Nan fabwikasyon semi-conducteurs, kontaminasyon mezire nan pati pa milyon ak gwosè patikil nan mikron. Yon sèl iyon pèdi, yon tras konpoze òganik temèt, oswa yon patikil mikwoskopik ka perte yon pakèt wafer antye - koute dè santèn de milye de dola.
PTFE wo-tanperati kasèt , ak rezistans chalè li yo, inertness chimik, sifas ki pa baton, ak pwopriyete elektrik, jwe yon wòl kritik nan anviwònman sa a. Men, pa sèlman nenpòt kasèt PTFE pral fè. Semiconductor-klas kasèt yo dwe satisfè estanda pwòpte ultra-wo ki byen lwen depase sa yo nan kasèt jeneral endistriyèl.
Aokai PTFE fabrike tep PTFE espesyalman pou aplikasyon pou semi-conducteurs. Gid sa a kouvri twa domèn aplikasyon debaz - pwosesis nivo wafer, anbalaj ak tès, ak antretyen ekipman - ak kondisyon pwòpte sevè ki aplike pou chak.
Senaryo Aplikasyon Nwayo - Pwoteje Konpozan ki gen anpil valè
1. Pwoteksyon pwosesis wafer-nivo
Pandan fabwikasyon wafer, kasèt la sèvi kòm yon kouch pwoteksyon tanporè pou aparèy ki gen anpil valè.
Pwosesis
Fonksyon tep
Egzijans kritik
Netwayaj plasma ak grave
Maske zòn ki pa pwosesis, pwoteje kwen wafer soti nan bonbadman ion
Pa dwe gaz oswa kite rezidi; kenbe tèt ak anviwònman plasma
Depozisyon fim mens (CVD/PVD)
Rejyon blòk ki pa mande pou kouch
Adhesion san pwoblèm pou anpeche enfiltrasyon gaz depo
Planarizasyon chimik mekanik (CMP)
Pwoteje dèyè wafer kont sispansyon ak debri abrazif
Reziste asid fò, alkali, ak ajan oksidan
2. Anbalaj ak tès pwosesis
Plon ankadreman / fiksasyon substra: pwezante ki reziste chalè pandan lyezon fil, tache mouri, ak enkapsulasyon plastik - kenbe konpozan fiks nan tanperati ki wo.
Masking pou vag soude & reflow soude: Pwoteje dwèt lò ak pwen kontak sou PCB soti nan kontaminasyon soude pandan pwosesis soude wo-tanperati.
Fèy transpòtè kasèt wo-tanperati: transpòtè fleksib pou sekirize substrats miniature sou liy pwodiksyon san yo pa lage patikil oswa résidus.
3. Antretyen ekipman ak itilizasyon oksilyè
Anbalaj roulo anti-estatik: Revèti woulèt transpò pou bay sifas kontak ki reziste wo-tanperati, ki pa baton, ak estatik-dissipative - anpeche domaj wafer soti nan friksyon ak egzeyat estatik.
Marquage tanporè chanm pwòp ak antretyen: Pou etikèt, fikse kab tanporè, ak reparasyon minè san yo pa entwodwi kontaminan.
Kondisyon pou lapwòpte ultra-segondè - Estanda ki pa negosyab
Sa yo se estanda ki fè distenksyon ant kasèt PTFE semi-kondiktè-klas ak kasèt jeneral. Non-konfòmite ka mennen nan dechoukaj pakèt konplè. Aokai PTFE valide tout paramèt sa yo pou kasèt semi-conducteurs nou yo.
1. Pite materyèl bwit ak degassaj ki ba
Egzijans
Poukisa li enpòtan
Limit tipik
Kontni alojèn total ki ba (pa pito san alojene)
Halogens korode kousinen kosyon aliminyòm ak entèrkonèksyon kwiv sou chips
<900 ppm (san alojene: <50 ppm chak pou Cl/Br)
Kontwòl strik nan kontni siloxane
Siloxanes volatilize anba chalè ak fòme patikil izolasyon, sa ki lakòz echèk lyezon ak pòv kontak elektrik.
Tipikman <500 ppm oswa ki pa detektab
Trè ba emisyon TVOC
Temèt òganik bwouya eleman optik ak kondanse sou sifas wafer
<50 µg/g (varye selon pwosesis)
Aokai PTFE nòt: kasèt PTFE semi-kondiktè-klas nou yo fòme ak PTFE-wo pite ak silikon PSA pou minimize degassaj nan tanperati pwosesis tipik (jiska 260 ° C).
2. Kontwòl kontaminasyon patikil ak iyonik
Koupe ak anbalaj: Ou dwe ranpli nan chanm pwòp ISO Klas 4 (oswa pi wo) pou minimize patikil koule soti nan kasèt la li menm.
Kontni iyon metal ultra-ba: metal alkali tankou sodyòm (Na⁺) ak potasyòm (K⁺) chanje karakteristik semi-conducteurs elektrik. Nivo ion metal sèl yo jeneralman limite a <1 ppm.
Adezif san rezidi: Pa gen kontaminasyon sifas oswa domaj nan kouch pasivasyon idrofob sou wafers apre tep dekale.
3. Pèfòmans anti-estatik
Sifas rezistans: 10⁶ – 10⁹ Ω
Kondisyon: Pwopriyete estatik disipatif ki estab, inifòm ak konsistan kèlkeswa imidite anbyen
Poukisa: Anpeche enstantane wo-vòltaj elektwostatik egzeyat ki detwi bato delika
4. Estabilite chimik ak dimansyon
Rezistans chimik: kenbe tèt ak asid fò (asid idrofluorik, asid nitrique), alkali fò (solisyon pwomotè), ak solvang òganik (asetòn, alkòl izopropil) - komen nan pwosesis semi-conducteurs mouye.
Estabilite dimansyon: Minim kontraksyon tèmik anba altène tanperati ki wo ak ba pou elimine maskin move aliyman ak rezidi adezif. An jeneral tolerans epesè kontwole nan ± 5% oswa ± 0.01 mm.
Aokai PTFE bay dokiman konplè pou kasèt PTFE semi-conducteurs nou yo, ki gen ladan sètifikasyon chanm pwòp, rapò kwomatografi iyon (IC) pou alojèn, ICP-MS pou iyon metal, ak GC-MS pou degassaj. Kontakte nou ak kondisyon pwosesis ou yo pou yon fichye detaye.
Si ou bezwen espesifikasyon detaye, ka aplikasyon ak solisyon Customized pou dosye konplè pwodwi nou an, ki gen ladan twal PTFE wo-tanperati, PTFE wo-tanperati adezif tep, PTFE wo-tanperati senti may, san pwoblèm senti chalè pou laprès, yon sèl-sided twal PTFE, wo-tanperati reziste senti CONVEYOR ak chalè ki reziste fib vèr enfòmasyon tanpri kontakte anba a:
