Fil-fabbrikazzjoni tas-semikondutturi, il-kontaminazzjoni titkejjel f'partijiet għal kull miljun u d-daqsijiet tal-partiċelli f'mikroni. Jone mitluf wieħed, traċċa ta 'kompost organiku volatili, jew partiċelli mikroskopiċi jistgħu skrappjaw lott sħiħ ta' wejfer - li jiswa mijiet ta 'eluf ta' dollari.
Tejp ta 'temperatura għolja PTFE , bir-reżistenza tas-sħana tiegħu, l-inertezza kimika, il-wiċċ li ma jwaħħalx, u l-proprjetajiet elettriċi, għandu rwol kritiku f'dan l-ambjent. Iżda mhux biss kull tejp PTFE se tagħmel. Tejps ta 'grad ta' semikondutturi għandhom jilħqu standards ta 'indafa ultra-għoli li jaqbżu bil-bosta dawk ta' tejps industrijali ġenerali.
Aokai PTFE timmanifattura tejp PTFE speċifikament għal applikazzjonijiet semikondutturi. Din il-gwida tkopri tliet oqsma ta 'applikazzjoni ewlenin - ipproċessar fil-livell tal-wejfer, ippakkjar u ttestjar, u manutenzjoni tat-tagħmir - u r-rekwiżiti stretti tal-indafa li japplikaw għal kull wieħed.
Xenarji ta' Applikazzjoni Ewlenin – Protezzjoni ta' Komponenti ta' Valur Għoli
1. Protezzjoni tal-proċess fil-livell tal-wejfer
Matul il-fabbrikazzjoni tal-wejfer, it-tejp iservi bħala saff protettiv temporanju għal apparati ta 'valur għoli.
Proċess
Funzjoni tat-tejp
Ħtieġa Kritika
Tindif u inċiżjoni tal-plażma
Maskra żoni mhux proċess, ipproteġi t-truf tal-wejfer mill-bumbardament tal-joni
M'għandux joħroġ gass jew iħalli residwu; jifilħu l-ambjent tal-plażma
Depożizzjoni ta' film irqiq (CVD/PVD)
Blokk reġjuni li ma jeħtiġux kisi
Adeżjoni mingħajr saldatura biex tevita l-infiltrazzjoni tal-gass tad-depożizzjoni
Planarizzazzjoni mekkanika kimika (CMP)
Ilqu l-wejfer ta 'wara minn demel likwidu u debris li joborxu
Jirreżistu aċidi qawwija, alkali, u aġenti ossidanti
2. Ippakkjar u proċessi ta 'ttestjar
Fissar ta 'qafas taċ-ċomb / sottostrat: Pożizzjonament reżistenti għas-sħana waqt it-twaħħil tal-wajer, it-twaħħil tad-die, u l-inkapsulament tal-plastik - iżżomm il-komponenti sodi f'temperaturi għoljin.
Masking għall-issaldjar tal-mewġ u l-issaldjar mill-ġdid: Ipproteġi s-swaba tad-deheb u l-punti ta 'kuntatt fuq il-PCBs mill-kontaminazzjoni tal-istann waqt proċessi ta' issaldjar f'temperatura għolja.
Folji ta 'trasportatur tat-tejp b'temperatura għolja: Trasportaturi flessibbli biex jiżguraw sottostrati minjatura fuq linji ta' produzzjoni mingħajr ma joħorġu partiċelli jew residwi.
3. Manutenzjoni tat-tagħmir u użi awżiljarji
It-tgeżwir tar-rombli anti-statiku: Il-kisi tar-rombli tat-trasport biex jipprovdu uċuħ ta 'kuntatt reżistenti għat-temperatura għolja, li ma jeħlux, u li jiddissipaw l-istatika - jipprevjeni ħsara lill-wejfer mill-frizzjoni u l-iskarigu statiku.
Immarkar temporanju tal-kamra nadifa u manutenzjoni: Għal tikkettar, twaħħil temporanju tal-kejbil, u tiswijiet minuri mingħajr ma jiġu introdotti kontaminanti.
Rekwiżiti ta 'Indafa Ultra-Għoli - Standards Mhux Negozjabbli
Dawn huma l-istandards li jiddistingwu tejp PTFE ta 'grad semikonduttur minn tejp għal skopijiet ġenerali. In-nuqqas ta' konformità jista' jwassal għal skrappjar sħiħ tal-lott. Aokai PTFE jivvalida dawn il-parametri kollha għat-tejps tagħna ta 'grad semikonduttur.
1. Purità tal-materja prima u ħruġ baxx ta 'gass
Rekwiżit
Għaliex Jgħodd
Limitu Tipiku
Kontenut totali baxx ta' aloġenu (mingħajr aloġenu preferut)
L-aloġeni jissaddad il-pads tal-bonds tal-aluminju u l-interkonnessjonijiet tar-ram fuq iċ-ċipep
<900 ppm (mingħajr aloġenu: <50 ppm kull wieħed għal Cl/Br)
Kontroll strett tal-kontenut tas-siloxane
Is-siloxani jinvolatizzaw taħt is-sħana u jiffurmaw partiċelli iżolanti, li jikkawżaw nuqqas ta’ twaħħil u kuntatt elettriku fqir
Tipikament <500 ppm jew ma jinstabx
Emissjonijiet ta' TVOC baxxi ħafna
L-organiċi volatili jċpar komponenti ottiċi u jikkondensa fuq l-uċuħ tal-wejfer
<50 µg/g (tvarja skont il-proċess)
Nota ta 'Aokai PTFE: It-tejps PTFE ta' grad semikonduttur tagħna huma fformulati b'PTFE ta 'purità għolja u PSA tas-silikon biex jimminimizzaw l-outgassing f'temperaturi tipiċi ta' proċessar (sa 260 ° C).
2. Kontroll tal-kontaminazzjoni tal-partikuli u joniċi
It-tqattigħ u l-ippakkjar: Għandhom jimtlew fi kmamar nodfa tal-Klassi ISO 4 (jew ogħla) biex jiġi minimizzat it-tixrid tal-partiċelli mit-tejp innifsu.
Kontenut ta 'jone tal-metall ultra-baxx: Metalli alkali bħas-sodju (Na⁺) u l-potassju (K⁺) jibdlu l-karatteristiċi elettriċi tas-semikondutturi. Il-livelli tal-jone tal-metall wieħed huma ġeneralment limitati għal <1 ppm.
Kolla mingħajr residwi: L-ebda kontaminazzjoni tal-wiċċ jew ħsara lil saffi ta 'passivazzjoni idrofobika fuq wejfers wara t-tqaxxir tat-tejp.
Għaliex: Tipprevjeni skarigu elettrostatiku istantanju ta 'vultaġġ għoli li jeqred ċipep delikat
4. Stabbiltà kimika u dimensjonali
Reżistenza kimika: Jiflaħ aċidi qawwija (aċidu idrofluworiku, aċidu nitriku), alkali qawwija (soluzzjonijiet ta 'żviluppatur), u solventi organiċi (aċetun, alkoħol isopropil) - komuni fl-ipproċessar imxarrab tas-semikondutturi.
Stabbiltà dimensjonali: Tinxtorob termali minimu taħt temperaturi li jalternaw għoljin u baxxi biex jiġi eliminat l-allinjament ħażin tal-maskra u residwu tal-kolla. Tolleranza tal-ħxuna ġenerali kkontrollata fi ħdan ±5% jew ±0.01 mm.
Sommarju – Lista ta' Kontroll tal-Għażla tat-Tejp PTFE ta' Grad Semikonduttur
Rekwiżit
Speċifikazzjoni
Metodu ta' Validazzjoni
Manifattura ta' cleanroom
Klassi ISO 4 jew ogħla għat-tqattigħ/imballaġġ
Ċertifikazzjoni tal-għadd tal-partiċelli
Kontenut aloġenu
<900 ppm (mingħajr aloġenu preferut)
Kromatografija tal-joni (IC)
Kontenut ta' silossan
<500 ppm (jew li ma jinstabx)
GC-MS
Emissjonijiet TVOC
<50 µg/g f'260°C
Headspace GC-MS
Jonji tal-metall
<1 ppm kull wieħed (Na⁺, K⁺, eċċ.)
ICP-MS
Reżistività tal-wiċċ
10⁶ – 10⁹ Ω
ASTM D257
Residwu li jwaħħal
Xejn wara t-tqaxxir
Spezzjoni viżwali, test tat-tejp
Reżistenza kimika
Għaddi HF, HNO₃, NaOH, IPA, aċetun
Test tal-immersjoni
Tolleranza tal-ħxuna
±5% jew ±0.01 mm
Kejl tal-mikrometru
Aokai PTFE jipprovdi dokumentazzjoni sħiħa għat-tejps PTFE ta 'grad semikondutturi tagħna, inkluża ċertifikazzjoni ta' cleanroom, rapporti ta 'kromatografija tal-jone (IC) għal aloġeni, ICP-MS għal joni tal-metall, u GC-MS għal outgassing. Ikkuntattjana bir-rekwiżiti tal-proċess tiegħek għal datasheet dettaljata.
Jekk teħtieġ speċifikazzjonijiet dettaljati, każijiet ta 'applikazzjoni u soluzzjonijiet personalizzati għall-portafoll sħiħ tal-prodotti tagħna, inkluż drapp PTFE b'temperatura għolja, tejp li jwaħħal PTFE b'temperatura għolja, ċinturin tal-malji PTFE b'temperatura għolja, ċinturin għall-istampa tas-sħana mingħajr saldatura, drapp PTFE b'ġenb wieħed, conveyor belt reżistenti għal temperatura għolja u drapp tal-fibreglass reżistenti għas-sħana jekk jogħġbok ikkuntattja l-informazzjoni hawn taħt:
Aħna nżommu l-professjonaliżmu u l-integrità, impenjati li nwasslu soluzzjonijiet industrijali kollha u servizz tal-konsumatur maħsub għall-imsieħba kollha!
