Dalam fabrikasi semikonduktor, pencemaran diukur dalam bahagian per juta dan saiz zarah dalam mikron. Satu ion sesat, sebatian organik meruap surih atau zarah mikroskopik boleh mengikis keseluruhan kumpulan wafer – menelan kos ratusan ribu dolar.
Pita suhu tinggi PTFE , dengan rintangan haba, lengai kimia, permukaan tidak melekat dan sifat elektrik, memainkan peranan penting dalam persekitaran ini. Tetapi bukan sebarang pita PTFE akan dilakukan. Pita gred semikonduktor mesti memenuhi piawaian kebersihan ultra tinggi yang jauh melebihi piawaian pita industri am.
Aokai PTFE mengeluarkan pita PTFE khusus untuk aplikasi semikonduktor. Panduan ini merangkumi tiga bidang aplikasi teras - pemprosesan peringkat wafer, pembungkusan dan ujian, dan penyelenggaraan peralatan - dan keperluan kebersihan yang ketat yang dikenakan pada setiap satu.
Senario Aplikasi Teras – Melindungi Komponen Bernilai Tinggi
1. Perlindungan proses peringkat wafer
Semasa fabrikasi wafer, pita berfungsi sebagai lapisan pelindung sementara untuk peranti bernilai tinggi.
Proses
Fungsi Pita
Keperluan Kritikal
Pembersihan & goresan plasma
Topeng kawasan bukan proses, lindungi tepi wafer daripada pengeboman ion
Tidak boleh mengeluarkan gas atau meninggalkan sisa; menahan persekitaran plasma
Pemendapan filem nipis (CVD/PVD)
Sekat kawasan yang tidak memerlukan salutan
Lekatan lancar untuk mengelakkan penyusupan gas pemendapan
Perancangan mekanikal kimia (CMP)
Perisai bahagian belakang wafer daripada serpihan buburan dan kasar
Menentang asid kuat, alkali, dan agen pengoksida
2. Proses pembungkusan dan ujian
Penetapan bingkai plumbum / substrat: Kedudukan kalis haba semasa ikatan wayar, pelekap die, dan enkapsulasi plastik – memegang komponen stabil pada suhu tinggi.
Masking untuk pematerian gelombang & pematerian aliran semula: Melindungi jari emas dan titik sentuhan pada PCB daripada pencemaran pateri semasa proses pematerian suhu tinggi.
Lembaran pembawa pita suhu tinggi: Pembawa fleksibel untuk mengamankan substrat kecil pada barisan pengeluaran tanpa melepaskan zarah atau sisa.
3. Penyelenggaraan peralatan dan kegunaan tambahan
Pembalut penggelek anti-statik: Penggelek pengangkut bersalut untuk menyediakan permukaan sentuhan kalis suhu tinggi, tidak melekat dan lesap statik – menghalang kerosakan wafer daripada geseran dan nyahcas statik.
Penandaan & penyelenggaraan sementara bilik bersih: Untuk pelabelan, penetapan kabel sementara dan pembaikan kecil tanpa memasukkan bahan cemar.
Keperluan Kebersihan Sangat Tinggi – Piawaian Tidak Boleh Dirunding
Ini ialah piawaian yang membezakan pita PTFE gred semikonduktor daripada pita tujuan am. Ketidakpatuhan boleh menyebabkan pemansuhan kumpulan penuh. Aokai PTFE mengesahkan semua parameter ini untuk pita gred semikonduktor kami.
1. Ketulenan bahan mentah dan gas keluar yang rendah
Keperluan
Mengapa Ia Penting
Had Biasa
Jumlah kandungan halogen yang rendah (diutamakan bebas halogen)
Halogen menghakis pad ikatan aluminium dan sambung tembaga pada cip
<900 ppm (bebas halogen: <50 ppm setiap satu untuk Cl/Br)
Kawalan ketat kandungan siloksan
Siloksan meruap di bawah haba dan membentuk zarah penebat, menyebabkan kegagalan ikatan dan sentuhan elektrik yang lemah
Biasanya <500 ppm atau tidak dapat dikesan
Pelepasan TVOC yang sangat rendah
Organik meruap mengabus komponen optik dan mengembun pada permukaan wafer
<50 µg/g (berbeza mengikut proses)
Nota Aokai PTFE: Pita PTFE gred semikonduktor kami dirumus dengan PTFE ketulenan tinggi dan PSA silikon untuk meminimumkan gas keluar pada suhu pemprosesan biasa (sehingga 260°C).
2. Kawalan pencemaran zarah dan ionik
Pembelahan dan pembungkusan: Mesti disiapkan dalam bilik bersih Kelas ISO 4 (atau lebih tinggi) untuk meminimumkan penumpahan zarah daripada pita itu sendiri.
Kandungan ion logam ultra-rendah: Logam alkali seperti natrium (Na⁺) dan kalium (K⁺) mengubah ciri elektrik semikonduktor. Tahap ion logam tunggal biasanya terhad kepada <1 ppm.
Pelekat bebas sisa: Tiada pencemaran permukaan atau kerosakan pada lapisan pempasifan hidrofobik pada wafer selepas pita mengelupas.
3. Prestasi anti-statik
Kerintangan permukaan: 10⁶ – 10⁹ Ω
Keperluan: Sifat pelesapan statik yang stabil, seragam dan konsisten tanpa mengira kelembapan ambien
Sebab: Menghalang nyahcas elektrostatik voltan tinggi serta-merta yang memusnahkan cip halus
4. Kestabilan kimia dan dimensi
Rintangan kimia: Menahan asid kuat (asid hidrofluorik, asid nitrik), alkali kuat (larutan pembangun), dan pelarut organik (aseton, isopropil alkohol) – biasa dalam pemprosesan basah semikonduktor.
Kestabilan dimensi: Pengecutan haba minimum di bawah suhu tinggi dan rendah berselang-seli untuk menghapuskan salah jajaran pelekat dan sisa pelekat. Toleransi ketebalan keseluruhan dikawal dalam ±5% atau ±0.01 mm.
Kelas ISO 4 atau lebih tinggi untuk menggorok/membungkus
Pensijilan kiraan zarah
kandungan halogen
<900 ppm (pilihan bebas halogen)
Kromatografi ion (IC)
Kandungan siloksan
<500 ppm (atau tidak dapat dikesan)
GC-MS
pelepasan TVOC
<50 µg/g pada 260°C
Ruang kepala GC-MS
Ion logam
<1 ppm setiap satu (Na⁺, K⁺, dsb.)
ICP-MS
Kerintangan permukaan
10⁶ – 10⁹ Ω
ASTM D257
Sisa pelekat
Tiada selepas mengelupas
Pemeriksaan visual, ujian pita
Rintangan kimia
Lulus HF, HNO₃, NaOH, IPA, aseton
Ujian rendaman
Toleransi ketebalan
±5% atau ±0.01 mm
Pengukuran mikrometer
Aokai PTFE menyediakan dokumentasi penuh untuk pita PTFE gred semikonduktor kami, termasuk pensijilan bilik bersih, laporan kromatografi ion (IC) untuk halogen, ICP-MS untuk ion logam dan GC-MS untuk keluar gas. Hubungi kami dengan keperluan proses anda untuk mendapatkan lembaran data terperinci.
Jika anda memerlukan spesifikasi terperinci, kes aplikasi dan penyelesaian tersuai untuk portfolio produk penuh kami, termasuk kain PTFE suhu tinggi, pita pelekat suhu tinggi PTFE, tali pinggang mesh suhu tinggi PTFE, tali pinggang penekan haba lancar, fabrik PTFE satu sisi, tali pinggang penghantar tahan suhu tinggi dan kain gentian kaca tahan panas, sila hubungi kami di bawah melalui maklumat hubungan:
Kami menjunjung profesionalisme dan integriti, komited untuk menyampaikan penyelesaian industri yang menyeluruh dan perkhidmatan pelanggan yang bertimbang rasa untuk semua rakan kongsi!
