I le gaosiga o le semiconductor, o le fa'aleagaina e fuaina i vaega i le miliona ma le tele o vaega i microns. O se ion e tasi, o se fa'aputu fa'aola fa'aola, po'o se mea ninii e mafai ona to'esea atoa ai se fa'a'a'ai wafer – e fiaselau afe tala lona tau.
PTFE maualuga-vevela lipine , faʻatasi ai ma lona vevela vevela, vailaʻau inertness, non-stick surface, ma mea tau eletise, e taua tele i lenei siosiomaga. Ae le na'o so'o se lipine PTFE o le a faia. O lipine semiconductor-grade e tatau ona ausia tulaga mama maualuga e sili mamao atu nai lo mea o lo'o masani ai lipine fale gaosi oloa.
Aokai PTFE gaosia le lipine PTFE faapitoa mo talosaga semiconductor. O lenei ta'iala o lo'o aofia ai vaega autu e tolu o fa'aoga - fa'apipi'i ma su'ega, ma le tausiga o mea faigaluega - ma manaoga mama e fa'atatau i mea ta'itasi.
Tulaga Autu o Talosaga – Puipuia Vaega Maualuluga
1. Puipuiga o le faagasologa o le wafer
I le taimi o le fauina o le wafer, o le lipine e avea o se vaega puipuia le tumau mo masini maualuga tau.
Fa'agasologa
Galuega Fa'amau
Manaoga Taua
Fa'amama ma togitogi
Ufiufi nofoaga e le o fa'agaioiina, puipui pito mamago mai le pomu o ion
E le tatau ona alu ese pe tu'u mea o totoe; tatalia le siosiomaga plasma
Fa'ato'a ata manifinifi (CVD/PVD)
Poloka itulagi e le mana'omia le fa'apipi'iina
Fa'apipi'i lelei e puipuia ai le fa'aulufaleina o kasa
Fuafuaga fa'ainisinia vaila'au (CMP)
Talita wafer pito i tua mai slurry ma abrasive otaota
Tetee atu i acids malosi, alkalis, ma oxidizing agents
2. Fa'apipi'i ma faiga su'ega
Fa'avaa ta'ita'i / mea fa'apipi'i: Tu'uga e tete'e i le vevela a'o fa'apipi'i uaea, mea fa'apipi'i, ma fa'apipi'i palasitika - fa'amautu vaega i le vevela maualuga.
Ufiufi mo le fa'amauina o galu & toe fa'afefeteina: Puipuia tamatamailima auro ma mea e fa'afeso'ota'i ai i luga o PCB mai le fa'aleagaina o le solder i le taimi o le fa'amauina o le vevela.
Pepa fa'apipi'i vevela maualuga: Va'a fe'avea'i e fa'amautu mea laiti i luga o laina gaosiga e aunoa ma le tu'uina atu o vaega po'o toega.
3. Fa'aleleia o meafaigaluega ma fa'aoga fesoasoani
Fa'apipi'i o lo'o fa'agata: Fa'apipi'i 'oloa fe'avea'i e tu'uina atu ai mea e fa'afeso'ota'i ai le vevela-maualuga, e le pipi'i, ma le fa'a'ese'ese - e taofia ai le fa'aleagaina o fafie mai fete'ena'iga ma fa'ama'a'a.
Fa'ailoga ma le tausiga le tumau o le potu mama: Mo le fa'ailogaina, fa'apipi'i uaea lē tumau, ma toe fa'aleleia laiti e aunoa ma le fa'aofiina o mea leaga.
Tulaga Fa'amama Tulaga Maualuga - Tulaga e le mafai ona fa'atalanoaina
O tulaga ia e fa'aeseese ai semiconductor-grade PTFE lipine mai lipine fa'amoemoe lautele. O le le usita'ia e mafai ona o'o atu ai i le soloia atoa. Aokai PTFE faʻamaonia nei taʻiala uma mo a matou lipine semiconductor-grade.
1. Mama mea mata ma maualalo outgassing
Manaoga
Aiseā e Taua ai
Tapulaa masani
maualalo le aofa'i o mea halogen (fa'aoga e leai se halogen)
Halogens e fa'aleaga pa'u fa'amau alumini ma feso'ota'iga 'apamemea i luga o tupe meataalo
<900 ppm (sa'olotoga: <50 ppm ta'itasi mo Cl/Br)
Pulea malosi ole siloxane
Siloxanes fe'avea'i i lalo o le vevela ma fa'atupu ai ni mea e fa'amama ai, ma mafua ai ona le manuia so'oga ma le le lelei o feso'ota'iga eletise
E masani lava <500 ppm pe le mafai ona iloa
E matua maualalo tele le fa'aosoina o le TVOC
E fa'afefeteina e mea fa'akomepiuta mea fa'apitoa ma fa'a'ele'ele i luga o mea mama
<50 µg/g (ese'ese i faiga)
Aokai PTFE faʻamatalaga: O a matou lipine PTFE semiconductor-grade o loʻo faʻatulagaina i le PTFE maualuga ma le PSA silicone e faʻaitiitia ai le faʻaogaina i le vevela masani (e oʻo atu i le 260 ° C).
2. Puleaina o le fa'ama'i ma le ionic
Slitting ma afifiina: E tatau ona fa'amae'a ile ISO Vasega 4 (po'o le maualuga) potu mama e fa'aitiitia ai le fa'amaligiina mai le lipine lava ia.
O mea e maua i le u'amea aupito maualalo: O metala alkali e pei o le sodium (Na⁺) ma le potassium (K⁺) e suia uiga eletise semiconductor. Ole maualuga ole ion u'amea e masani ona fa'atapula'aina ile <1 ppm.
Fa'apipi'i e leai ni toega: Leai se fa'aleagaina o luga po'o le fa'aleagaina o fa'a'ega fa'a'ave'esea o le hydrophobic i luga o fafie pe a uma ona pa'u lipine.
3. Anti-static faatinoga
Fa'asagaga i luga ole laiga: 10⁶ – 10⁹ Ω
Manaoga: Faʻamautu mea faʻateʻa faʻasolosolo, toniga ma tumau e tusa lava po o le a le susū o le siosiomaga
Aisea: Fa'asa'o fa'afuase'i le tu'uina atu o le eletise e fa'aleagaina ai tupe meataalo
4. Kemisi ma tulaga mautu
Tete'e i vaila'au: Tatalia mea malosi (hydrofluoric acid, nitric acid), alkalis malosi (fa'atupu fofo), ma solvents organic (acetone, isopropyl alcohol) - e masani ai i le gaosiga o susu semiconductor.
Tulaga mautu: Fa'aiti'iititi vevela i lalo ole su'esu'ega maualuga ma le maualalo o le vevela e fa'aumatia ai le fa'aogaina o le ufiufi ma le fa'apipi'i o totoe. Aotelega mafiafia faapalepale pulea i totonu ± 5% po ± 0.01 mm.
Vasega ISO 4 po'o le maualuga mo le tipiina/fa'apipi'i
Fa'ailoga le faitau aofa'i
Halogen anotusi
<900 ppm (fa'aoga e leai se halogen)
Ion chromatography (IC)
Siloxane anotusi
<500 ppm (pe le mafai ona iloa)
GC-MS
TVOC fa'aoso
<50 µg/g ile 260°C
Ulutala GC-MS
ion uamea
<1 ppm ta'itasi (Na⁺, K⁺, ma isi)
ICP-MS
Fa'asagaga i luga
10⁶ – 10⁹ Ω
ASTM D257
Toega fa'apipi'i
Leai pe a uma ona pa'u
Su'ega va'aia, su'ega lipine
Tete'e i vaila'au
Pasia HF, HNO₃, NaOH, IPA, acetone
Su'ega faatofu
Onosa'i mafiafia
±5% poʻo ±0.01 mm
Fuaina ole micrometer
Aokai PTFE o loʻo tuʻuina atu faʻamaumauga atoa mo a tatou lipine PTFE semiconductor-grade, e aofia ai le faʻamaonia o le potu mama, lipoti o le chromatography (IC) mo halogens, ICP-MS mo ion uʻamea, ma le GC-MS mo le faʻaogaina. Fa'afeso'ota'i matou i au fa'agasologa e mana'omia mo se fa'amatalaga auiliili.
Afai e te manaʻomia faʻamatalaga auʻiliʻili, mataupu faʻaoga ma fofo faʻapitoa mo la matou oloa atoa, e aofia ai le PTFE ie vevela maualuga, PTFE maualuga-vevela faʻapipiʻi faʻamau, PTFE maualuga-vevela fusi fusi, fusi vevela vevela, tasi-itu PTFE ie, maualuga-vevela conveyor fusipaʻu ma vevela-tetee ie fiberglass, faamolemole aapa mai i lalo ia i matou e ala i le faamatalaga faafesootai:
Matou te lagolagoina le tomai faʻapitoa ma le faʻamaoni, tuuto atu i le tuʻuina atu o fofo faʻapisinisi uma ma auaunaga faʻapitoa mo tagata faʻatau mo paaga uma!
