در ساخت نیمه هادی، آلودگی بر حسب قسمت در میلیون و اندازه ذرات بر حسب میکرون اندازه گیری می شود. یک یون سرگردان، یک ترکیب آلی فرار یا یک ذره میکروسکوپی میتواند کل یک دسته ویفر را از بین ببرد که صدها هزار دلار هزینه دارد.
نوار PTFE با دمای بالا ، با مقاومت در برابر حرارت، بی اثری شیمیایی، سطح نچسب و خواص الکتریکی، نقش مهمی در این محیط ایفا می کند. اما هر نوار PTFE این کار را نمی کند. نوارهای درجه نیمه هادی باید استانداردهای تمیزی فوق العاده بالایی را داشته باشند که بسیار فراتر از نوارهای صنعتی عمومی است.
Aokai PTFE نوار PTFE را به طور خاص برای کاربردهای نیمه هادی تولید می کند. این راهنما سه حوزه کاربردی اصلی - پردازش در سطح ویفر، بسته بندی و آزمایش، و نگهداری تجهیزات - و الزامات تمیزی دقیقی را که برای هر یک اعمال می شود را پوشش می دهد.
سناریوهای کاربردی اصلی - محافظت از اجزای با ارزش بالا
1. حفاظت از فرآیند در سطح ویفر
در طول ساخت ویفر، نوار به عنوان یک لایه محافظ موقت برای دستگاه های با ارزش بالا عمل می کند.
فرآیند
عملکرد نوار
نیاز حیاتی
پاکسازی و اچ پلاسما
مناطق غیر فرآیندی را بپوشانید، لبه های ویفر را از بمباران یونی محافظت کنید
نباید از گاز خارج شود یا باقیمانده باقی بماند. مقاومت در برابر محیط پلاسما
رسوب لایه نازک (CVD/PVD)
مناطقی را که نیازی به پوشش ندارند مسدود کنید
چسبندگی بدون درز برای جلوگیری از نفوذ گاز رسوب
مسطح سازی مکانیکی شیمیایی (CMP)
پشت ویفر را از دوغاب و مواد ساینده محافظت کنید
در برابر اسیدهای قوی، قلیایی ها و عوامل اکسید کننده مقاومت کنید
2. فرآیندهای بسته بندی و آزمایش
تثبیت قاب سرب / زیرلایه: موقعیتیابی مقاوم در برابر حرارت در طول اتصال سیم، اتصال قالب و کپسولهسازی پلاستیکی - اجزا را در دماهای بالا ثابت نگه میدارد.
پوشش برای لحیم کاری موجی و لحیم کاری مجدد: از انگشتان طلا و نقاط تماس روی PCB ها در برابر آلودگی لحیم کاری در طول فرآیندهای لحیم کاری در دمای بالا محافظت می کند.
ورق های حامل نوار با دمای بالا: حامل های انعطاف پذیر برای محکم کردن بسترهای مینیاتوری در خطوط تولید بدون رهاسازی ذرات یا پسماندها.
3. تعمیر و نگهداری تجهیزات و استفاده های کمکی
پوشش غلتک ضد الکتریسیته ساکن: غلتک های حمل و نقل را پوشش می دهد تا سطوح تماس مقاوم در برابر حرارت بالا، نچسب و اتلاف کننده ساکن را فراهم کند - از آسیب ویفر در اثر اصطکاک و تخلیه استاتیک جلوگیری می کند.
علامت گذاری و نگهداری موقت اتاق تمیز: برای برچسب زدن، تثبیت موقت کابل و تعمیرات جزئی بدون وارد کردن آلاینده.
الزامات تمیزی فوق العاده بالا - استانداردهای غیر قابل مذاکره
اینها استانداردهایی هستند که نوار PTFE درجه نیمه هادی را از نوار همه منظوره متمایز می کنند. عدم انطباق ممکن است منجر به حذف کامل دسته ای شود. Aokai PTFE تمام این پارامترها را برای نوارهای نیمه هادی ما تأیید می کند.
1. خلوص مواد خام و خروج گاز کم
مورد نیاز
چرا اهمیت دارد
حد معمولی
محتوای کل هالوژن کم (ترجیحاً بدون هالوژن)
هالوژن ها باعث خوردگی لنت های باند آلومینیومی و اتصالات مسی روی تراشه ها می شوند
<900 ppm (بدون هالوژن: هر کدام <50 ppm برای Cl/Br)
کنترل دقیق محتوای سیلوکسان
سیلوکسان ها تحت گرما تبخیر می شوند و ذرات عایق تشکیل می دهند که باعث شکست پیوند و تماس الکتریکی ضعیف می شود.
به طور معمول کمتر از 500 پی پی ام یا غیر قابل تشخیص است
انتشار بسیار کم TVOC
مواد آلی فرار اجزای نوری را مه کرده و بر روی سطوح ویفر متراکم می شود
<50 میکروگرم در گرم (بر اساس فرآیند متفاوت است)
توجه داشته باشید PTFE Aokai: نوارهای PTFE درجه نیمه هادی ما با PTFE با خلوص بالا و PSA سیلیکونی فرموله شده اند تا خروج گاز را در دمای معمولی پردازش (تا 260 درجه سانتیگراد) به حداقل برسانند.
2. کنترل آلودگی ذرات و یونی
برش و بسته بندی: باید در تکمیل شود اتاق های تمیز ISO کلاس 4 (یا بالاتر) تا ریزش ذرات از خود نوار به حداقل برسد.
محتوای یون فلزی بسیار کم: فلزات قلیایی مانند سدیم (Na+) و پتاسیم (K+) ویژگی های الکتریکی نیمه هادی را تغییر می دهند. سطوح یون فلزی منفرد معمولاً به کمتر از 1 پی پی ام محدود می شود.
چسب بدون باقی مانده: بدون آلودگی سطحی یا آسیب به لایه های غیرفعال آبگریز روی ویفرها پس از لایه برداری نوار.
3. عملکرد ضد الکتریسیته ساکن
مقاومت سطحی: 106 – 10⁹ Ω
نیاز: خواص اتلاف استاتیک پایدار، یکنواخت و ثابت بدون در نظر گرفتن رطوبت محیط
چرا: از تخلیه الکترواستاتیکی با ولتاژ بالا که تراشه های ظریف را از بین می برد جلوگیری می کند.
4. پایداری شیمیایی و ابعادی
مقاومت شیمیایی: مقاومت در برابر اسیدهای قوی (اسید هیدروفلوئوریک، اسید نیتریک)، قلیایی های قوی (محلول های توسعه دهنده) و حلال های آلی (استون، ایزوپروپیل الکل) - رایج در پردازش مرطوب نیمه هادی.
پایداری ابعادی: حداقل انقباض حرارتی تحت دماهای بالا و پایین متناوب برای حذف ناهماهنگی پوشش و باقیمانده چسب. تحمل ضخامت کلی در ± 5٪ یا ± 0.01 میلی متر کنترل می شود.
خلاصه - چک لیست انتخاب نوار PTFE درجه نیمه هادی
مورد نیاز
مشخصات
روش اعتبارسنجی
تولید اتاق تمیز
ایزو کلاس 4 یا بالاتر برای برش/بسته بندی
گواهی شمارش ذرات
محتوای هالوژن
<900 ppm (ترجیحاً بدون هالوژن)
کروماتوگرافی یونی (IC)
محتوای سیلوکسان
<500 ppm (یا غیر قابل تشخیص)
GC-MS
انتشارات TVOC
<50 میکروگرم بر گرم در دمای 260 درجه سانتیگراد
Headspace GC-MS
یون های فلزی
<1 ppm هر کدام (Na+، K+، و غیره)
ICP-MS
مقاومت سطحی
106 - 10⁹ Ω
ASTM D257
باقی مانده چسب
بعد از لایه برداری هیچ
بازرسی بصری، تست نوار
مقاومت شیمیایی
عبور HF، HNO3، NaOH، IPA، استون
تست غوطه وری
تحمل ضخامت
± 5٪ یا ± 0.01 میلی متر
اندازه گیری میکرومتر
Aokai PTFE مستندات کاملی را برای نوارهای PTFE درجه نیمه هادی ما ارائه می دهد، از جمله گواهی اتاق تمیز، گزارش های کروماتوگرافی یونی (IC) برای هالوژن ها، ICP-MS برای یون های فلزی و GC-MS برای خروج گاز. با ما تماس بگیرید تا نیازهای فرآیند خود را برای دیتاشیت دقیق داشته باشید.
اگر به مشخصات دقیق، موارد کاربردی و راه حل های سفارشی برای مجموعه کامل محصولات ما نیاز دارید، از جمله پارچه PTFE با دمای بالا، نوار چسب PTFE با دمای بالا، تسمه مشبک PTFE، تسمه پرس حرارتی بدون درز، پارچه PTFE یک طرفه، پارچه PTFE مقاوم در برابر درجه حرارت بالا، لطفاً تسمه نقاله مقاوم در برابر حرارت بالا را ببندید. اطلاعات زیر:
