Pusvadītāju ražošanā piesārņojumu mēra daļās uz miljonu un daļiņu izmērus mikronos. Viens klaiņojošs jons, neliels gaistošs organisks savienojums vai mikroskopiska daļiņa var iznīcināt visu vafeļu partiju, kas maksā simtiem tūkstošu dolāru.
PTFE augstas temperatūras lentei ar tās karstumizturību, ķīmisko inerci, nepiedegošo virsmu un elektriskām īpašībām ir izšķiroša nozīme šajā vidē. Taču derēs ne tikai jebkura PTFE lente. Pusvadītāju līmlentēm jāatbilst īpaši augstiem tīrības standartiem, kas ievērojami pārsniedz vispārējo rūpniecisko lentu standartus.
Aokai PTFE ražo PTFE lenti, kas īpaši paredzēta pusvadītāju lietojumiem. Šī rokasgrāmata aptver trīs galvenās pielietojuma jomas – vafeļu līmeņa apstrādi, iepakošanu un testēšanu, kā arī iekārtu apkopi – un stingrās tīrības prasības, kas attiecas uz katru.
Vafeļu izgatavošanas laikā lente kalpo kā pagaidu aizsargslānis augstvērtīgām ierīcēm.
Process
Lentes funkcija
Kritiskā prasība
Plazmas tīrīšana un kodināšana
Maskējiet neapstrādātās vietas, aizsargājiet vafeļu malas no jonu bombardēšanas
Nedrīkst izplūst gāzi vai atstāt atlikumus; izturēt plazmas vidi
Plānās kārtiņas nogulsnēšana (CVD/PVD)
Bloķējiet reģionus, kuriem nav nepieciešams pārklājums
Bezšuvju adhēzija, lai novērstu nogulšņu gāzu infiltrāciju
Ķīmiskā mehāniskā planarizācija (CMP)
Aizsargājiet vafeļu aizmugures no vircas un abrazīviem gružiem
Izturīgs pret stiprām skābēm, sārmiem un oksidētājiem
2. Iepakošanas un testēšanas procesi
Svina rāmja/substrāta fiksācija: Karstumizturīga pozicionēšana stieples savienošanas, presēšanas un plastmasas iekapsulēšanas laikā – notur sastāvdaļas stabili augstā temperatūrā.
Maskēšana viļņu lodēšanai un atkārtotai lodēšanai: aizsargā zelta pirkstus un PCB kontaktpunktus no lodēšanas piesārņojuma augstas temperatūras lodēšanas procesos.
Augstas temperatūras lentes nesēja loksnes: elastīgi turētāji, lai nostiprinātu miniatūras pamatnes ražošanas līnijās, neizlaižot daļiņas vai atlikumus.
3. Iekārtu apkope un palīgizmantošana
Antistatiskā rullīšu ietīšana: apšuvuma transportēšanas rullīši, lai nodrošinātu augstas temperatūras izturīgas, nelipīgas un statisku izkliedējošas kontaktvirsmas – novērš plāksnīšu bojājumus berzes un statiskās izlādes dēļ.
Tīras telpas pagaidu marķēšana un apkope: marķēšanai, pagaidu kabeļu nostiprināšanai un nelieliem remontdarbiem, neievadot piesārņotājus.
Īpaši augstas tīrības prasības — neapspriežami standarti
Šie ir standarti, kas atšķir pusvadītāju kvalitātes PTFE lenti no vispārējas nozīmes lentes. Neatbilstība var izraisīt visas partijas nodošanu metāllūžņos. Aokai PTFE apstiprina visus šos parametrus mūsu pusvadītāju kvalitātes lentēm.
1. Izejvielu tīrība un zema izplūde
Prasība
Kāpēc tas ir svarīgi
Tipisks limits
Zems kopējais halogēna saturs (vēlams bez halogēna)
Halogēni korodē alumīnija saišu paliktņus un vara savienojumus uz mikroshēmām
<900 ppm (bez halogēna: <50 ppm katram Cl/Br)
Stingra siloksāna satura kontrole
Siloksāni karstumā iztvaiko un veido izolējošas daļiņas, izraisot savienojuma traucējumus un sliktu elektrisko kontaktu
Parasti <500 ppm vai nav nosakāms
Īpaši zemas TVOC emisijas
Gaistošās organiskās vielas miglo optiskos komponentus un kondensējas uz vafeļu virsmām
<50 µg/g (atšķiras atkarībā no procesa)
Aokai PTFE piezīme: Mūsu pusvadītāju kvalitātes PTFE lentes ir veidotas ar augstas tīrības pakāpes PTFE un silikona PSA, lai līdz minimumam samazinātu gāzu izdalīšanos pie tipiskām apstrādes temperatūrām (līdz 260°C).
2. Daļiņu un jonu piesārņojuma kontrole
Sagriešana un iesaiņošana: jāveic ISO 4. klases (vai augstākas) tīrās telpās , lai samazinātu daļiņu izdalīšanos no pašas lentes.
Īpaši zems metālu jonu saturs: Sārmu metāli, piemēram, nātrijs (Na⁺) un kālijs (K⁺), maina pusvadītāju elektriskās īpašības. Viena metāla jonu līmenis parasti ir ierobežots līdz <1 ppm.
Līme bez atlikumiem: pēc lentes nolobīšanas nav virsmas piesārņojuma vai hidrofobās pasivācijas slāņu bojājumu.
3. Antistatiska veiktspēja
Virsmas pretestība: 10⁶ – 10⁹ Ω
Prasība: Stabilas statiskās izkliedēšanas īpašības, vienmērīgas un konsekventas neatkarīgi no apkārtējā mitruma
Kāpēc: Novērš momentānu augstsprieguma elektrostatisko izlādi, kas iznīcina smalkās skaidas
4. Ķīmiskā un izmēru stabilitāte
Ķīmiskā izturība: iztur spēcīgas skābes (fluorūdeņražskābe, slāpekļskābe), stiprus sārmus (attīstītāja šķīdumi) un organiskos šķīdinātājus (acetonu, izopropilspirtu) – bieži sastopams pusvadītāju mitrajā apstrādē.
Izmēru stabilitāte: minimāla termiskā saraušanās mainīgā augstā un zemā temperatūrā, lai novērstu maskēšanas novirzes un līmes atlikumus. Kopējā biezuma pielaide tiek kontrolēta ±5% vai ±0,01 mm robežās.
Kopsavilkums – pusvadītāju kvalitātes PTFE lentes izvēles kontrolsaraksts
Prasība
Specifikācija
Validācijas metode
Tīrtelpu ražošana
ISO klase 4 vai augstāka sagriešanai/iepakošanai
Daļiņu skaita sertifikācija
Halogēna saturs
<900 ppm (vēlams bez halogēna)
Jonu hromatogrāfija (IC)
Siloksāna saturs
<500 ppm (vai nav nosakāms)
GC-MS
TVOC emisijas
<50 µg/g pie 260°C
Headspace GC-MS
Metāla joni
<1 ppm katra (Na⁺, K⁺ utt.)
ICP-MS
Virsmas pretestība
10⁶ – 10⁹ Ω
ASTM D257
Līmes atlikumi
Pēc pīlinga neviena
Vizuāla pārbaude, lentes pārbaude
Ķīmiskā izturība
Iziet HF, HNO₃, NaOH, IPA, acetonu
Iegremdēšanas tests
Biezuma tolerance
±5% vai ±0,01 mm
Mikrometra mērīšana
Aokai PTFE nodrošina pilnu dokumentāciju mūsu pusvadītāju kvalitātes PTFE lentēm, tostarp tīrās telpas sertifikāciju, jonu hromatogrāfijas (IC) ziņojumus halogēniem, ICP-MS metālu joniem un GC-MS izplūdes gāzēm. Sazinieties ar mums, lai uzzinātu savas procesa prasības, lai iegūtu detalizētu datu lapu.
Ja jums ir nepieciešamas detalizētas specifikācijas, pielietojuma gadījumi un pielāgoti risinājumi mūsu pilnam produktu portfelim, tostarp PTFE augstas temperatūras audums, PTFE augstas temperatūras līmlente, PTFE augstas temperatūras sieta lente, bezšuvju karstumpreses lente, vienpusējs PTFE audums, augstas temperatūras izturīga konveijera lente un karstumizturīga informācija, lūdzu, sasniedziet kontaktinformāciju, izmantojot audumu.
Mēs atbalstām profesionalitāti un godīgumu, esam apņēmušies nodrošināt visaptverošus industriālos risinājumus un pārdomātu klientu apkalpošanu visiem partneriem!
