குறைக்கடத்தி தயாரிப்பில், மாசுபாடு ஒரு மில்லியனுக்கு பாகங்கள் மற்றும் துகள் அளவுகள் மைக்ரான்களில் அளவிடப்படுகிறது. ஒரு தவறான அயனி, ஒரு சுவடு ஆவியாகும் கரிம கலவை அல்லது ஒரு நுண்ணிய துகள் ஒரு முழு செதில் தொகுதியை ஸ்கிராப் செய்யலாம் - நூறாயிரக்கணக்கான டாலர்கள் செலவாகும்.
PTFE உயர்-வெப்ப நாடா , அதன் வெப்ப எதிர்ப்பு, இரசாயன செயலற்ற தன்மை, ஒட்டாத மேற்பரப்பு மற்றும் மின் பண்புகளுடன், இந்த சூழலில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. ஆனால் எந்த PTFE டேப்பும் செய்யாது. செமிகண்டக்டர்-கிரேடு டேப்கள், பொதுவான தொழில்துறை நாடாக்களை விட மிக உயர்ந்த தூய்மைத் தரங்களைச் சந்திக்க வேண்டும்.
Aokai PTFE குறிப்பாக குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்காக PTFE டேப்பை உற்பத்தி செய்கிறது. இந்த வழிகாட்டி மூன்று முக்கிய பயன்பாட்டு பகுதிகளை உள்ளடக்கியது - செதில்-நிலை செயலாக்கம், பேக்கேஜிங் மற்றும் சோதனை மற்றும் உபகரணங்கள் பராமரிப்பு - மற்றும் ஒவ்வொன்றிற்கும் பொருந்தும் கடுமையான தூய்மைத் தேவைகள்.
முக்கிய பயன்பாட்டுக் காட்சிகள் - உயர் மதிப்பு கூறுகளைப் பாதுகாத்தல்
1. வேஃபர்-நிலை செயல்முறை பாதுகாப்பு
செதில் தயாரிப்பின் போது, டேப் அதிக மதிப்புள்ள சாதனங்களுக்கு தற்காலிக பாதுகாப்பு அடுக்காக செயல்படுகிறது.
செயல்முறை
டேப் செயல்பாடு
முக்கியமான தேவை
பிளாஸ்மா சுத்தம் மற்றும் பொறித்தல்
செயல்முறை அல்லாத பகுதிகளை மறைக்கவும், அயன் குண்டுவீச்சிலிருந்து செதில் விளிம்புகளைப் பாதுகாக்கவும்
வாயுவை வெளியேற்றவோ அல்லது எச்சத்தை விட்டுவிடவோ கூடாது; பிளாஸ்மா சூழலை தாங்கும்
மெல்லிய-பட வைப்பு (CVD/PVD)
பூச்சு தேவையில்லாத பகுதிகளைத் தடுக்கவும்
படிவு வாயு ஊடுருவலைத் தடுக்க தடையற்ற ஒட்டுதல்
கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பிளானரைசேஷன் (சிஎம்பி)
கூழ் மற்றும் சிராய்ப்பு குப்பைகளிலிருந்து கேடயம் செதில் பின்புறம்
வலுவான அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் ஆக்ஸிஜனேற்ற முகவர்கள் ஆகியவற்றை எதிர்க்கும்
2. பேக்கேஜிங் மற்றும் சோதனை செயல்முறைகள்
லீட் பிரேம் / அடி மூலக்கூறு பொருத்துதல்: கம்பி பிணைப்பு, டை அட்டாச் மற்றும் பிளாஸ்டிக் என்காப்சுலேஷன் ஆகியவற்றின் போது வெப்ப-எதிர்ப்பு நிலைப்படுத்தல் - அதிக வெப்பநிலையில் கூறுகளை நிலையாக வைத்திருக்கும்.
வேவ் சாலிடரிங் & ரீஃப்ளோ சாலிடரிங் செய்வதற்கான முகமூடி: அதிக வெப்பநிலை சாலிடரிங் செயல்முறைகளின் போது பிசிபிகளில் தங்க விரல்கள் மற்றும் தொடர்பு புள்ளிகளை சாலிடர் மாசுபாட்டிலிருந்து பாதுகாக்கிறது.
உயர் வெப்பநிலை டேப் கேரியர் தாள்கள்: துகள்கள் அல்லது எச்சங்களை வெளியிடாமல் உற்பத்தி வரிகளில் மினியேச்சர் அடி மூலக்கூறுகளை பாதுகாக்க நெகிழ்வான கேரியர்கள்.
3. உபகரணங்கள் பராமரிப்பு மற்றும் துணைப் பயன்பாடுகள்
ஆன்டி-ஸ்டேடிக் ரோலர் ரேப்பிங்: கிளாட்ஸ் டிரான்ஸ்போர்ட் ரோலர்கள் உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, ஒட்டாத, மற்றும் நிலையான-சிதைவு தொடர்பு பரப்புகளை வழங்க - உராய்வு மற்றும் நிலையான வெளியேற்றத்திலிருந்து செதில் சேதத்தைத் தடுக்கிறது.
க்ளீன்ரூம் தற்காலிக குறி மற்றும் பராமரிப்பு: லேபிளிங், தற்காலிக கேபிள் பொருத்துதல் மற்றும் அசுத்தங்களை அறிமுகப்படுத்தாமல் சிறிய பழுதுபார்ப்பு.
அல்ட்ரா-உயர் தூய்மைத் தேவைகள் - பேச்சுவார்த்தைக்குட்படாத தரநிலைகள்
இவை செமிகண்டக்டர்-கிரேடு PTFE டேப்பை பொது-நோக்கு டேப்பில் இருந்து வேறுபடுத்தும் தரநிலைகள். இணங்காதது முழு தொகுதி ஸ்கிராப்பிங்கிற்கு வழிவகுக்கும். Aokai PTFE எங்கள் குறைக்கடத்தி தர நாடாக்களுக்கு இந்த அளவுருக்கள் அனைத்தையும் சரிபார்க்கிறது.
1. மூலப்பொருள் தூய்மை மற்றும் குறைந்த வாயு வெளியேற்றம்
தேவை
ஏன் இது முக்கியம்
வழக்கமான வரம்பு
குறைந்த மொத்த ஆலசன் உள்ளடக்கம் (ஹலோஜன் இல்லாத விருப்பமானது)
ஹாலோஜன்கள் அலுமினியப் பிணைப்பு பட்டைகள் மற்றும் சில்லுகளில் உள்ள செப்பு ஒன்றோடொன்று இணைக்கப்படுகின்றன.
<900 பிபிஎம் (ஹலோஜன் இல்லாதது: Cl/Brக்கு ஒவ்வொன்றும் 50 பிபிஎம்)
siloxane உள்ளடக்கத்தின் கடுமையான கட்டுப்பாடு
சிலோக்சேன்கள் வெப்பத்தின் கீழ் ஆவியாகி இன்சுலேடிங் துகள்களை உருவாக்குகின்றன, இதனால் பிணைப்பு செயலிழப்பு மற்றும் மோசமான மின் தொடர்பு ஏற்படுகிறது
பொதுவாக <500 பிபிஎம் அல்லது கண்டறிய முடியாதது
மிகக் குறைந்த TVOC உமிழ்வுகள்
ஆவியாகும் ஆர்கானிக்ஸ் மூடுபனி ஒளியியல் கூறுகள் மற்றும் செதில் பரப்புகளில் ஒடுக்கம்
<50 μg/g (செயல்முறையின்படி மாறுபடும்)
Aokai PTFE குறிப்பு: வழக்கமான செயலாக்க வெப்பநிலையில் (260°C வரை) வாயுவைக் குறைக்க, உயர்-தூய்மை PTFE மற்றும் சிலிகான் PSA உடன் எங்களின் செமிகண்டக்டர் தர PTFE டேப்கள் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.
2. துகள் மற்றும் அயனி மாசு கட்டுப்பாடு
ஸ்லிட்டிங் மற்றும் பேக்கேஜிங்: முடிக்கப்பட வேண்டும் . ISO வகுப்பு 4 (அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட) கிளீன்ரூம்களில் டேப்பில் இருந்து துகள்கள் உதிர்வதைக் குறைக்க,
அல்ட்ரா-குறைந்த உலோக அயனி உள்ளடக்கம்: சோடியம் (Na⁺) மற்றும் பொட்டாசியம் (K⁺) போன்ற கார உலோகங்கள் குறைக்கடத்தி மின் பண்புகளை மாற்றுகின்றன. ஒற்றை உலோக அயனி அளவுகள் பொதுவாக <1 ppm வரை மட்டுமே இருக்கும்.
எச்சம் இல்லாத பிசின்: டேப் தோலுரித்த பிறகு செதில்களில் மேற்பரப்பு மாசுபாடு அல்லது ஹைட்ரோபோபிக் பாசிவேஷன் அடுக்குகளுக்கு சேதம் ஏற்படாது.
3. எதிர்ப்பு நிலையான செயல்திறன்
மேற்பரப்பு எதிர்ப்பு: 10⁶ – 10⁹ Ω
தேவை: சுற்றுப்புற ஈரப்பதத்தைப் பொருட்படுத்தாமல் சீரான மற்றும் சீரான நிலையான நிலையான சிதறல் பண்புகள்
ஏன்: மென்மையான சில்லுகளை அழிக்கும் உடனடி உயர் மின்னழுத்த மின்னியல் வெளியேற்றத்தைத் தடுக்கிறது
4. இரசாயன மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மை
இரசாயன எதிர்ப்பு: வலுவான அமிலங்கள் (ஹைட்ரோபுளோரிக் அமிலம், நைட்ரிக் அமிலம்), வலுவான காரங்கள் (டெவலப்பர் தீர்வுகள்) மற்றும் கரிம கரைப்பான்கள் (அசிட்டோன், ஐசோபிரைல் ஆல்கஹால்) - குறைக்கடத்தி ஈரமான செயலாக்கத்தில் பொதுவானவை.
பரிமாண நிலைப்புத்தன்மை: மறைக்கும் தவறான அமைப்பு மற்றும் பிசின் எச்சங்களை அகற்ற, மாறி மாறி உயர் மற்றும் குறைந்த வெப்பநிலைகளின் கீழ் குறைந்தபட்ச வெப்பச் சுருக்கம். ஒட்டுமொத்த தடிமன் சகிப்புத்தன்மை ±5% அல்லது ±0.01 மிமீக்குள் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது.
சுருக்கம் - செமிகண்டக்டர்-கிரேடு PTFE டேப் தேர்வு சரிபார்ப்பு பட்டியல்
தேவை
விவரக்குறிப்பு
சரிபார்ப்பு முறை
சுத்தமான அறை உற்பத்தி
ஸ்லிட்டிங்/பேக்கேஜிங்கிற்கு ISO வகுப்பு 4 அல்லது அதற்கு மேற்பட்டது
துகள் எண்ணிக்கை சான்றிதழ்
ஆலசன் உள்ளடக்கம்
<900 பிபிஎம் (ஹலோஜன் இல்லாத விருப்பம்)
அயன் குரோமடோகிராபி (IC)
சிலோக்சேன் உள்ளடக்கம்
<500 பிபிஎம் (அல்லது கண்டறிய முடியாதது)
GC-MS
TVOC உமிழ்வுகள்
<50 µg/g 260°C இல்
ஹெட்ஸ்பேஸ் GC-MS
உலோக அயனிகள்
<1 ppm ஒவ்வொன்றும் (Na⁺, K⁺, முதலியன)
ICP-MS
மேற்பரப்பு எதிர்ப்புத்திறன்
10⁶ - 10⁹ Ω
ASTM D257
பிசின் எச்சம்
தோலுரித்த பிறகு எதுவும் இல்லை
காட்சி ஆய்வு, டேப் சோதனை
இரசாயன எதிர்ப்பு
பாஸ் HF, HNO₃, NaOH, IPA, அசிட்டோன்
மூழ்கும் சோதனை
தடிமன் சகிப்புத்தன்மை
±5% அல்லது ±0.01 மிமீ
மைக்ரோமீட்டர் அளவீடு
Aokai PTFE ஆனது எங்களின் செமிகண்டக்டர்-கிரேடு PTFE டேப்களுக்கான முழு ஆவணங்களையும் வழங்குகிறது, இதில் க்ளீன்ரூம் சான்றிதழ், அயன் குரோமடோகிராபி (IC) ஹாலஜன்களுக்கான அறிக்கைகள், உலோக அயனிகளுக்கான ICP-MS மற்றும் வாயுவை வெளியேற்றுவதற்கான GC-MS ஆகியவை அடங்கும். விரிவான தரவுத்தாளின் செயல்முறை தேவைகளுடன் எங்களைத் தொடர்பு கொள்ளவும்.
PTFE உயர் வெப்பநிலை துணி, PTFE உயர் வெப்பநிலை பசை நாடா, PTFE உயர் வெப்பநிலை மெஷ் பெல்ட், தடையற்ற வெப்ப அழுத்த பெல்ட், ஒற்றை பக்க PTFE துணி, உயர் வெப்பநிலை ஃபைபர் ஃபைபர் வழியாக எங்கள் முழு தயாரிப்பு போர்ட்ஃபோலியோவிற்கு விரிவான விவரக்குறிப்புகள், பயன்பாட்டு வழக்குகள் மற்றும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தீர்வுகள் தேவைப்பட்டால், தயவு செய்து எங்களை அணுகும் கீழே உள்ள தொடர்புத் தகவல்:
நாங்கள் தொழில்முறை மற்றும் ஒருமைப்பாட்டை நிலைநிறுத்துகிறோம், அனைத்துப் பங்குதாரர்களுக்கும் அனைத்து வகையான தொழில்துறை தீர்வுகள் மற்றும் சிந்தனைமிக்க வாடிக்கையாளர் சேவையை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளோம்!
