අර්ධ සන්නායක නිපදවීමේදී, දූෂණය මිලියනයකට කොටස් වශයෙන් සහ අංශු ප්‍රමාණය මයික්‍රෝන වලින් මනිනු ලැබේ. තනි අයාලේ යන අයනයක්, වාෂ්පශීලී කාබනික සංයෝගයක් හෝ අන්වීක්ෂීය අංශුවකට සම්පූර්ණ වේෆර් කාණ්ඩයක් සීරීමට හැකිය - ඩොලර් සිය දහස් ගණනක් වැය වේ.
PTFE අධි-උෂ්ණත්ව ටේප් , එහි තාප ප්රතිරෝධය, රසායනික නිෂ්ක්‍රියතාවය, නොඇලෙන මතුපිට සහ විද්යුත් ගුණාංග මෙම පරිසරය තුළ තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. නමුත් ඕනෑම PTFE ටේප් එකක් පමණක් සිදු නොවේ. අර්ධ සන්නායක ශ්‍රේණියේ ටේප් සාමාන්ය කාර්මික පටිවලට වඩා බෙහෙවින් ඉහළ පිරිසිදුකමේ ප්‍රමිතීන් සපුරාලිය යුතුය.
Aokai PTFE අර්ධ සන්නායක යෙදුම් සඳහා විශේෂයෙන් PTFE ටේප් නිෂ්පාදනය කරයි. මෙම මාර්ගෝපදේශය මූලික යෙදුම් ක්ෂේත්‍ර තුනක් ආවරණය කරයි - වේෆර් මට්ටමේ සැකසීම, ඇසුරුම්කරණය සහ පරීක්ෂා කිරීම සහ උපකරණ නඩත්තු කිරීම - සහ එක් එක් සඳහා අදාළ වන දැඩි පිරිසිදුකම අවශ්‍යතා.
මූලික යෙදුම් අවස්ථා - ඉහළ අගයන් සහිත සංරචක ආරක්ෂා කිරීම
1. වේෆර් මට්ටමේ ක්‍රියාවලි ආරක්ෂණය
වේෆර් සෑදීමේදී, ටේප් ඉහළ වටිනාකමකින් යුත් උපාංග සඳහා තාවකාලික ආරක්ෂිත තට්ටුවක් ලෙස සේවය කරයි.
ක්රියාවලිය |
ටේප් කාර්යය |
විවේචනාත්මක අවශ්යතාව |
ප්ලාස්මා පිරිසිදු කිරීම සහ කැටයම් කිරීම |
ක්‍රියාවලි නොවන ප්‍රදේශ ආවරණය කරන්න, අයන බෝම්බ හෙලීමෙන් වේෆර් දාර ආරක්ෂා කරන්න |
වායුව බැහැර කිරීම හෝ ඉතිරි නොකළ යුතුය; ප්ලාස්මා පරිසරයට ඔරොත්තු දෙනවා |
තුනී පටල තැන්පත් කිරීම (CVD/PVD) |
ආෙල්පනය අවශ්‍ය නොවන කලාප අවහිර කරන්න |
වායුව තැන්පත් වීම වැළැක්වීම සඳහා බාධාවකින් තොරව ඇලවීම |
රසායනික යාන්ත්‍රික සැලසුම්කරණය (CMP) |
පොහොර සහ උල්ෙල්ඛ සුන්බුන් වලින් පලිහ වේෆර් පිටුපස |
ශක්තිමත් අම්ල, ක්ෂාර සහ ඔක්සිකාරක කාරක වලට ප්රතිරෝධය දක්වයි |
2. ඇසුරුම් සහ පරීක්ෂණ ක්‍රියාවලි
ඊයම් රාමුව / උපස්ථරය සවි කිරීම: වයර් බන්ධනය, ඩයි ඇමිණීම සහ ප්ලාස්ටික් එන්කැප්සියුලේෂන් අතරතුර තාප ප්රතිරෝධක ස්ථානගත කිරීම - ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී සංරචක ස්ථාවරව තබා ගනී.
තරංග පෑස්සුම් සහ ප්‍රතිප්‍රවාහ පෑස්සුම් සඳහා ආවරණ: ඉහළ උෂ්ණත්ව පෑස්සුම් ක්‍රියාවලීන්හිදී පෑස්සුම් දූෂණයෙන් PCB වල රන් ඇඟිලි සහ සම්බන්ධතා ස්ථාන ආරක්ෂා කරයි.
අධි-උෂ්ණත්ව ටේප් වාහක පත්‍ර: අංශු හෝ අපද්‍රව්‍ය නිකුත් නොකර නිෂ්පාදන මාර්ගවල කුඩා උපස්ථර සුරක්ෂිත කිරීමට නම්‍යශීලී වාහක.
3. උපකරණ නඩත්තු කිරීම සහ සහායක භාවිතය
ප්රති-ස්ථිතික රෝලර් එතීම: ඉහළ-උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධී, නොඇලෙන සහ ස්ථිතික-විසර්ජන ස්පර්ශක පෘෂ්ඨයන් සැපයීම සඳහා ක්ලැඩ්ස් ප්‍රවාහන රෝලර් - ඝර්ෂණයෙන් සහ ස්ථිතික විසර්ජනයෙන් වේෆර් හානි වළක්වයි.
පිරිසිදු කාමර තාවකාලික සලකුණු කිරීම සහ නඩත්තු කිරීම: ලේබල් කිරීම, තාවකාලික කේබල් සවි කිරීම සහ අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍ය හඳුන්වා නොදී සුළු අලුත්වැඩියාවන් සඳහා.
Ultra-High Cleanliness අවශ්‍යතා - සාකච්ඡා කළ නොහැකි ප්‍රමිතීන්
අර්ධ සන්නායක ශ්‍රේණියේ PTFE ටේප් පොදු කාර්ය ටේප් වලින් වෙන්කර හඳුනා ගන්නා ප්‍රමිතීන් මේවාය. අනුකූල නොවීම සම්පූර්ණ කණ්ඩායම සීරීමට හේතු විය හැක. Aokai PTFE අපගේ අර්ධ සන්නායක ශ්‍රේණියේ පටි සඳහා මෙම සියලු පරාමිතීන් වලංගු කරයි.
1. අමුද්‍රව්‍ය සංශුද්ධතාවය සහ අඩු වායු ඉවත් කිරීම
අවශ්යතාවය |
ඇයි එය වැදගත් |
සාමාන්ය සීමාව |
අඩු සම්පූර්ණ හැලජන් අන්තර්ගතය (හැලජන් රහිත වඩාත් කැමති) |
හැලජන් චිප්ස් මත ඇලුමිනියම් බන්ධන පෑඩ් සහ තඹ අන්තර් සම්බන්ධතා විඛාදනයට ලක් කරයි |
<900 ppm (හැලජන් රහිත: <50 ppm බැගින් Cl/Br සඳහා) |
siloxane අන්තර්ගතය දැඩි ලෙස පාලනය කිරීම |
සිලොක්සේන් තාපය යටතේ වාෂ්ප වී පරිවාරක අංශු සාදයි, බන්ධන අසමත්වීම සහ දුර්වල විද්යුත් සම්බන්ධතා ඇති කරයි. |
සාමාන්‍යයෙන් <500 ppm හෝ හඳුනා ගත නොහැක |
අතිශය අඩු TVOC විමෝචනය |
වාෂ්පශීලී කාබනික මීදුම දෘශ්ය සංරචක සහ වේෆර් පෘෂ්ඨ මත ඝනීභවනය කරයි |
<50 µg/g (ක්රියාවලිය අනුව වෙනස් වේ) |
Aokai PTFE සටහන: අපගේ අර්ධ සන්නායක ශ්‍රේණියේ PTFE පටි සාමාන්ය සැකසුම් උෂ්ණත්වවලදී (260°C දක්වා) පිටවන වායුව අවම කිරීම සඳහා ඉහළ සංශුද්ධතාවය PTFE සහ සිලිකොන් PSA සමඟ සකස් කර ඇත.
2. අංශු සහ අයනික දූෂණ පාලනය
කැපීම සහ ඇසුරුම් කිරීම: සම්පූර්ණ කළ යුතුය . ISO පන්තියේ 4 (හෝ ඊට වැඩි) පිරිසිදු කාමරවල ටේප් එකෙන්ම අංශු වැගිරීම අවම කිරීම සඳහා
අතිශය අඩු ලෝහ අයන අන්තර්ගතය: සෝඩියම් (Na⁺) සහ පොටෑසියම් (K⁺) වැනි ක්ෂාර ලෝහ අර්ධ සන්නායක විද්යුත් ලක්ෂණ වෙනස් කරයි. තනි ලෝහ අයන මට්ටම් සාමාන්‍යයෙන් ට සීමා වේ <1 ppm .
අපද්‍රව්‍ය රහිත ඇලවුම් ද්‍රව්‍ය: ටේප් පීල් කිරීමෙන් පසු වේෆර් මත මතුපිට දූෂණයක් හෝ ජලභීතික නිෂ්ක්‍රීය ස්ථරවලට හානි සිදු නොවේ.
මතුපිට ප්රතිරෝධය: 10⁶ – 10⁹ Ω
අවශ්යතාවය: පරිසර ආර්ද්‍රතාවය නොතකා ස්ථායී ස්ථිතික විඝටන ගුණ, ඒකාකාර සහ ස්ථාවර
ඇයි: සියුම් චිප්ස් විනාශ කරන ක්ෂණික අධි වෝල්ටීයතා විද්යුත් ස්ථිතික විසර්ජනය වළක්වයි
4. රසායනික හා මාන ස්ථාවරත්වය
රසායනික ප්රතිරෝධය: ප්‍රබල අම්ල (හයිඩ්‍රොෆ්ලෝරික් අම්ලය, නයිට්‍රික් අම්ලය), ප්‍රබල ක්ෂාර (සංවර්ධක ද්‍රාවණ) සහ කාබනික ද්‍රාවක (ඇසිටෝන්, අයිසොප්‍රොපයිල් මධ්‍යසාර) - අර්ධ සන්නායක තෙත් සැකසුම් වලදී පොදු වේ.
මාන ස්ථායීතාවය: ආවරණ නොගැලපීම සහ ඇලවුම් අපද්‍රව්‍ය ඉවත් කිරීම සඳහා ප්‍රත්‍යාවර්ත ඉහළ සහ අඩු උෂ්ණත්වයන් යටතේ අවම තාප හැකිලීම. සමස්ත ඝනකම ඉවසීම ±5% හෝ ±0.01 mm තුළ පාලනය වේ.
සාරාංශය - අර්ධ සන්නායක ශ්‍රේණියේ PTFE ටේප් තේරීම් පිරික්සුම් ලැයිස්තුව
අවශ්යතාවය |
පිරිවිතර |
වලංගු කිරීමේ ක්‍රමය |
පිරිසිදු කාමර නිෂ්පාදනය |
ස්ලිටිං/ඇසුරුම් කිරීම සඳහා ISO පන්තිය 4 හෝ ඊට වැඩි |
අංශු ගණන් කිරීමේ සහතිකය |
හැලජන් අන්තර්ගතය |
<900 ppm (හැලජන් රහිත වඩාත් කැමති) |
අයන වර්ණදේහ (IC) |
සිලොක්සෙන් අන්තර්ගතය |
<500 ppm (හෝ හඳුනාගත නොහැකි) |
GC-MS |
TVOC විමෝචනය |
260°C දී <50 µg/g |
Headspace GC-MS |
ලෝහ අයන |
<1 ppm බැගින් (Na⁺, K⁺, ආදිය) |
ICP-MS |
මතුපිට ප්රතිරෝධය |
10⁶ - 10⁹ Ω |
ASTM D257 |
ඇලවුම් අවශේෂ |
පීල් කිරීමෙන් පසු කිසිවක් නැත |
දෘශ්ය පරීක්ෂාව, ටේප් පරීක්ෂණය |
රසායනික ප්රතිරෝධය |
HF, HNO₃, NaOH, IPA, acetone සමත් |
ගිල්වීමේ පරීක්ෂණය |
ඝනකම ඉවසීම |
± 5% හෝ ± 0.01 මි.මී |
මයික්රොමීටරය මැනීම |
Aokai PTFE අපගේ අර්ධ සන්නායක ශ්‍රේණියේ PTFE ටේප් සඳහා සම්පූර්ණ ලියකියවිලි සපයයි, පිරිසිදු කාමර සහතික කිරීම, හැලජන් සඳහා අයන වර්ණදේහ (IC) වාර්තා, ලෝහ අයන සඳහා ICP-MS, සහ වායු පිටකිරීම සඳහා GC-MS ඇතුළත් වේ. සවිස්තරාත්මක දත්ත පත්‍රිකාවක් සඳහා ඔබගේ ක්‍රියාවලි අවශ්‍යතා සමඟ අප හා සම්බන්ධ වන්න.
ඉහත තාක්ෂණික අන්තර්ගතය සපයනු ලැබේ Jiangsu Aokai New Materials Technology Co., Ltd.
ඔබට අපගේ සම්පූර්ණ නිෂ්පාදන කළඹ සඳහා සවිස්තරාත්මක පිරිවිතර, යෙදුම් අවස්ථා සහ අභිරුචි කළ විසඳුම් අවශ්‍ය නම්, PTFE ඉහළ-උෂ්ණත්ව රෙදි, PTFE ඉහළ-උෂ්ණත්ව ඇලවුම් පටිය, PTFE ඉහළ-උෂ්ණත්ව දැල් පටිය, බාධාවකින් තොරව තාප මුද්‍රණ පටිය, තනි-පාර්ශ්වික PTFE රෙදි, ඉහළ-උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධී රෙදි, ඉහළ උෂ්ණත්වයට ඔරොත්තු දෙන රෙදිපිළි හරහා අපට ළඟා විය හැකිය. පහත සම්බන්ධතා තොරතුරු:
අපි වෘත්තීමයභාවය සහ අඛණ්ඩතාව ආරක්ෂා කරන අතර, සියලු හවුල්කරුවන් සඳහා සර්ව සම්පූර්ණ කාර්මික විසඳුම් සහ කල්පනාකාරී පාරිභෝගික සේවාවක් ලබා දීමට කැපවී සිටිමු!
