Katika utengenezaji wa semiconductor, uchafuzi hupimwa kwa sehemu kwa milioni na ukubwa wa chembe katika mikroni. Iyoni moja iliyopotea, mchanganyiko wa kikaboni tete, au chembe ndogo ndogo inaweza kufuta bechi nzima ya kaki - inayogharimu mamia ya maelfu ya dola.
PTFE mkanda wa halijoto ya juu , pamoja na ukinzani wake wa joto, ajizi ya kemikali, uso usio na fimbo, na sifa za umeme, ina jukumu muhimu katika mazingira haya. Lakini si tu mkanda wowote wa PTFE utafanya. Kanda za kiwango cha semicondukta lazima zifikie viwango vya usafi wa hali ya juu ambavyo vinazidi kwa mbali vile vya kanda za jumla za viwandani.
Aokai PTFE hutengeneza mkanda wa PTFE mahususi kwa matumizi ya semiconductor. Mwongozo huu unashughulikia maeneo matatu ya msingi ya utumaji - usindikaji wa kiwango cha kaki, upakiaji na majaribio, na matengenezo ya vifaa - na mahitaji magumu ya usafi ambayo yanatumika kwa kila moja.
Matukio ya Msingi ya Utumaji - Kulinda Vipengee vya Thamani ya Juu
1. Ulinzi wa mchakato wa kiwango cha kaki
Wakati wa kutengeneza kaki, mkanda hutumika kama safu ya kinga ya muda kwa vifaa vya thamani ya juu.
Mchakato
Kazi ya mkanda
Mahitaji Muhimu
Kusafisha na kuweka plasma
Mask maeneo yasiyo ya mchakato, kulinda kaki edges kutoka ion bombardment
Haipaswi kutoa gesi au kuacha mabaki; kuhimili mazingira ya plasma
Uwekaji wa filamu nyembamba (CVD/PVD)
Zuia mikoa isiyohitaji mipako
Kushikamana bila mshono ili kuzuia kupenya kwa gesi ya utuaji
Upangaji wa mitambo ya kemikali (CMP)
Kinga kaki ya nyuma kutoka kwa uchafu na uchafu wa abrasive
Zuia asidi kali, alkali, na vioksidishaji
2. Michakato ya ufungaji na upimaji
Urekebishaji wa fremu ya risasi / substrate: Nafasi inayostahimili joto wakati wa kuunganisha waya, kiambatisho cha kufa, na uwekaji wa plastiki - hushikilia vipengee vyema kwenye joto la juu.
Kufunika kwa ajili ya kutengenezea mawimbi na kutengenezea tena mtiririko: Hulinda vidole vya dhahabu na sehemu za mawasiliano kwenye PCB dhidi ya uchafuzi wa solder wakati wa mchakato wa kutengenezea joto la juu.
Laha za kubeba tepi za halijoto ya juu: Vitoa huduma vinavyonyumbulika ili kulinda substrates ndogo kwenye njia za uzalishaji bila kutoa chembe au mabaki.
3. Matengenezo ya vifaa na matumizi ya ziada
Ufungaji wa roller za kuzuia tuli: Nguzo husafirisha roli ili kutoa nyuso za mguso zinazostahimili halijoto ya juu, zisizo na fimbo na zisizoweza kutoweka - huzuia uharibifu wa kaki kutokana na msuguano na kutokwa tuli.
Kuweka alama na matengenezo kwa muda katika chumba kisafi: Kwa kuweka lebo, kurekebisha kebo kwa muda, na urekebishaji mdogo bila kuleta uchafu.
Mahitaji ya Usafi wa Hali ya Juu - Viwango Visivyoweza Kujadiliwa
Hivi ndivyo viwango vinavyotofautisha mkanda wa PTFE wa kiwango cha semiconductor na mkanda wa madhumuni ya jumla. Kutofuata kunaweza kusababisha kufutwa kwa bechi kamili. Aokai PTFE inathibitisha vigezo hivi vyote kwa kanda zetu za kiwango cha semicondukta.
1. Usafi wa malighafi na utaftaji mdogo wa gesi
Sharti
Kwa Nini Ni Muhimu
Kikomo cha Kawaida
Jumla ya maudhui ya chini ya halojeni (inapendelea isiyo na halojeni)
Halojeni huharibu pedi za dhamana za alumini na viunganishi vya shaba kwenye chip
<900 ppm (isiyo na halojeni: <50 ppm kila moja kwa Cl/Br)
Udhibiti mkali wa maudhui ya siloxane
Siloxanes hubadilika chini ya joto na kuunda chembe za kuhami, na kusababisha kushindwa kwa kuunganisha na mguso mbaya wa umeme
Kwa kawaida <500 ppm au isiyoweza kutambulika
Uzalishaji wa chini sana wa TVOC
Viumbe hai vinavyobadilika-badilika vina ukungu vipengee vya macho na kujibana kwenye nyuso za kaki
<50 µg/g (hutofautiana kulingana na mchakato)
Dokezo la Aokai PTFE: Kanda zetu za PTFE za kiwango cha semicondukta zimeundwa kwa usafi wa hali ya juu PTFE na silikoni PSA ili kupunguza uondoaji wa gesi kwenye joto la kawaida la usindikaji (hadi 260°C).
2. Udhibiti wa uchafuzi wa chembe na ionic
Upasuaji na ufungashaji: Lazima ukamilishwe katika vyumba vya usafi vya ISO Class 4 (au zaidi) ili kupunguza umwagaji wa chembe kutoka kwa tepi yenyewe.
Maudhui ya ioni ya chuma yenye kiwango cha chini zaidi: Metali za alkali kama vile sodiamu (Na⁺) na potasiamu (K⁺) hubadilisha sifa za umeme za semicondukta. Viwango vya ioni ya chuma moja kwa ujumla hupunguzwa kwa <1 ppm.
Kinata kisicho na mabaki: Hakuna uchafuzi wa uso au uharibifu wa tabaka za kupitisha haidrofobi kwenye kaki baada ya kumenya mkanda.
3. Utendaji wa kupambana na static
Ustahimilivu wa uso: 10⁶ - 10⁹ Ω
Mahitaji: Sifa thabiti za kutenganisha tuli, sawa na thabiti bila kujali unyevu wa mazingira.
Kwa nini: Huzuia utokaji wa papo hapo wenye voltage ya juu na kuharibu chipsi dhaifu
4. Utulivu wa kemikali na dimensional
Upinzani wa kemikali: Kuhimili asidi kali (asidi hidrofloriki, asidi ya nitriki), alkali kali (suluhisho za watengenezaji), na vimumunyisho vya kikaboni (asetoni, pombe ya isopropyl) - kawaida katika usindikaji wa semiconductor mvua.
Uthabiti wa kimuundo: Kupungua kidogo kwa joto chini ya kupishana kwa halijoto ya juu na ya chini ili kuondoa utenganishaji mbaya wa ufunikaji na mabaki ya wambiso. Uvumilivu wa unene wa jumla unadhibitiwa ndani ya ± 5% au ± 0.01 mm.
Muhtasari – Orodha ya kuteua Tepu ya Semicondukta-Daraja la PTFE
Sharti
Vipimo
Mbinu ya Uthibitishaji
Utengenezaji wa vyumba vya usafi
Kiwango cha 4 cha ISO au cha juu zaidi kwa kupasua/kufungasha
Uthibitisho wa kuhesabu chembe
Maudhui ya halojeni
<900 ppm (inapendelea isiyo na halojeni)
Ion kromatografia (IC)
Maudhui ya Siloxane
<500 ppm (au isiyoweza kutambulika)
GC-MS
Uzalishaji wa TVOC
<50 µg/g kwa 260°C
Headspace GC-MS
Ioni za chuma
<1 ppm kila moja (Na⁺, K⁺, n.k.)
ICP-MS
Upinzani wa uso
10⁶ - 10⁹ Ω
ASTM D257
Mabaki ya wambiso
Hakuna baada ya peeling
Ukaguzi wa Visual, mtihani wa tepi
Upinzani wa kemikali
Pitia HF, HNO₃, NaOH, IPA, asetoni
Mtihani wa kuzamishwa
Uvumilivu wa unene
±5% au ±0.01 mm
Kipimo cha micrometer
Aokai PTFE hutoa hati kamili kwa ajili ya kanda zetu za kiwango cha semiconductor za PTFE, ikijumuisha uthibitishaji wa chumba safi, ripoti za kromatografia ya ioni (IC) za halojeni, ICP-MS ya ayoni za chuma, na GC-MS ya kutoa gesi. Wasiliana nasi na mahitaji yako ya mchakato kwa hifadhidata ya kina.
Iwapo unahitaji maelezo ya kina, kesi za programu na suluhu zilizobinafsishwa kwa kwingineko kamili ya bidhaa zetu, ikiwa ni pamoja na kitambaa cha PTFE cha joto la juu, mkanda wa kubandika wa PTFE, mkanda wa wavu wa joto la juu wa PTFE, mkanda wa kushinikiza joto usio na mshono, kitambaa cha upande mmoja cha PTFE, mkanda unaostahimili joto la juu na habari inayostahimili joto, tafadhali wasiliana nasi kupitia glasi inayostahimili joto.
