Pri izdelavi polprevodnikov se kontaminacija meri v delcih na milijon, velikost delcev pa v mikronih. En sam potepuški ion, hlapna organska spojina v sledu ali mikroskopski delec lahko uniči celotno serijo rezin – kar stane več sto tisoč dolarjev.
PTFE visokotemperaturni trak s svojo toplotno odpornostjo, kemično inertnostjo, površino proti sprijemanju in električnimi lastnostmi igra ključno vlogo v tem okolju. Vendar ne bo primeren vsak PTFE trak. Polprevodniški trakovi morajo izpolnjevati izjemno visoke standarde čistoče, ki daleč presegajo običajne industrijske trakove.
Aokai PTFE izdeluje PTFE trakove posebej za uporabo v polprevodnikih. Ta priročnik pokriva tri glavna področja uporabe – obdelavo na ravni rezin, pakiranje in testiranje ter vzdrževanje opreme – in stroge zahteve glede čistoče, ki veljajo za vsako.
Scenariji osnovnih aplikacij – zaščita komponent visoke vrednosti
1. Procesna zaščita na ravni rezin
Med izdelavo rezin trak služi kot začasna zaščitna plast za naprave visoke vrednosti.
Proces
Funkcija traku
Kritična zahteva
Plazma čiščenje in jedkanje
Zamaskirajte neprocesna področja, zaščitite robove rezin pred ionskim bombardiranjem
Ne sme izpuščati plinov ali puščati ostankov; vzdrži plazemsko okolje
Nanašanje tankega filma (CVD/PVD)
Blokiraj območja, ki ne potrebujejo premaza
Brezšivni oprijem za preprečevanje infiltracije plina
Kemijsko mehanska planarizacija (CMP)
Zaščitite zadnje strani rezin pred gnojevko in abrazivnimi ostanki
Odporen na močne kisline, alkalije in oksidante
2. Postopki pakiranja in testiranja
Pritrditev vodilnega okvirja/podlage: pozicioniranje, odporno na vročino, med spajanjem žice, pritrditvijo matrice in plastično kapsulacijo – ohranja komponente stabilne pri visokih temperaturah.
Maskiranje za valovito spajkanje in reflow spajkanje: Ščiti zlate prste in kontaktne točke na PCB-jih pred kontaminacijo s spajkami med postopki spajkanja pri visokih temperaturah.
Nosilni listi za visokotemperaturne trakove: Fleksibilni nosilci za pritrditev miniaturnih substratov na proizvodnih linijah brez sproščanja delcev ali ostankov.
3. Vzdrževanje opreme in pomožne uporabe
Protistatično ovijanje valjev: transportni valji za obloge zagotavljajo visokotemperaturno odporne kontaktne površine, ki se ne sprijemajo in odvajajo statično elektriko – preprečuje poškodbe rezin zaradi trenja in statične razelektritve.
Začasno označevanje in vzdrževanje čistih prostorov: Za označevanje, začasno pritrditev kablov in manjša popravila brez vnosa onesnaževalcev.
Izjemno visoke zahteve glede čistoče – standardi, o katerih se ni mogoče pogajati
To so standardi, ki razlikujejo polprevodniški PTFE trak od traku za splošno uporabo. Neskladnost lahko povzroči popolno razgradnjo serije. Aokai PTFE potrdi vse te parametre za naše polprevodniške trakove.
1. Čistost surovin in nizko izločanje plinov
Zahteva
Zakaj je pomembno
Tipična meja
Nizka skupna vsebnost halogenov (zaželeno brez halogenov)
Halogeni razjedajo aluminijaste vezne ploščice in bakrene povezave na čipih
<900 ppm (brez halogenov: <50 ppm vsak za Cl/Br)
Stroga kontrola vsebnosti siloksana
Siloksani hlapijo pod vplivom toplote in tvorijo izolacijske delce, kar povzroči okvaro vezi in slab električni stik
Običajno <500 ppm ali nezaznavno
Izjemno nizke emisije TVOC
Hlapne organske snovi meglijo optične komponente in kondenzirajo na površinah rezin
<50 µg/g (odvisno od postopka)
Opomba Aokai PTFE: naši polprevodniški PTFE trakovi so oblikovani s PTFE visoke čistosti in silikonskim PSA za zmanjšanje izpusta plinov pri običajnih temperaturah obdelave (do 260 °C).
2. Nadzor kontaminacije z delci in ioni
Rezanje in pakiranje: mora biti dokončano v čistih prostorih razreda ISO 4 (ali višje), da se zmanjša odvajanje delcev s samega traku.
Izjemno nizka vsebnost kovinskih ionov: alkalijske kovine, kot sta natrij (Na⁺) in kalij (K⁺), spremenijo električne lastnosti polprevodnikov. Ravni posameznih kovinskih ionov so na splošno omejene na <1 ppm.
Lepilo brez ostankov: Brez površinske kontaminacije ali poškodb hidrofobnih pasivacijskih plasti na rezinah po luščenju traku.
3. Antistatična zmogljivost
Površinska upornost: 10⁶ – 10⁹ Ω
Zahteva: stabilne statične disipativne lastnosti, enotne in dosledne ne glede na vlažnost okolja
Zakaj: Preprečuje trenutno visokonapetostno elektrostatično razelektritev, ki uniči občutljive ostružke
4. Kemična in dimenzijska stabilnost
Kemična odpornost: odporen na močne kisline (fluorovodikova kislina, dušikova kislina), močne alkalije (razvojne raztopine) in organska topila (aceton, izopropilni alkohol) – običajno pri mokri obdelavi polprevodnikov.
Dimenzijska stabilnost: Minimalno termično krčenje pri izmeničnih visokih in nizkih temperaturah za odpravo neporavnanosti maske in ostankov lepila. Skupna toleranca debeline je nadzorovana znotraj ±5 % ali ±0,01 mm.
Povzetek – Kontrolni seznam za izbiro PTFE traku za polprevodnike
Zahteva
Specifikacija
Metoda validacije
Proizvodnja čistih prostorov
ISO razred 4 ali višji za rezanje/pakiranje
Certificiranje števila delcev
Vsebnost halogenov
<900 ppm (zaželeno brez halogenov)
Ionska kromatografija (IC)
Vsebnost siloksana
<500 ppm (ali nezaznavno)
GC-MS
emisije TVOC
<50 µg/g pri 260 °C
Headspace GC-MS
Kovinski ioni
<1 ppm vsak (Na⁺, K⁺ itd.)
ICP-MS
Površinska upornost
10⁶ – 10⁹ Ω
ASTM D257
Ostanki lepila
Po pilingu nič
Vizualni pregled, test s trakom
Kemična odpornost
Prepusti HF, HNO₃, NaOH, IPA, aceton
Potopni preskus
Toleranca debeline
±5 % ali ±0,01 mm
Merjenje z mikrometrom
Aokai PTFE zagotavlja popolno dokumentacijo za naše polprevodniške PTFE trakove, vključno s certifikatom za čiste prostore, poročila o ionski kromatografiji (IC) za halogene, ICP-MS za kovinske ione in GC-MS za izločanje plinov. Pišite nam s svojimi procesnimi zahtevami za podroben podatkovni list.
Če potrebujete podrobne specifikacije, primere uporabe in prilagojene rešitve za naš celoten portfelj izdelkov, vključno s PTFE visokotemperaturno krpo, PTFE visokotemperaturnim lepilnim trakom, PTFE visokotemperaturnim mrežastim pasom, brezšivnim toplotno stiskalnim pasom, enostransko PTFE tkanino, visokotemperaturno odpornim tekočim trakom in toplotno odporno tkanino iz steklenih vlaken, se obrnite na nas preko kontakta informacije spodaj:
Zavzemamo se za strokovnost in integriteto, predani smo zagotavljanju celovitih industrijskih rešitev in premišljene storitve za stranke za vse partnerje!
