсэргүүцлийг шүрших/PECVD процессын хувьд үнэлэх ёстой; 2% -иас доош дулааны агшилт нь далдлах нарийвчлалыг баталгаажуулдаг.

Энэ нийтлэлд PTFE соронзон хальсны силикон даралт мэдрэмтгий цавууны өрөөний температур ба өндөр температурт боловсорч гүйцсэн байдлыг харьцуулсан болно. Өндөр температурт боловсорч гүйцсэн (120-180 ° C) нь хүчтэй наалдамхай бат бэх нягт хөндлөн холбоос бүхий сүлжээг үүсгэж, хальслах дараа наалдамхай үлдэгдэл үүсэхээс сэргийлдэг. Энэ нь праймерыг хавсаргах замаар PTFE субстраттай химийн бэхэлгээний холбоог үүсгэж, давхаргыг арилгах эрсдлийг арилгадаг. Өндөр температурт боловсорч гүйцэх нь бага молекулын дэгдэмхий бодисыг хүргэхээс өмнө зайлуулж, эхний халаалтанд хөөс үүсэх, силикон тосоор бохирдохоос сэргийлдэг.

Энэхүү гарын авлага нь тарилгын хэвийг буулгах, наалдахаас хамгаалах зориулалттай PTFE өндөр температурт соронзон хальсны сонголтыг багтаасан болно. Температур дээр суурилсан сонголт: ≤260°C ерөнхий хуванцар (стандарт силикон PSA соронзон хальс, 0.13-0.18мм); PC, PA66, POM (өндөр температурт силикон цавуу, 0.18-0.25мм) зэрэг өндөр температурт инженерийн хуванцаруудад 260-300 ° C; Халуун гүйлтийн ойролцоох PEEK, LCP, PPS-ийн хувьд 300-400°C (наалдамхай тууз бүтэлгүйтсэн; цавуугүй PTFE даавуу эсвэл PFA хальс ашиглана уу). Материал дээр суурилсан сонголт: наалдамхай материалд өндөр ялгаралттай цэвэр PTFE гадаргуу хэрэгтэй; шилэн/эрдэс дүүргэсэн материал нь хүнд даацын 0.25мм+ элэгдэлд тэсвэртэй тууз шаарддаг; идэмхий нэмэлтүүд нь химийн тэсвэртэй цавуу, өтгөн субстратыг шаарддаг; статик мэдрэгчтэй програмуудад статикийн эсрэг хар PTFE соронзон хальс хэрэгтэй.

PTFE бүрсэн шилэн даавуу нь халуунд тэсвэртэй, наалддаггүй, үрэлт багатай тул резин боловсруулахад өргөн хэрэглэгддэг. Гол хэрэглээнд: хавтан/вакуум вулканизаци хийх, дугуйг хэвлэх зориулалттай сул давхарга; ил тээрэм, календар, хөргөлтийн шугамд зориулсан зөөгчгүй туузан дамжуулагч; хагас боловсруулсан резинийг хадгалах зориулалттай даавууг хооронд нь холбосон даавуу; силикон ба фтор резинийг тусгайлан боловсруулах; болон дараа нь хатууруулах зууханд тавиур. Давуу талууд нь хөгцний наалдацыг арилгах, суллах бодисын хэрэглээг багасгах, өнхрөхөөс урьдчилан сэргийлэх, хэвийг жигд буулгах зэрэг орно.

Химийн хоолой/судасны зэврэлтээс хамгаалах, наалдахгүй, битүүмжлэхээс хамгаалах зориулалттай PTFE соронзон хальс нь тохирох субстрат, наалдамхай систем, химийн бодис шаарддаг. Силикон PSA-г хүчил/шүлттэй 200-260°С-д хэрэглэхийг зөвлөж байна; нийлэг PSA нь органик уусгагчийг эсэргүүцдэг боловч температурыг ≤150 ° C хүртэл хязгаарладаг. ЭМС-ийн хувьд 80% -иас их хэмжээний шүлтлэг эсвэл хлорын трифторид буцалгахад зөвхөн PTFE-ийн доторлогоо (органик цавуу байхгүй) хэрэглээрэй. Чухал: цавуу нь PTFE өөрөө биш харин хамгийн сул холбоос юм.

PTFE соронзон хальсны барих хүчийг бүрэх, хатууруулах процессыг оновчтой болгох замаар сайжруулдаг. Бүрхүүл: праймер давхарга (0.5-2μm силан праймер нь наалдамхай бодисыг хальслахаас сэргийлдэг), наалдамхай зузаан 30-60μm (хүчийг барихад хамгийн тохиромжтой), вакуум хөөсгүйжүүлэх, 5-10μm шүүлтүүр. Хатаах: үе шаттайгаар халаах (уусгагчийг 80-100°С зайлуулах → 120-140°С хэлбэржүүлэх → 150-220°C гүнд хөндлөн холбоос хийх), дараах хатууруулах (стрессийг тайлахын тулд 24-48 цагийн турш 40-60°C), субстратын агшилтаас үүсэх дотоод стрессээс сэргийлэхийн тулд бага хүчдэлтэй дамжуулагч. Праймер нь PTFE-ийн гадаргуугийн бага энергид зайлшгүй шаардлагатай.

PTFE өндөр температурт соронзон хальс нь ерөнхий хэрэглээний материал биш харин хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд чухал материал болдог. Гол хэрэглээ: вафель түвшний хамгаалалт (плазмын сийлбэр хийх маск, ар талын CMP хамгаалалт, CVD/PVD маск), баглаа боодлын процесс (утас холбох бэхэлгээ, ПХБ-ийн гагнуурын маск), тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээ (эсрэг статик өнхрөх боолт, цэвэр өрөөний тэмдэглэгээ). Хэт цэвэр шаардлага: бага галоген (холбогч дэвсгэр зэврэлтээс сэргийлдэг), бага силоксан (<500 ppm, тусгаарлагч тоосонцор үүсэхээс сэргийлдэг), бага металл ион (<1 ppm тус бүр), ISO 4-р ангиллын цэвэр өрөөний зүсэлт/савлах, 10⁶-10⁹ Ω гадаргуугийн эсэргүүцэл, бага TVOC ялгаруулалт.

Эмнэлгийн чанартай PTFE өндөр температурт соронзон хальс нь био нийцтэй PTFE субстратыг цагаан алтаар хатаасан силикон цавуутай хослуулсан. Гол онцлогууд: ISO 10993 стандартад нийцсэн (цитотоксик чанар, мэдрэмтгий байдал, цочрол байхгүй), дахин дахин ариутгах (уур/EO/гамма), 260°C халуунд тэсвэртэй. Урьдчилан сэргийлэх чухал арга хэмжээ: 260 ° C-аас хэтрэхгүй (300 ° C-аас дээш хортой утаа), гамма цацраг нь хэврэгжилт үүсгэж, ариутгах аргыг баталгаажуулж, бүрэн дагаж мөрдөх баримт бичгийг (ISO 10993 тайлан, MSDS, хөгшрөлтийн өгөгдөл) шаардаж болно. Тусгайлан баталгаажуулаагүй бол шууд цус эсвэл суулгацын зориулалтаар ашиглахгүй.

PTFE туузыг дахин ашиглах чадвар нь дөрвөн хүчин зүйлээс шалтгаална: наалдамхай найрлага (хөндлөн холбоосын нягтрал бага, силикон шилжилт багатай, дахин байршуулах зориулалттай микрофазын бүтэц), субстратын бэхэлгээ (гадаргууг идэвхжүүлэх + наалдамхай бодисыг бүрэн шилжүүлэхээс урьдчилан сэргийлэх праймер), арын бүрээс (заавал наалдамхай бодисыг задлах үед суллах давхарга), гадаргуу дээр зөв харьцах, гадаргууг цэвэрлэх, цэвэрлэх. Усанд угааж болдог өөрчилсөн цавуу нь цэвэрлэсний дараа >90%-иас наалддаг.

Өргөн температурт ажиллах PTFE соронзон хальс нь -70 ° C-аас 260 ° C хүртэл наалддаг силикон PSA шаарддаг. Загварын үндсэн элементүүд: праймераар бэхлэгдсэн шилжилтийн давхарга (давхаргалаас сэргийлдэг), далайн арлын бичил бүтэц (MQ давирхайн арлууд + полисилоксан тасралтгүй үе шат), градиент хөндлөн холбоос (мөлхөгдлийг эсэргүүцэх өндөр нягтралтай дотоод давхарга, бага температурт наалддаг бага нягтралтай гадна давхарга), дулааныг тогтворжуулсан дүүргэгч (цэрийн исэлд тэсвэртэй). Фенилээр өөрчилсөн силоксан сегментүүд нь бага температурт талстжилтыг дарангуйлж, -100 ° C-аас доош уян хатан байдлыг хангадаг.