Pri výrobe polovodičov sa kontaminácia meria v dieloch na milión a veľkosti častíc v mikrónoch. Jediný zablúdený ión, stopové množstvo prchavej organickej zlúčeniny alebo mikroskopická častica môže zošrotovať celú dávku plátku – čo stojí stovky tisíc dolárov.
PTFE vysokoteplotná páska so svojou tepelnou odolnosťou, chemickou inertnosťou, nepriľnavým povrchom a elektrickými vlastnosťami zohráva v tomto prostredí rozhodujúcu úlohu. Ale nie len tak hocijaká PTFE páska. Pásky polovodičovej kvality musia spĺňať mimoriadne vysoké štandardy čistoty, ktoré ďaleko presahujú štandardy bežných priemyselných pások.
Aokai PTFE vyrába PTFE pásku špeciálne pre polovodičové aplikácie. Táto príručka pokrýva tri základné oblasti použitia – spracovanie na úrovni plátkov, balenie a testovanie a údržbu zariadení – a prísne požiadavky na čistotu, ktoré sa vzťahujú na každú z nich.
Hlavné aplikačné scenáre – Ochrana vysokohodnotných komponentov
1. Ochrana procesu na úrovni plátku
Počas výroby plátku páska slúži ako dočasná ochranná vrstva pre zariadenia s vysokou hodnotou.
Proces
Funkcia pásky
Kritická požiadavka
Plazmové čistenie a leptanie
Zamaskujte oblasti bez spracovania, chráňte okraje plátku pred bombardovaním iónmi
Nesmie odplyňovať alebo zanechávať zvyšky; odolávať plazmovému prostrediu
Nanášanie tenkých vrstiev (CVD/PVD)
Blokové oblasti nevyžadujúce náter
Bezšvová priľnavosť, aby sa zabránilo infiltrácii usadzovacieho plynu
Chemická mechanická planarizácia (CMP)
Chráňte zadné strany plátku pred kalom a abrazívnymi nečistotami
Odoláva silným kyselinám, zásadám a oxidačným činidlám
2. Procesy balenia a testovania
Upevnenie oloveného rámu / substrátu: Tepelne odolné umiestnenie počas spájania drôtom, pripevnenia matrice a plastového zapuzdrenia – udržuje komponenty stabilné pri vysokých teplotách.
Maskovanie pre vlnové spájkovanie a spájkovanie pretavením: Chráni zlaté prsty a kontaktné body na doskách plošných spojov pred kontamináciou spájkou počas vysokoteplotných spájkovacích procesov.
Vysokoteplotné nosiče pások: Flexibilné nosiče na zaistenie miniatúrnych substrátov na výrobných linkách bez uvoľnenia častíc alebo zvyškov.
3. Údržba zariadenia a pomocné použitie
Antistatické balenie valčekov: Obaluje transportné valčeky tak, aby poskytovali kontaktné povrchy odolné voči vysokým teplotám, nepriľnavé a rozptyľujúce statickú elektrinu – zabraňuje poškodeniu plátkov trením a statickým výbojom.
Dočasné značenie a údržba čistých priestorov: Na označovanie, dočasné upevnenie káblov a menšie opravy bez vnášania nečistôt.
Požiadavky na ultravysokú čistotu – normy, o ktorých nemožno vyjednávať
Toto sú štandardy, ktoré odlišujú pásku PTFE polovodičovej kvality od pásky na všeobecné použitie. Nesúlad môže viesť k úplnému zošrotovaniu šarže. Aokai PTFE overuje všetky tieto parametre pre naše pásky polovodičovej kvality.
1. Čistota suroviny a nízke odplyňovanie
Požiadavka
Prečo na tom záleží
Typický limit
Nízky celkový obsah halogénov (uprednostňuje sa bezhalogénový obsah)
Halogény korodujú hliníkové spojovacie podložky a medené prepojenia na čipoch
<900 ppm (bez halogénov: <50 ppm každý pre Cl/Br)
Prísna kontrola obsahu siloxánu
Siloxány pôsobením tepla prchajú a vytvárajú izolačné častice, čo spôsobuje zlyhanie spojenia a slabý elektrický kontakt
Typicky <500 ppm alebo nedetegovateľné
Extrémne nízke emisie TVOC
Prchavé organické látky zahmlievajú optické komponenty a kondenzujú na povrchoch plátkov
<50 µg/g (líši sa podľa procesu)
Poznámka Aokai PTFE: Naše PTFE pásky polovodičovej kvality sú vyrobené z vysoko čistého PTFE a silikónového PSA, aby sa minimalizovalo uvoľňovanie plynov pri typických teplotách spracovania (až do 260 °C).
2. Kontrola časticovej a iónovej kontaminácie
Rezanie a balenie: Musí sa vykonávať v čistých priestoroch ISO triedy 4 (alebo vyššej), aby sa minimalizovalo uvoľňovanie častíc zo samotnej pásky.
Mimoriadne nízky obsah kovových iónov: Alkalické kovy ako sodík (Na⁺) a draslík (K⁺) menia elektrické vlastnosti polovodičov. Hladiny jednotlivých kovových iónov sú všeobecne obmedzené na <1 ppm.
Lepidlo bez zvyškov: Žiadna povrchová kontaminácia alebo poškodenie hydrofóbnych pasivačných vrstiev na plátkoch po odlepení pásky.
3. Antistatický výkon
Povrchový odpor: 10⁶ – 10⁹ Ω
Požiadavka: Stabilné vlastnosti rozptylu statickej elektriny, rovnomerné a konzistentné bez ohľadu na okolitú vlhkosť
Prečo: Zabraňuje okamžitému vysokonapäťovému elektrostatickému výboju, ktorý ničí jemné triesky
4. Chemická a rozmerová stabilita
Chemická odolnosť: Odoláva silným kyselinám (kyselina fluorovodíková, dusičná), silným zásadám (roztoky vývojky) a organickým rozpúšťadlám (acetón, izopropylalkohol) – bežné pri spracovaní polovodičov za mokra.
Rozmerová stabilita: Minimálne tepelné zmrštenie pri striedaní vysokých a nízkych teplôt, aby sa eliminovalo nesprávne vyrovnanie maskovania a zvyšky lepidla. Tolerancia celkovej hrúbky riadená v rozmedzí ±5 % alebo ±0,01 mm.
Zhrnutie – Kontrolný zoznam pre výber polovodičovej PTFE pásky
Požiadavka
Špecifikácia
Metóda validácie
Výroba v čistých priestoroch
Trieda ISO 4 alebo vyššia na rezanie/balenie
Certifikácia počtu častíc
Obsah halogénu
<900 ppm (uprednostňuje sa bez halogénov)
Iónová chromatografia (IC)
Obsah siloxánu
<500 ppm (alebo nezistiteľné)
GC-MS
Emisie TVOC
<50 ug/g pri 260 °C
Headspace GC-MS
Kovové ióny
<1 ppm každý (Na⁺, K⁺, atď.)
ICP-MS
Povrchový odpor
10⁶ – 10⁹ Ω
ASTM D257
Zvyšky lepidla
Po peelingu žiadne
Vizuálna kontrola, test pásky
Chemická odolnosť
Nechajte prejsť HF, HNO3, NaOH, IPA, acetón
Ponorný test
Tolerancia hrúbky
±5% alebo ±0,01 mm
Mikrometrické meranie
Aokai PTFE poskytuje úplnú dokumentáciu pre naše PTFE pásky polovodičovej kvality, vrátane certifikácie čistých priestorov, správ iónovej chromatografie (IC) pre halogény, ICP-MS pre ióny kovov a GC-MS pre odplyňovanie. Kontaktujte nás s vašimi požiadavkami na proces pre podrobný údajový list.
Ak požadujete podrobné špecifikácie, aplikačné prípady a prispôsobené riešenia pre naše celé produktové portfólio, vrátane PTFE vysokoteplotnej tkaniny, PTFE vysokoteplotnej lepiacej pásky, PTFE vysokoteplotného sieťového pásu, bezšvíkového tepelne lisovaného pásu, jednostrannej PTFE tkaniny, vysokoteplotne odolného dopravného pásu a tepelne odolnej tkaniny zo sklenených vlákien, kontaktujte nás prostredníctvom nižšie uvedených kontaktných informácií:
Podporujeme profesionalitu a integritu, zaviazali sme sa poskytovať všestranné priemyselné riešenia a premyslený zákaznícky servis pre všetkých partnerov!
