ئەم بابەتە نیشاندەری سەرەکی کارایی بۆ شریتی پلەی گەرمی بەرزی PTFE دەگرێتەوە کە لە پۆشینی بۆشایی، چارەسەرکردنی گەرمی بۆشایی و ژینگە هاوشێوەکاندا بەکاردەهێنرێت. پێداویستییە سەرەکییەکان زۆر جیاوازن لە بەکارهێنانی بەرگەهەوا: دەرهێنانی گازی زۆر گرنگە (TML≤1%، CVCM≤0.1%؛ پلەکانی فڕۆکەوانی/بینینی پێویستیان بە TML≤0.5%، CVCM≤0.01%)؛ بەرگری پلەی گەرمی دەبێت بۆ هەردوو ژێرخانەکەی PTFE (260 پلەی سەدی) و چینە چەسپاوەکە پشتڕاست بکرێتەوە؛ سیلیکۆنی PSA کە بە شێوەیەکی تایبەت پاککراوەی کەم غازی دەرچوون پێویستە بۆ ڕێگریکردن لە پیسبوونی سیلۆکسان؛ هێزی ڕاگرتنی پلەی گەرمی بەرز ڕێگری دەکات لە خەزان و بەرزکردنەوەی لێوارەکان؛ پاکوخاوێنی داوای ڕشتنی ڕیشاڵ و کەمی ڕێژەی ئایۆنی دەکات؛ شریتی دژە ئیستاتیک (بەرگری ڕووکار 106-109 Ω/sq) ڕێگری دەکات لە تێکچوونی ESD؛ بەرگری پلازما دەبێت بۆ پرۆسەکانی سپتەرکردن/PECVD هەڵسەنگێندرێت؛ بچووکبوونەوەی گەرمی لە خوار 2% دڵنیای دەدات لە وردبینی ماسککردن.

ئەم بابەتە بەراورد دەکات لە پێگەیشتنی پلەی گەرمی ژوور و پلەی گەرمی بەرزی چەسپی هەستیاری پەستانی سلیکۆن بۆ شریتی PTFE. پێگەیشتنی پلەی گەرمی بەرز (120-180 پلەی سەدی) تۆڕی چڕ و چەسپاوی دروست دەکات کە هێزی یەکگرتوویی بەهێزی هەیە، ڕێگری دەکات لە پاشماوەی چەسپاو دوای توێکڵکردن. پەیوەندی کیمیایی لەنگەری لەگەڵ ژێرخانەکانی PTFE لە ڕێگەی هاوساڕێژکردنی پرایمەرەوە دروست دەکات، کە مەترسییەکانی لابردن لەناو دەبات. هەروەها پێگەیشتن لە پلەی گەرمی بەرزدا پێش گەیاندن ناجێگیرە گەردیلەییە نزمەکان لا دەبات، ئەمەش ڕێگری دەکات لە بڵق و پیسبوونی ڕۆنی سلیکۆن لە کاتی گەرمکردنی یەکەمدا.

ئەم ڕێنماییە هەڵبژاردنی شریتی پلەی گەرمی بەرزی PTFE بۆ داماڵینی قاڵبی دەرزی و بەکارهێنانی دژە چەقۆ دەگرێتەوە. هەڵبژاردن لەسەر بنەمای پلەی گەرمی: ≤260 پلەی سەدی بۆ پلاستیکە گشتیەکان (شریتی سلیکۆنی ستانداردی PSA، 0.13-0.18mm); 260-300 پلەی سەدی بۆ پلاستیکە ئەندازیارییە پلەی گەرمی بەرز وەک PC، PA66، POM (چەسپی سلیکۆنی پلەی گەرمی بەرز، 0.18-0.25mm)؛ 300-400 پلەی سەدی بۆ PEEK، LCP، PPS لە نزیک ڕاکەرە گەرمەکان (شریتی چەسپاو شکست دەهێنێت؛ قوماشی PTFEی بێ چەسپ یان فیلمی PFA بەکاربهێنە). هەڵبژاردنی بنەمادار بە ماددە: ماددە چەسپاوەکان پێویستیان بە ڕووکاری پاکی PTFEی بەرزی ئازادکردن هەیە؛ کەرەستەی پڕ لە شووشە/کانزا پێویستیان بە شریتی بەرگری 0.25mm+ ی قورس هەیە؛ زیادکەرە خراپەکان داوای چەسپی بەرگری کیمیایی و ژێرخانێکی چڕ دەکەن؛ بەرنامە هەستیارەکانی ئیستاتیک پێویستیان بە شریتی ڕەشی دژە ئیستاتیک PTFE هەیە.

قوماشی فایبەر گلاسی ڕوپۆشکراوی PTFE بە شێوەیەکی بەرفراوان لە پرۆسێسی لاستیکدا بەکاردەهێنرێت بەهۆی بەرگری گەرمی و تایبەتمەندی نەچەسپاوی و خۆلێدانی کەم. بەکارهێنانە سەرەکییەکان بریتین لە: لاینەری ئازادکردن بۆ ڤولکانکردنی پلێت/بۆشایی و قاڵبکردنی تایە؛ پشتێنەی گواستنەوەی نەلکاو بۆ میڵە کراوەکان، ساڵنامە و هێڵەکانی ساردکردنەوە؛ قوماشی ئینتەرلیڤ بۆ هەڵگرتنی لاستیکیی نیمچە تەواو؛ مامەڵەکردنی تایبەتمەند لەگەڵ سلیکۆن و فلۆرۆرۆبەر؛ و سینی فڕن بۆ دوای ساڕێژبوون. سوودەکانی بریتین لە نەهێشتنی لکاندنی قاڵب، کەمکردنەوەی بەکارهێنانی مادەی ئازادکردن، ڕێگریکردن لە پێچانی ڕۆلەر، و دڵنیابوون لە داماڵینی قاڵب بە شێوەیەکی نەرم.

شریتی PTFE بۆ پاراستنی بۆری/دەفری کیمیایی دژە ژەنگ، نەلکاندنی، و مۆرکردن پێویستی بە هاوتاکردنی ژێرخان، سیستەمی چەسپاو، و میدیای کیمیایی هەیە. سیلیکۆن PSA پێشنیار دەکرێت بۆ پلەی گەرمی 200-260 پلەی سەدی لەگەڵ ترش/ئەلکالی؛ ئەکریلیک PSA بەرگری لە توێنەرە ئۆرگانییەکان دەکات بەڵام پلەی گەرمی سنووردار دەکات بۆ ≤150 پلەی سەدی. بۆ HF، کوڵاندنی >80% ئەلکالی، یان سێ فلۆرایدی کلۆر، ناوپۆشی تەنها PTFE بەکاربهێنە (بێ چەسپی ئۆرگانی). گرینگ: چەسپ لاوازترین بەستەرە نەک خودی PTFE.

هێزی ڕاگرتنی شریتی PTFE لە ڕێگەی باشکردنی پرۆسەی ڕوپۆشکردن و ساڕێژکردنەوە باشتر دەکرێت. ڕوپۆشکردن: چینە پرایمەر (پرایمەری سیلان 0.5-2 میکرۆمەتر ڕێگری دەکات لە توێکڵی چەسپاو)، ئەستووری چەسپ 30-60 میکرۆمەتر (باشترینە بۆ ڕاگرتنی هێزی)، کەفکردن بە بۆشایی، و پاڵاوتنی 5-10 میکرۆمتر. ساڕێژکردن: گەرمکردنەوە بە هەنگاو بە هەنگاو (لابردنی توێنەرەوەی 80-100 پلەی سەدی → شێوەدان بە 120-140 پلەی سەدی → پەیوەندیکردن بە قووڵی 150-220 پلەی سەدی)، دوای ساڕێژکردن (40-60 پلەی سەدی بۆ ماوەی 24-48 سەعات بۆ ئارامکردنەوەی فشار)، و گواستنەوەی گرژی کەم بۆ ڕێگریکردن لە فشاری ناوەوە لە بچووکبوونەوەی ژێرخان. پرایمەرەکە پێویستە بۆ وزەی ڕووکاری کەمی PTFE.

شریتی پلەی گەرمی بەرزی PTFE وەک مادەیەکی گرنگ لە بەرهەمهێنانی نیمچە هێڵکارەکاندا کاردەکات، نەک وەک مادەیەکی بەکارهێنراو بۆ مەبەستی گشتی. بەکارهێنانە سەرەکییەکان: پاراستنی ئاستی وەیفر (ماسکینگکردنی پلازما چەسپاندن، پاراستنی پشتەوەی CMP، ماسکی CVD/PVD)، پرۆسەکانی پاکەتکردن (جێگیرکردنی بەستنەوەی وایەر، ماسکی لێهەڵمژینی بۆ PCB)، و چاککردنەوەی ئامێرەکان (پێچانی دژە ئیستاتیکی ڕۆلەر، نیشانەکردنی ژووری پاک). پێداویستییە زۆر پاکەکان: هالۆجینی کەم (ڕێگری دەکات لە ژەنگاوی پادی پەیوەندی)، سیلۆکسانی کەم (<500 ppm، ڕێگری دەکات لە دروستبوونی تەنۆلکەی عەزلی)، ئایۆنی کانزای کەم (<1 ppm هەریەکەیان)، درزکردن/پاکتەرکردنی ژووری پاکی ISO پۆلی 4، بەرگری ڕووی 106-109 Ω، و دەردانی TVOC کەم.

شریتی پلەی گەرمی بەرزی PTFE ی پلە پزیشکی ژێرخانە PTFE ی زیندەیی لەگەڵ چەسپی سلیکۆنی ساڕێژکراوی پلاتینیۆم تێکەڵ دەکات. تایبەتمەندییە سەرەکییەکان: پابەندە بە ISO 10993 (بێ ژەهراویبوونی خانەیی، هەستیاری، یان خوران)، بەرگەی دووبارە تەعقیمکردن دەگرێت (هەڵم/EO/گاما)، بەرگری گەرمی 260 پلەی سەدی. ڕێوشوێنی خۆپارێزی گرنگ: لە پلەی گەرمی 260 پلەی سەدی زیاتر نەبێت (دوکەڵی ژەهراوی لە سەرووی 300 پلەی سەدی)، تیشکی گاما لەوانەیە ببێتە هۆی شکان، شێوازەکانی تەعقیمکردن پشتڕاست بکاتەوە، و داوای بەڵگەنامەی پابەندبوونی تەواو بکە (ڕاپۆرتەکانی ISO 10993، MSDS، داتاکانی پیربوون). بۆ بەکارهێنانی خوێنی ڕاستەوخۆ یان چاندن نییە مەگەر بە تایبەتی پشتڕاست نەکرێتەوە.

دووبارە بەکارهێنانەوەی شریتی PTFE پەیوەستە بە چوار هۆکارەوە: فۆرمولاسیۆنی چەسپاو (چڕی بەرزی پەیوەندی بڕبڕەیی، کەمی کۆچی سلیکۆن، پێکهاتەی مایکرۆفاز بۆ تاک کە دەتوانرێت دووبارە جێگیر بکرێتەوە)، لەنگەری ژێرخان (چالاککردنی ڕووکار + پرایمەر بۆ ڕێگریکردن لە گواستنەوەی تەواوی چەسپ)، پۆشینی پشتەوە (چینی ئازادکردن بۆ پاراستنی چەسپ لە کاتی هەڵدانەوە)، و مامەڵەکردنی دروست (پاککردنەوەی ڕووی چەسپ، تەکنیکێکی دروستی توێکڵکردن، دوورکەوتنەوە پلەی گەرمی زیادە). چەسپی دەستکاریکراو کە بە ئاو دەشۆردرێت دەتوانن >90% تاکەکە وەربگرنەوە دوای پاککردنەوە.

شریتی PTFE کە پلەی گەرمی فراوانی هەیە پێویستی بە PSA ی سلیکۆن هەیە کە لکاندنی لە -70 پلەی سەدی بۆ 260 پلەی سەدی دەپارێزێت. توخمە سەرەکییەکانی دیزاین: چینە گواستنەوەی پرایمەر-لەنگەری (ڕێگری دەکات لە شلبوونەوە)، وردە پێکهاتەی دوورگەی دەریا (دوورگەی ڕزینی MQ + قۆناغی بەردەوامی پۆلیسیلۆکسان)، پەیوەندی بڕبڕەیی گرادێنت (چینی ناوەوەی چڕی بەرز بۆ بەرگری لە خەزان، چینێکی دەرەوەی چڕی کەم بۆ تاکی پلەی گەرمی نزم)، و پڕکەرەوەی جێگیرکراوی گەرمی (ئۆکسیدی سیریۆم بۆ بەرگری ئۆکساندن). بەشەکانی سیلۆکسانی دەستکاریکراوی فینێل کریستاڵبوونی پلەی گەرمی نزم سەرکوت دەکەن، کە نەرمی لە خوار -100 پلەی سەدیدا چالاک دەکات.